JPS61100585A - 錯化合物およびその製造方法 - Google Patents
錯化合物およびその製造方法Info
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- JPS61100585A JPS61100585A JP60231496A JP23149685A JPS61100585A JP S61100585 A JPS61100585 A JP S61100585A JP 60231496 A JP60231496 A JP 60231496A JP 23149685 A JP23149685 A JP 23149685A JP S61100585 A JPS61100585 A JP S61100585A
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- C07F3/00—Compounds containing elements of Groups 2 or 12 of the Periodic Table
- C07F3/02—Magnesium compounds
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
- C23C16/18—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metallo-organic compounds
-
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- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F3/00—Compounds containing elements of Groups 2 or 12 of the Periodic Table
- C07F3/003—Compounds containing elements of Groups 2 or 12 of the Periodic Table without C-Metal linkages
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は有機金属錯化合物に関し、特に、高い揮発性と
良好な熱的安定性との両方を呈するマグネシウムおよび
亜鉛のβ−ジケトネート錯化合物に関するものである。
良好な熱的安定性との両方を呈するマグネシウムおよび
亜鉛のβ−ジケトネート錯化合物に関するものである。
揮発性の金属錯化合物は、燃料添加剤、金属蒸気発生源
、ガス輸送試薬等を含む種々の分野で関心をもたらされ
ている。β−ジケトネート錯化合物およびその用途につ
いての有用な論述がアール・イー・シーバースほかによ
り「サイエンス」、201 r4352]、217〜2
23ページ(1978年7月)になされており、そこに
はこれらの錯化合物およびその製造方法についての多数
の文献が引用されている。
、ガス輸送試薬等を含む種々の分野で関心をもたらされ
ている。β−ジケトネート錯化合物およびその用途につ
いての有用な論述がアール・イー・シーバースほかによ
り「サイエンス」、201 r4352]、217〜2
23ページ(1978年7月)になされており、そこに
はこれらの錯化合物およびその製造方法についての多数
の文献が引用されている。
ヘキサフルオロアセチルアセトン(1,11,5,5,
5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオン)の陰イ
オン(この陰イオンは[CF3−C0CH−Co−CF
xl−という式を有し、以後(hfa)−で表わされる
)の金属錯化合物またはキレートが研究の対象となって
いる0例えば、Cd (hfa)、、M g (hfa
)イZ n (hfa)*という錯化合物が知られてい
るが、これらの錯化合物は、それらを作成する場合に用
いられるH z OおよびNH,のような溶媒に溶解さ
れたルイス塩基とのアダクツとして分離されることが多
い、従って、Cd(hfa)t・NHs・HzOlCd
