JPS6093746A - 電子線偏向装置 - Google Patents
電子線偏向装置Info
- Publication number
- JPS6093746A JPS6093746A JP58200899A JP20089983A JPS6093746A JP S6093746 A JPS6093746 A JP S6093746A JP 58200899 A JP58200899 A JP 58200899A JP 20089983 A JP20089983 A JP 20089983A JP S6093746 A JPS6093746 A JP S6093746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- axis
- deflecting
- lens
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査電子顕微鏡による制限視野回折像の観察等
に有効な電子線偏向装置の改良に関する。
に有効な電子線偏向装置の改良に関する。
走査電子顕微鏡を用いて試料の微小領域からの制限視野
回折像を得るためには、平行度の良い電子１Ｉｌｌを分
析目的とする試料の微小領域を中心に角度走査する。従
来は制限視野回折像を観察することにより走査角度をめ
ていた。しかし、未知のまた既知の回折像の場合でも標
準的な回折像の走査角度をめた表と照合しなければなら
ないという欠点があった。
回折像を得るためには、平行度の良い電子１Ｉｌｌを分
析目的とする試料の微小領域を中心に角度走査する。従
来は制限視野回折像を観察することにより走査角度をめ
ていた。しかし、未知のまた既知の回折像の場合でも標
準的な回折像の走査角度をめた表と照合しなければなら
ないという欠点があった。
本発明の目的は、対物レンズのコイル電流と偏向系の信
号とにより、自動的に走査角度を表示する電子線偏向装
置を提供することにある。
号とにより、自動的に走査角度を表示する電子線偏向装
置を提供することにある。
本発明は、制限視野回折像の走査角度を電子レンズのコ
イル電流と偏向系の信号とにより等節約に算出し表示す
るようにしたものである。
イル電流と偏向系の信号とにより等節約に算出し表示す
るようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図はマイクロコンピュータを用いて偏向系９成子レンズ
系をｆ（ｔＵ御する例である。
図はマイクロコンピュータを用いて偏向系９成子レンズ
系をｆ（ｔＵ御する例である。
Ｘ軸偏向信号発生回路７で発生した信号は、マイクロコ
ンピュータｌｏにより振幅を１ｆｆｌＪ御され、Ｘ軸偏
向回路５で電流増幅され、Ｘｌ１ＩＩ偏向コイルを駆動
する。同様に、Ｙ軸偏向信号発生回路８で３２＃ Ｉ−
＋ イＩｊ４）１ｒｆ ？ Ｉ 、り ｒ’ｔ Ｍ ’
／ Ｗ’ −＋ Ｊ ｆｆ ／’ｌ Ｉｔｒ Ｉ−ｋ振
幅を制御され、Ｙ軸偏向回路６で電流増幅され、Ｙ軸偏
向コイルをノ駆動する。
ンピュータｌｏにより振幅を１ｆｆｌＪ御され、Ｘ軸偏
向回路５で電流増幅され、Ｘｌ１ＩＩ偏向コイルを駆動
する。同様に、Ｙ軸偏向信号発生回路８で３２＃ Ｉ−
＋ イＩｊ４）１ｒｆ ？ Ｉ 、り ｒ’ｔ Ｍ ’
／ Ｗ’ −＋ Ｊ ｆｆ ／’ｌ Ｉｔｒ Ｉ−ｋ振
幅を制御され、Ｙ軸偏向回路６で電流増幅され、Ｙ軸偏
向コイルをノ駆動する。
一方、電子レンズ駆動回路９はマイクロコンピュータｌ
０ＶＣより基準′Ｍ工圧が制御され、電子レンズ３’ｉ
ｉ−駆動している。
０ＶＣより基準′Ｍ工圧が制御され、電子レンズ３’ｉ
ｉ−駆動している。
各々の偏向コイル、電子レンズの電流をＩｘｌＩア＋Ｉ
ｔという記号で表わす。
ｔという記号で表わす。
第２図は、第１図の電子光学系の部分のみを抽出した図
である。
である。
電子線１は、偏向コイル２により偏向されて電子レンズ
４の軸外に入射する。すると電子レンズ４の屈折力によ
り屈折され試料４の一点に照射される。
４の軸外に入射する。すると電子レンズ４の屈折力によ
り屈折され試料４の一点に照射される。
１ｉＩＩＩ向コイルに流す電流をｉ、、Ｉアとすると、
第２図のＣＩｉ式（１）で表わさ！Ｌる。
第２図のＣＩｉ式（１）で表わさ！Ｌる。
Ｃ＝ Ｋ＋ ａ （Ｉｌ！２＋ＩＦ” ） ・・・”■
（１）次に′ｎＬ子レンズの焦点距離ｆは、 で表わせる。また電子レンズのレンズ電流Ｉｔと焦点距
離ｆとの関係は で表わせる。
（１）次に′ｎＬ子レンズの焦点距離ｆは、 で表わせる。また電子レンズのレンズ電流Ｉｔと焦点距
離ｆとの関係は で表わせる。
これらの式により、走査角度θ（ｒａｄ ）はθ＝ｊａ
ｎ−１− となる。式（４）において、Ｉｚ＋Ｉｙ＋Ｉｔはマイク
ロコンピュータにより制御されており既知であり、ａＦ
ｉ幾可幾重学的法によって足首る定数である。よって式
（４）によりθをマイクロコンピュータによって計算し
、角度表示器１１に表示することができる。なお式（４
）においてＫ１．に２は装置固有のものであり、実験に
よＩ）前もってｇべておけばよい。
ｎ−１− となる。式（４）において、Ｉｚ＋Ｉｙ＋Ｉｔはマイク
ロコンピュータにより制御されており既知であり、ａＦ
ｉ幾可幾重学的法によって足首る定数である。よって式
（４）によりθをマイクロコンピュータによって計算し
、角度表示器１１に表示することができる。なお式（４
）においてＫ１．に２は装置固有のものであり、実験に
よＩ）前もってｇべておけばよい。
式（４）において角度θが微小角の場合と近似できる。
こうすれば、走査角度の計算が式（４）に比較し容易に
算出できる効果がある。
算出できる効果がある。
走査角度を表示する方法としてはいろいろ考えられる。
最大の走査角度、時々刻々の走査角度、あるいは、走査
電子顕微鏡の場合、像観察、写真撮影に用いる陰極線管
（ＣＲ，Ｔ）上にスケールと数値を表示するなどがある
。
電子顕微鏡の場合、像観察、写真撮影に用いる陰極線管
（ＣＲ，Ｔ）上にスケールと数値を表示するなどがある
。
以上、電子レンズを用いて容易に角度走査を得る場合に
ついて述べたが、次に大きく角度走査した場合の収差補
正機能を有した装置についても、同様にして角度表示が
できることを説明する。
ついて述べたが、次に大きく角度走査した場合の収差補
正機能を有した装置についても、同様にして角度表示が
できることを説明する。
