JPS609621A - エア−スライド及び静止用支持台 - Google Patents
エア−スライド及び静止用支持台Info
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- JPS609621A JPS609621A JP11661983A JP11661983A JPS609621A JP S609621 A JPS609621 A JP S609621A JP 11661983 A JP11661983 A JP 11661983A JP 11661983 A JP11661983 A JP 11661983A JP S609621 A JPS609621 A JP S609621A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
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- B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/28—Means for securing sliding members in any desired position
-
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- B23Q7/14—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting co-ordinated in production lines
- B23Q7/1426—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting co-ordinated in production lines with work holders not rigidly fixed to the transport devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Fluid Mechanics (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
台のエアースライド及び静止用支持台に関するものであ
る。
る。
各種自動機械にあってはワークあるいは治具、工具類を
スライド(移動)させ、さらに所定位置に静止させる必
要が生ずる。
スライド(移動)させ、さらに所定位置に静止させる必
要が生ずる。
上記スライドにはモーターあるいはシリンター等が使用
されるが、所定位置に完全に静止させることが困難であ
った。
されるが、所定位置に完全に静止させることが困難であ
った。
本発明は上記のごとき欠点な除去してなるもので、無接
触状態でワークあるいは治具、工具類を載置した支持台
をスライドさせ、所定位置に完全に静止させるよう構成
したものである。
触状態でワークあるいは治具、工具類を載置した支持台
をスライドさせ、所定位置に完全に静止させるよう構成
したものである。
本発明では支持台のスライド時には支持台の下面からエ
アーが噴射さh. 、支持台を支持しているベースとの
間に空気膜を構成して支持台を無接触状態としてスライ
ドさせることができる。
アーが噴射さh. 、支持台を支持しているベースとの
間に空気膜を構成して支持台を無接触状態としてスライ
ドさせることができる。
したがって、摺動面の摩耗を全く除去できるとともに慴
動面への潤滑、給油が全く不要となるものであり、さら
に支持台のスライドに要する力も調・さくですみ、例え
ば小形、高精度のパルスモータ−等を使用でき、装置の
小形化及び装置のコストダウンを図ることができる。さ
らに支持台を所定位置にスライドさせてクランプ装置を
働かせ、支持台を完全に静止させることができる。
動面への潤滑、給油が全く不要となるものであり、さら
に支持台のスライドに要する力も調・さくですみ、例え
ば小形、高精度のパルスモータ−等を使用でき、装置の
小形化及び装置のコストダウンを図ることができる。さ
らに支持台を所定位置にスライドさせてクランプ装置を
働かせ、支持台を完全に静止させることができる。
本発明では上記クランプ装置として吸着機構が採用され
る。
る。
さらに、該吸着機構は従来の可撓性部材からなる吸盤と
異り、吸着面端を太きくし、さら((金属面同志の吸着
状態とし2、位置ずれ等が全く生[〕ないよう構成され
、外力が加わっても容易に移動させらハることがないも
のである。
異り、吸着面端を太きくし、さら((金属面同志の吸着
状態とし2、位置ずれ等が全く生[〕ないよう構成され
、外力が加わっても容易に移動させらハることがないも
のである。
すなわち、上記従来の単なる吸盤を使用した吸着機構1
であっては吸盤の進出及び復帰機構を必要とするととも
に吸盤が可撓性を有するため完全な静止状態の維持が困
難である欠点があったものである。
であっては吸盤の進出及び復帰機構を必要とするととも
に吸盤が可撓性を有するため完全な静止状態の維持が困
難である欠点があったものである。
以下に本発明の一実施例を図面シてついて詳細に説明す
る。
る。
図中(1)は支持台であり、後に述べるが各種用途に合
わせて変形さλする。
わせて変形さλする。
まず、牙1図乃至牙3図について述べると、支持台(1
)の底面周囲には一段上方に位置する段部(2)が設け
られる。
)の底面周囲には一段上方に位置する段部(2)が設け