(hfa)t ・2 HzOおよびZ n (hfa
) ・2H80というアダクツ(これらは水和物とし
て特徴づけられる)がニス・シー・チャトラジほかによ
りJ 、 I norg、 Nucl。
5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオン)の陰イ
オン(この陰イオンは[CF3−C0CH−Co−CF
xl−という式を有し、以後(hfa)−で表わされる
)の金属錯化合物またはキレートが研究の対象となって
いる0例えば、Cd (hfa)、、M g (hfa
)イZ n (hfa)*という錯化合物が知られてい
るが、これらの錯化合物は、それらを作成する場合に用
いられるH z OおよびNH,のような溶媒に溶解さ
れたルイス塩基とのアダクツとして分離されることが多
い、従って、Cd(hfa)t・NHs・HzOlCd
(hfa)t ・2 HzOおよびZ n (hfa
) ・2H80というアダクツ(これらは水和物とし
て特徴づけられる)がニス・シー・チャトラジほかによ
りJ 、 I norg、 Nucl。
Chss、 + 28.1937〜1943ページ(1
966)に報告されている。
966)に報告されている。
ヨーロッパ特許出願EP 0103446に、M(h
fa)* ・nT HF (ただしMはMgまたはZn
。
fa)* ・nT HF (ただしMはMgまたはZn
。
nは1−4)という式で表わされ、良好な熱的安定性と
揮発性を呈する金属ジケトネート・アダクツについて説
明されている。その特許出願で報告されているように、
マグネシウム錯化合物M g (hfa)* ・2 T
HFは200℃において分解することなしに揮発され
うる。しかしながら、揮発性および熱的安定性の点でそ
れよりもさらに優れた錯化合物が求められている。
揮発性を呈する金属ジケトネート・アダクツについて説
明されている。その特許出願で報告されているように、
マグネシウム錯化合物M g (hfa)* ・2 T
HFは200℃において分解することなしに揮発され
うる。しかしながら、揮発性および熱的安定性の点でそ
れよりもさらに優れた錯化合物が求められている。
本発明は、改善された熱的安定性および連発性を呈する
マグネシウムおよび亜鉛の新規な錯化合物を提供する0
本発明の錯化合物はマグネシウムまたは亜鉛ヘキサフル
オロアセチルアセトネートの1.2−ジメトキシエタン
(1,2−DME)とのアダクツである。
マグネシウムおよび亜鉛の新規な錯化合物を提供する0
本発明の錯化合物はマグネシウムまたは亜鉛ヘキサフル
オロアセチルアセトネートの1.2−ジメトキシエタン
(1,2−DME)とのアダクツである。
本発明に従って得られる錯化合物はM(hfa)z・1
.2−DMEという分子式で表わされる。ただしMはM
gまたはZnであり、1,2−DMEはM (hfa)
分子とtitのアダクツを形成する1個の1.2−ジメ
トキシエタン配位子を表わす、これらのアダクツは公知
のアダクツの多くよりも高い熱的安定性を呈するだけで
なく、揮発性も高(、かつ融点は低い、このような特徴
を有するものであるから、本発明による錯化合物は化学
気相沈積反応のための原材料として非常に宵祭である。
.2−DMEという分子式で表わされる。ただしMはM
gまたはZnであり、1,2−DMEはM (hfa)
分子とtitのアダクツを形成する1個の1.2−ジメ
トキシエタン配位子を表わす、これらのアダクツは公知
のアダクツの多くよりも高い熱的安定性を呈するだけで
なく、揮発性も高(、かつ融点は低い、このような特徴
を有するものであるから、本発明による錯化合物は化学
気相沈積反応のための原材料として非常に宵祭である。
公知のように、金属β−ジケトネート錯化合物の揮発性
は、その錯化合物を形成するために用いられるジケトン
の選択だけではなく、分子内における配位子(例えばル
イス塩基)の存沓および性質にも依存する。β−ジケト
ネート錯化合物は、それらの調製時に、特に錯化合物が
配位的に飽和しておらずかつ溶媒が良好なルイス塩基で
ある場合に、溶媒とアダクツを形成することが知られて