第３図において、電子線が電子レンズ３の軸外を通る場
合、成子レンズ電流を一定にしておくと、球面収差のた
めに中心軸の近傍を通る場合Ａと遠傍を通る場合Ｂとで
は、試料に入射する位置が異なってしまい試料上の一点
で角度走査する条件が満足されない。これは走査角度が
小さい場合は問題にならないが、大きくなると重要な問
題忙なる。
合、成子レンズ電流を一定にしておくと、球面収差のた
めに中心軸の近傍を通る場合Ａと遠傍を通る場合Ｂとで
は、試料に入射する位置が異なってしまい試料上の一点
で角度走査する条件が満足されない。これは走査角度が
小さい場合は問題にならないが、大きくなると重要な問
題忙なる。
これを補正するためにさまざまな方法が考えられている
。たとえば、第３図に示したように、電子線がＢのよう
に電子レンズに入射した場合、電子レンズの電流を少な
くして、電子レンズ通過後Ｃに示したようにすれば、試
料上の一点に入射することＫなる。この場合においても
、式（３）に示す焦点距離ｆは、電子ビームが中心軸の
近傍を通るときの電子レンズ電流Ｉｔを用いればまった
く同じようＫしてめられ、走査角度θも式（４）によっ
て算出できることがわかる。
。たとえば、第３図に示したように、電子線がＢのよう
に電子レンズに入射した場合、電子レンズの電流を少な
くして、電子レンズ通過後Ｃに示したようにすれば、試
料上の一点に入射することＫなる。この場合においても
、式（３）に示す焦点距離ｆは、電子ビームが中心軸の
近傍を通るときの電子レンズ電流Ｉｔを用いればまった
く同じようＫしてめられ、走査角度θも式（４）によっ
て算出できることがわかる。
以上述べたように、本発明によれば、偏向系と電子レン
ズの軸外部を使用して角度走査する装置において、その
走査角度が自動的に表示され、試料からの信号を容易に
解析できるという効果がある。
ズの軸外部を使用して角度走査する装置において、その
走査角度が自動的に表示され、試料からの信号を容易に
解析できるという効果がある。
第１図は、本発明の一実施例のブロック図、第２図は、
第１図において電子光学系の部分のみを書き出した図、
第３図は、角度走査の角度を太きくした場合に起こる現
象を説明する図である。
第１図において電子光学系の部分のみを書き出した図、
第３図は、角度走査の角度を太きくした場合に起こる現
象を説明する図である。
Claims (1)
- １、電子線を偏向系により電子レンズの軸外へ入射させ
て前記電子線が試料の予め定められた点を中心として角
度走査するようになした装置において、前記電子レンズ
のコイル電流と前記偏向系の信号とにより前記走査の角
度を表示するように構成したことを特徴とした電子線偏
向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58200899A JPS6093746A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 電子線偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58200899A JPS6093746A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 電子線偏向装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093746A true JPS6093746A (ja) | 1985-05-25 |
Family
ID=16432100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58200899A Pending JPS6093746A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 電子線偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6093746A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8961647B2 (en) | 2006-10-27 | 2015-02-24 | Orrvilon, Inc. | Atomized picoscale composition aluminum alloy and method thereof |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP58200899A patent/JPS6093746A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8961647B2 (en) | 2006-10-27 | 2015-02-24 | Orrvilon, Inc. | Atomized picoscale composition aluminum alloy and method thereof |
| US9551048B2 (en) | 2006-10-27 | 2017-01-24 | Tecnium, Llc | Atomized picoscale composition aluminum alloy and method thereof |
| US10202674B2 (en) | 2006-10-27 | 2019-02-12 | Tecnium, Llc | Atomized picoscale composition aluminum alloy and method thereof |
| US10676805B2 (en) | 2006-10-27 | 2020-06-09 | Tecnium, Llc | Atomized picoscale composition aluminum alloy and method thereof |
| US12226829B2 (en) | 2006-10-27 | 2025-02-18 | Tecnium, Llc | Atomized picoscale composition aluminum alloy and method thereof |
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