られる。
つぎに、該段部(2)には下端が閉塞され、常時扁イ状
に収縮−する癖を有1−る中空状の可撓性シール部材(
3)が設けられる(牙」図参照)。
に収縮−する癖を有1−る中空状の可撓性シール部材(
3)が設けられる(牙」図参照)。
該可撓性シール部材(3)はコム、プラスチック等で構
成され、士方を開口して上記段部(2)ニ取り付けられ
、その開口部に支持台(1)から設けた通気孔(4)が
連通され、内部に通気孔(4)を介して1袷気な行うと
とかできるよう構成される。
成され、士方を開口して上記段部(2)ニ取り付けられ
、その開口部に支持台(1)から設けた通気孔(4)が
連通され、内部に通気孔(4)を介して1袷気な行うと
とかできるよう構成される。
つぎに、上記段部(2)な除く支持台(1)の下面には
十3図示のごとく、平均的に溝(5)が構成され、該溝
(5)には支持台(1)に上記通気孔(4)と別に設け
た通気孔(6)が連通さAする。なお、図中(6a)は
給気量を調整するオリフィスである。
十3図示のごとく、平均的に溝(5)が構成され、該溝
(5)には支持台(1)に上記通気孔(4)と別に設け
た通気孔(6)が連通さAする。なお、図中(6a)は
給気量を調整するオリフィスである。
上記構成の支持台(1)は牙1図。牙2図示のごとくし
て使用される。同図において[F])はベースである。
て使用される。同図において[F])はベースである。
また(7)はエジェクターポンプであり、圧縮空気の供
給ノズル(7σ)から圧縮空気を噴射することにより、
内部隔室(7h)が負圧となるものである。
給ノズル(7σ)から圧縮空気を噴射することにより、
内部隔室(7h)が負圧となるものである。
また(8)は圧縮空気供給源であり、具体的にはコンプ
レッサーである。
レッサーである。
また、(9)は切換バルブであり、圧縮空気供給源(8
)、エジェクターポンプ(7)及び支持台(1)間の切
り換えを行うものであり、任意に変更が可能である。
)、エジェクターポンプ(7)及び支持台(1)間の切
り換えを行うものであり、任意に変更が可能である。
また、00)は圧縮空気供給源(8)から切換バルブ(
9)への配管、01)は切換バルブ(9)からエジェク
ターポンプ(7)への配管、(12)は切換バルブ(9
)から支持台(1)の通気孔(4)への配管、(13)
は切換バルブ(9)から支持台(1)の通気孔(6)へ
0配管、(14)は支持台(1)の通気孔(6)から切
換バルブ(9)への配管、(15)は切換バルブ(9)
とエジェクターポンプ(7)の隔室(7h)を連通ずる
配管である。
9)への配管、01)は切換バルブ(9)からエジェク
ターポンプ(7)への配管、(12)は切換バルブ(9
)から支持台(1)の通気孔(4)への配管、(13)
は切換バルブ(9)から支持台(1)の通気孔(6)へ
0配管、(14)は支持台(1)の通気孔(6)から切
換バルブ(9)への配管、(15)は切換バルブ(9)
とエジェクターポンプ(7)の隔室(7h)を連通ずる
配管である。
上記構成にあって、支持台(1)をスライドさせる場合
について述べれば、切換バルブ(9)が矛1図示の状態
、すなわち、支持台(1)の通気孔(6)へ圧縮空気を
供給するようjで切換えられる。
について述べれば、切換バルブ(9)が矛1図示の状態
、すなわち、支持台(1)の通気孔(6)へ圧縮空気を
供給するようjで切換えられる。
そ〔))結果、圧縮空気が圧縮空気供給源(8)、配管
(圃、切換バルブ(9)、配管(13)、通気孔(6)
を介しで1立面の溝(5)部に供給され、支持台(1)
が3〜5ミクロン程度浮上させられる。
(圃、切換バルブ(9)、配管(13)、通気孔(6)
を介しで1立面の溝(5)部に供給され、支持台(1)
が3〜5ミクロン程度浮上させられる。
その際にはエジェクターポンプ(7)はイ\とより、可
撓性シール部材(3)には給気が行ゎJlない。
撓性シール部材(3)には給気が行ゎJlない。
したがって可撓性シール部材(3)は扁平状に収縮して
おり、支持台(1)のスライドを邪魔することはない。
おり、支持台(1)のスライドを邪魔することはない。
支持台(1)のスライドは矛5図示のごとく、タイミン
クベルト(1G)を使用してもよ< 、 、4−7図示
のごとく手動でもよく、さt二)′に矛6図示のごとく
、テーブル(17)の中心に設けた回転駆即j側1(1
13+と支持台(1)部をアームQ9)で連結して行っ
てもよい。
クベルト(1G)を使用してもよ< 、 、4−7図示
のごとく手動でもよく、さt二)′に矛6図示のごとく
、テーブル(17)の中心に設けた回転駆即j側1(1
13+と支持台(1)部をアームQ9)で連結して行っ
てもよい。
その他、ホールネジをスクリュー、ラックとピニオン、
リニアモーターの利用管ニより行うことができる。
リニアモーターの利用管ニより行うことができる。
つぎに、支持台(1)の静止について述べねば、上記ス
ライドを中止して切換バルブ(9)が矛2図示のごとく
切換えられる。
ライドを中止して切換バルブ(9)が矛2図示のごとく
切換えられる。
その結果、圧縮空気の溝(5)部へσ)供給が停止さ旧
、支持台(1)がベース(BlfK載置すて)とともに
圧縮空気が圧縮空気供給源(8)、配管(l f1’、
、+IJ換バルブ(9)、配管口)を介してエジエクタ
ーポンプ(7)σ)供給ノズル(7a)l・こ供−陰さ
+1、さら(で配管(12)、;dj+ ’、気気孔4
)を介してrl’、Q−院1匪シール部利(3)の内部