いる。これらのアダクツは比較的安定であり、かつβ−
ジケトネートそれ自体よりも揮発しやすい。
は、その錯化合物を形成するために用いられるジケトン
の選択だけではなく、分子内における配位子(例えばル
イス塩基)の存沓および性質にも依存する。β−ジケト
ネート錯化合物は、それらの調製時に、特に錯化合物が
配位的に飽和しておらずかつ溶媒が良好なルイス塩基で
ある場合に、溶媒とアダクツを形成することが知られて
いる。これらのアダクツは比較的安定であり、かつβ−
ジケトネートそれ自体よりも揮発しやすい。
金属β−ジケトネートとアダクツを形成しうる分子の例
としては、アンモニア、水、エーテル、ピリジン、とと
りジン、フェナントロリン、テトラヒドロフラン、ジメ
チルホルムアミドがある。中性配位子と呼ばれるこれら
の分子は1つの金属原子を与える錯化合物に6重または
それ以上の配位をもうて付着する。
としては、アンモニア、水、エーテル、ピリジン、とと
りジン、フェナントロリン、テトラヒドロフラン、ジメ
チルホルムアミドがある。中性配位子と呼ばれるこれら
の分子は1つの金属原子を与える錯化合物に6重または
それ以上の配位をもうて付着する。
金属β−ジケトネート・アダクツの安定性は、β−ジケ
トネートの酸性度と、添加された分子の塩基強度との両
方に依存するように思われる。
トネートの酸性度と、添加された分子の塩基強度との両
方に依存するように思われる。
Zn(hfa)zのような二価金属β−ジケトネートの
中心金属原子は、その金属原子の寸法とフッ素を含存し
たβ−ジケトネート配位子の存在に基因して、大きな電
子親和力(ルイス酸性度)を呈することが知られている
0強度の大きいルイス塩基のある種のもので非常に安定
なアダクツが形成されうる。窒素塩基のうちのある種の
ものを有するアダクツは特に安定性がよい。
中心金属原子は、その金属原子の寸法とフッ素を含存し
たβ−ジケトネート配位子の存在に基因して、大きな電
子親和力(ルイス酸性度)を呈することが知られている
0強度の大きいルイス塩基のある種のもので非常に安定
なアダクツが形成されうる。窒素塩基のうちのある種の
ものを有するアダクツは特に安定性がよい。
しかしながら、有用な原材料であるかどうかの判定基準
としては、安定性だけでは不十分である。
としては、安定性だけでは不十分である。
イズミほかにより、Bul1, Chew、 So
c、 Jap、 。
c、 Jap、 。
48(11)、3188(1975)に報告されている
ように、ピリジン、1、lO−フェナントロリン、およ
び2.2′−ビピリジンのような窒素を含有したルイス
塩基は、M(hfa)tβ−ジケトネートとともに非常
に安定なアダクツを形成するが、これらのアダクツは公
知のアダクツのうちのある種のものよりも非常に高い融
点を有しうる。
ように、ピリジン、1、lO−フェナントロリン、およ
び2.2′−ビピリジンのような窒素を含有したルイス
塩基は、M(hfa)tβ−ジケトネートとともに非常
に安定なアダクツを形成するが、これらのアダクツは公
知のアダクツのうちのある種のものよりも非常に高い融
点を有しうる。
金属原材料の場合には高い融点は望ましくない。
特に高い質量輸送速度が必要とされる場合には、低い融
点と高い揮発性が特に好ましい。
点と高い揮発性が特に好ましい。
本発明は、M g (hfa) xとZ n (hfa
) tの1.2−ジメトキシエタン・アダクツが、揮発
性を犠牲にすることなしに、優れた安定性を有し、かつ
これらの錯化合物の従来公知のアダクツよりも融点が低
いという知見を基礎としている。従って、これらの1.
2− D M Eアダクツ、M(hfa)z ・l −
2−DMEは、原諸化合物または同しジケトネートの他
のM(hfa)zアダクツよりも分解の危険が少なくて
迅速にかつ完全に揮発されることができるので、それら
は例えば気相反応のための金属戻気の発生源として特に
有用である。
) tの1.2−ジメトキシエタン・アダクツが、揮発
性を犠牲にすることなしに、優れた安定性を有し、かつ
これらの錯化合物の従来公知のアダクツよりも融点が低
いという知見を基礎としている。従って、これらの1.
