JPS6097395U - ドライ真空ポンプ - Google Patents

ドライ真空ポンプ

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Publication number
JPS6097395U
JPS6097395U JP19032683U JP19032683U JPS6097395U JP S6097395 U JPS6097395 U JP S6097395U JP 19032683 U JP19032683 U JP 19032683U JP 19032683 U JP19032683 U JP 19032683U JP S6097395 U JPS6097395 U JP S6097395U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum pump
pump mechanism
dry vacuum
stage pump
roots blower
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19032683U
Other languages
English (en)
Inventor
日隈　克己
Original Assignee
大亜真空技研株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 大亜真空技研株式会社 filed Critical 大亜真空技研株式会社
Priority to JP19032683U priority Critical patent/JPS6097395U/ja
Publication of JPS6097395U publication Critical patent/JPS6097395U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１．２．３および４図はルーツブロア型ポンプ３段、
回転翼型ポンプ２段を有する本考案ドライ真空ポンプの
一態様であり、それぞれその平面図、ＡＡ’断面図、Ｂ
Ｂ’断面図およびＣＣ′断面図を示す。 １・・・吸気口、２・・・１段ポンプ機構排気口、３・
・・２段ポンプ機構吸気口、４・・・２段ポンプ機構排
気口、５・・・３段ポンプ機構吸気口、６・・・３段ポ
ンプ機構吸気口、７・・・４段ポンプ機構吸気口、８・
・・４　　　。 段ポンプ機構排気口、９・・・５段ポンプ機構吸気口、
１０・・・排気口、１１・・・回転軸、１２・・・第４
段ポンプ機構（回転翼型）、１３・・・第５段ポンプ機
構（回転翼型）ζ１４・・・第３段ポンプ機構（ルーツ
ブロア型）、１５・・・第２段ポンプ機構−（回転翼型
）、１６・・・第１段ポンプ機構（回転翼型）、１７・
・・軸受兼用隔壁、１８・・・隔壁、１９・・・中間排
気口、２０・・・ルーツブロア型ポンプ機構の回転子、
２１・・・連動歯車。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 直列接続したルーツブロア型ポンプ機構とシール液を使
    用しない補助ポンプ機構とを二本の回転軸を共有するご
    と（一体構造となしたことを特徴とするドライ真空ポン
    プ。
JP19032683U 1983-12-12 1983-12-12 ドライ真空ポンプ Pending JPS6097395U (ja)

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JPS6097395U true JPS6097395U (ja) 1985-07-03

Family

ID=30410117

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JP19032683U Pending JPS6097395U (ja) 1983-12-12 1983-12-12 ドライ真空ポンプ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02267376A (ja) * 1989-04-07 1990-11-01 Nissei Plastics Ind Co 流体制御装置
JP2022526413A (ja) * 2019-04-05 2022-05-24 ファイファー バキユーム ドライ真空ポンプおよびポンプ設備

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58106191A (ja) * 1981-12-09 1983-06-24 ザ・ビ−オ−シ−・グル−プ・ピ−エルシ− 機械ポンプ

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58106191A (ja) * 1981-12-09 1983-06-24 ザ・ビ−オ−シ−・グル−プ・ピ−エルシ− 機械ポンプ

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