に供給さハ、該可撓性シール部;を寸(3)を膨張させ
、ヘース(0νζ圧魚する。
、支持台(1)がベース(BlfK載置すて)とともに
圧縮空気が圧縮空気供給源(8)、配管(l f1’、
、+IJ換バルブ(9)、配管口)を介してエジエクタ
ーポンプ(7)σ)供給ノズル(7a)l・こ供−陰さ
+1、さら(で配管(12)、;dj+ ’、気気孔4
)を介してrl’、Q−院1匪シール部利(3)の内部
に供給さハ、該可撓性シール部;を寸(3)を膨張させ
、ヘース(0νζ圧魚する。
ぞ1−て、その後の圧縮空気は全てエジェクターポンプ
(力の供給ノズル(7a)υて供給され、その内部の隔
宰(7h)が負圧となる。
(力の供給ノズル(7a)υて供給され、その内部の隔
宰(7h)が負圧となる。
台の結果、管路04)、通気孔(6)を介して溝(5)
部・1)空気が吸気さハ、支持台(11の底面がへ〜ス
(B)ν5吸着し完全静止さす「)」するものである。
部・1)空気が吸気さハ、支持台(11の底面がへ〜ス
(B)ν5吸着し完全静止さす「)」するものである。
上記吸着は従来の町涜件部材かrつなる吸盤と異り、吸
着面積を大きくし、さ1)に金属面同志の吸矯状態とな
るため、位置ずJ′Lが全く生じないものであり外力に
よって移動させられることもないものである。
着面積を大きくし、さ1)に金属面同志の吸矯状態とな
るため、位置ずJ′Lが全く生じないものであり外力に
よって移動させられることもないものである。
召・4図には他の実施例が示されている。すなわち、溝
(5)部の吸気を迅速に行うため支持台(1)に通シ孔
(・1)及び(6)のほか別に吸気専用の通気孔(20
)を別に設けた本のであり、その作用効果は前記実施例
とほぼ同様である。
(5)部の吸気を迅速に行うため支持台(1)に通シ孔
(・1)及び(6)のほか別に吸気専用の通気孔(20
)を別に設けた本のであり、その作用効果は前記実施例
とほぼ同様である。
上記のごとく、本発明の支持台しこよれば、スライド時
の摩擦抵抗を全くなくし、しかも潤滑油等を使用するこ
となく小形、高精度のパルスモータ−等により行うこと
ができるとともに、所定位置で完全強固に静止させるこ
とができるものである。
の摩擦抵抗を全くなくし、しかも潤滑油等を使用するこ
となく小形、高精度のパルスモータ−等により行うこと
ができるとともに、所定位置で完全強固に静止させるこ
とができるものである。
図面は本発明の一実施例を示すもので、」・1図は浮上
スライド時を示す要部箱断面図、シ・2図は吸着静止時
を示す要部縦断面図、牙3図はl底面図、刈・4図は他
の実施例を示す浮上スライド時の小径断面図、2・5図
は実際の使用状態を示す胴視図、刈・6図は他の使用状
態を示す平面図、2・7図は他の使用状態を示す斜視図
である。 (1)・・・支持台、(2)・・・段部、(3)・・・
可撓性シール部材、(4,) (6)・・・通気孔、(
5)・・・溝。 特許出願人 株式会社 妙 徳 代理人弁理士 山 本 彰 司 オ)図 矛 2 図 オ 3 図 矛 4 図 第5 図 112 オ 6 図 手続補正書(自発) 昭和58年10月f日 1、事件の表示 昭和58年特許願−A−116619号2、発明の名称 エアースライド及び静止用支持台 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 4、代 理 人 住 所 東京都中央区八重洲二丁目10番8号明細書の
発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 スライドさせ、さらに天井部に吸着させて治具、工具類
の吊下げにも使用できろものである。」を加入する。 以上
スライド時を示す要部箱断面図、シ・2図は吸着静止時
を示す要部縦断面図、牙3図はl底面図、刈・4図は他
の実施例を示す浮上スライド時の小径断面図、2・5図
は実際の使用状態を示す胴視図、刈・6図は他の使用状
態を示す平面図、2・7図は他の使用状態を示す斜視図
である。 (1)・・・支持台、(2)・・・段部、(3)・・・
可撓性シール部材、(4,) (6)・・・通気孔、(
5)・・・溝。 特許出願人 株式会社 妙 徳 代理人弁理士 山 本 彰 司 オ)図 矛 2 図 オ 3 図 矛 4 図 第5 図 112 オ 6 図 手続補正書(自発) 昭和58年10月f日 1、事件の表示 昭和58年特許願−A−116619号2、発明の名称 エアースライド及び静止用支持台 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 4、代 理 人 住 所 東京都中央区八重洲二丁目10番8号明細書の
発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 スライドさせ、さらに天井部に吸着させて治具、工具類
の吊下げにも使用できろものである。」を加入する。 以上
Claims (1)
- 支持台の底面周囲には一段上方に位置する段部が設けら
れ、該段部には下端が閉塞され常時扁平状に収縮する癖
を有する中空状の可撓性シール部材が設けられ、支持台
から設けた通気孔が上記可撓性シール部材内部に連通さ
れ、上記段部な除く底面には平均的に溝が構成されて支
持台から別に設けた通気孔が連通されてなることを特徴
とするエアースライド及び静止用支持台。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11661983A JPS609621A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | エア−スライド及び静止用支持台 |