2− D M Eアダクツ、M(hfa)z ・l −
2−DMEは、原諸化合物または同しジケトネートの他
のM(hfa)zアダクツよりも分解の危険が少なくて
迅速にかつ完全に揮発されることができるので、それら
は例えば気相反応のための金属戻気の発生源として特に
有用である。
錯化合物1.2−ジメトキシエタン(CH3−〇−CH
! −CHz −0−CHs )は、約82℃の沸点を
有する二座配位エーテルとして特徴づけられる。この錯
化合物のβ−ジケト名−トM g (hfa) zおよ
びZ n (hfa)zとのアダクツはβ−ジケトネー
トを水和物として合成し次にその水和物をキレート二座
配位エーテルと化合させることにより作成されうる。こ
のようにして得られたエーテル・アダクツは、1.2−
DME配位子を失うことなしに真空中で昇華されうる。
! −CHz −0−CHs )は、約82℃の沸点を
有する二座配位エーテルとして特徴づけられる。この錯
化合物のβ−ジケト名−トM g (hfa) zおよ
びZ n (hfa)zとのアダクツはβ−ジケトネー
トを水和物として合成し次にその水和物をキレート二座
配位エーテルと化合させることにより作成されうる。こ
のようにして得られたエーテル・アダクツは、1.2−
DME配位子を失うことなしに真空中で昇華されうる。
次の例では、M g (hfaL ・1.2−DMEア
ダクツを合成するのにを用な方法について説明する。
ダクツを合成するのにを用な方法について説明する。
例1− M g (hfa)z ・1.2−DME三つ
首のフラスコに入れた1、6リソトルの新しく蒸留され
たエーテルに純粋な塩基性炭酸マグネシウムを添加する
。この炭酸マグネシウムはアメリカ合衆国ニューヨーク
州ホーソーン所在のイー・エム ケミカルズ インコー
ホレイテッドからエフ・オー・オプテイバー・グレード
として市販されている。三つ首のフラスコには、機械的
な攪拌器が設けられ、かつそのフラスコ内の反応物上に
アルゴン雰囲気を維持するための手段が設けられている
。
首のフラスコに入れた1、6リソトルの新しく蒸留され
たエーテルに純粋な塩基性炭酸マグネシウムを添加する
。この炭酸マグネシウムはアメリカ合衆国ニューヨーク
州ホーソーン所在のイー・エム ケミカルズ インコー
ホレイテッドからエフ・オー・オプテイバー・グレード
として市販されている。三つ首のフラスコには、機械的
な攪拌器が設けられ、かつそのフラスコ内の反応物上に
アルゴン雰囲気を維持するための手段が設けられている
。
ヘキサフルオロアセチルアセトン(CF、−G。
−CHz −CO−CF s )をP t Os上で1
留しかつ混合物を連続的に攪拌しながら、フラスコ内の
炭酸マグネシウム液に蒸留β−ジケトン480ミリリツ
トルを滴状で添加する。この添加が終了しかつ反応混合
物からのCOzの発生が停止して後に、その混合物を1
8時間還流させ、冷却し、そして濾過する0次に回転1
発によりエーテルを除去し、M g (hfa)i −
2Hgo中間水和物を分離する。
留しかつ混合物を連続的に攪拌しながら、フラスコ内の
炭酸マグネシウム液に蒸留β−ジケトン480ミリリツ
トルを滴状で添加する。この添加が終了しかつ反応混合
物からのCOzの発生が停止して後に、その混合物を1
8時間還流させ、冷却し、そして濾過する0次に回転1
発によりエーテルを除去し、M g (hfa)i −
2Hgo中間水和物を分離する。
この中間水和物を次に過剰1.2−ジメトキシエタンに
溶解し、そのようにして得られた水溶液を16時間ゆっ
くりと還流させ、水和水を1.2−DMEで置換する。
溶解し、そのようにして得られた水溶液を16時間ゆっ
くりと還流させ、水和水を1.2−DMEで置換する。
この処理の終りに、過剰1.2−DMEを蒸発により除
去し、かつ水冷式昇華装置を用いてMg(hfaL・1
12−DME生成生成物臭空中で昇華させる0歩留りが
約77%である場合、740gのM g (hfa)z
・1 、2− DMEが回収される。この生成物は7
0℃の融点を有し、かつ約120℃において10mm(
Hg)の蒸気圧を有する。
去し、かつ水冷式昇華装置を用いてMg(hfaL・1
12−DME生成生成物臭空中で昇華させる0歩留りが
約77%である場合、740gのM g (hfa)z
・1 、2− DMEが回収される。この生成物は7
0℃の融点を有し、かつ約120℃において10mm(
Hg)の蒸気圧を有する。
上記の方法で生成されたM g (hfa) z・1.