| US06/622,730 US4627362A (en) | 1983-06-28 | 1984-06-20 | Air sliding device for work pallets or the like |
| EP84401355A EP0130905B1 (en) | 1983-06-28 | 1984-06-26 | Air sliding device for work pallets or the like |
| DE8484401355T DE3465063D1 (en) | 1983-06-28 | 1984-06-26 | Air sliding device for work pallets or the like |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11661983A JPS609621A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | エア−スライド及び静止用支持台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS609621A true JPS609621A (ja) | 1985-01-18 |
| JPS6224222B2 JPS6224222B2 (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=14691664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11661983A Granted JPS609621A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | エア−スライド及び静止用支持台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS609621A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009179423A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Kyocera Corp | 浮上用構造体、スライド部材およびステージ装置 |
| JP5149627B2 (ja) * | 2005-12-15 | 2013-02-20 | 京セラ株式会社 | 静圧スライダ |
| JP2019019920A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-02-07 | 株式会社Subaru | 摺動部材、及び、それを備えたカム装置 |
| JP2023027911A (ja) * | 2021-08-18 | 2023-03-03 | 日本信号株式会社 | 検査装置 |
| JP7781472B1 (ja) * | 2024-11-18 | 2025-12-08 | 理研機器株式会社 | 重量物支持装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5856741A (ja) * | 1981-09-27 | 1983-04-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ステ−ジの送り位置決め装置 |
-
1983
- 1983-06-28 JP JP11661983A patent/JPS609621A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5856741A (ja) * | 1981-09-27 | 1983-04-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ステ−ジの送り位置決め装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5149627B2 (ja) * | 2005-12-15 | 2013-02-20 | 京セラ株式会社 | 静圧スライダ |
| JP2009179423A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Kyocera Corp | 浮上用構造体、スライド部材およびステージ装置 |
| JP2019019920A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-02-07 | 株式会社Subaru | 摺動部材、及び、それを備えたカム装置 |
| JP2023027911A (ja) * | 2021-08-18 | 2023-03-03 | 日本信号株式会社 | 検査装置 |
| JP7781472B1 (ja) * | 2024-11-18 | 2025-12-08 | 理研機器株式会社 | 重量物支持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6224222B2 (ja) | 1987-05-27 |
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