2−DMEにつき、化学分析、熱重量分析、フーリエ変
換赤外線(FT−I R)分析、およびlH核磁気共鳴
(nmr)検査を行なった。Mg、CおよびHについて
の生成物の化学分析の結果が下記の表Iに示されている
。この表には、これらの元素の濃度の実験値(分析値)
および計算値(理論値)が重量パーセントで示されてい
る。
2−DMEにつき、化学分析、熱重量分析、フーリエ変
換赤外線(FT−I R)分析、およびlH核磁気共鳴
(nmr)検査を行なった。Mg、CおよびHについて
の生成物の化学分析の結果が下記の表Iに示されている
。この表には、これらの元素の濃度の実験値(分析値)
および計算値(理論値)が重量パーセントで示されてい
る。
Mg 4.6 、 4.82C31,
831,1、31,3 H2,32,3,2,3 生成物の熱重量分析(TGA)を、20■の試料につき
、それをアルゴン雰囲気内で10℃/分の割合で加熱し
ながら1.実施した。この分析によって得られた熱重量
曲線がr T G A −M g (hfa) x・1
.2−DMEJとして第1図に示されている。
831,1、31,3 H2,32,3,2,3 生成物の熱重量分析(TGA)を、20■の試料につき
、それをアルゴン雰囲気内で10℃/分の割合で加熱し
ながら1.実施した。この分析によって得られた熱重量
曲線がr T G A −M g (hfa) x・1
.2−DMEJとして第1図に示されている。
このTC,A曲線は、狭い温度範囲で錯化合物が迅速に
かつ完全に揮発すること、その場合、使用された蒸発条
件下では検知しうる分解は生じなかったことを示してい
る。試料の半分が蒸発した温度(T I /□)(この
温度は錯化合物の揮発性についての比較的良好な指標で
ある)はTGA曲線から約170℃と推定される。この
値はM g (hfa) w ・2THFの180℃と
いうT、7□温度によく対応している。
かつ完全に揮発すること、その場合、使用された蒸発条
件下では検知しうる分解は生じなかったことを示してい
る。試料の半分が蒸発した温度(T I /□)(この
温度は錯化合物の揮発性についての比較的良好な指標で
ある)はTGA曲線から約170℃と推定される。この
値はM g (hfa) w ・2THFの180℃と
いうT、7□温度によく対応している。
第3図には臭化カリウム中のM g (hfa)ヨ・1
,2−DME試料のFT−IRスペクトルが示されてい
る。このスペクトルは気相において純粋な錯化合物につ
きより高い温度で得られるものと類似している。
,2−DME試料のFT−IRスペクトルが示されてい
る。このスペクトルは気相において純粋な錯化合物につ
きより高い温度で得られるものと類似している。
第5図にはテトラメチルシラン(TMS)標準を含有す
るC D x Cl−x溶媒中でのM g (hfa)
才・1.2−DME試料’Hn■rスペクトルが示さ
れている。このスペクトルはバリアン社製モデルEM3
6OL装置で発生された。3.4(強度6)および3.
7ppm (強度4)の化学シフトにおける共鳴ピー
クが1.2−DME配位子に基因し、6、O5ppm
(強度2)におけるピークはβ−ジケトネートの−C
H3に基因する。ピークの下方の領域の電子的一体化は
マグネシウム原子1個当り1つのDME配位子という提
案された化学的公式化を支持している。
るC D x Cl−x溶媒中でのM g (hfa)
才・1.2−DME試料’Hn■rスペクトルが示さ
れている。このスペクトルはバリアン社製モデルEM3
6OL装置で発生された。3.4(強度6)および3.
7ppm (強度4)の化学シフトにおける共鳴ピー
クが1.2−DME配位子に基因し、6、O5ppm
(強度2)におけるピークはβ−ジケトネートの−C
H3に基因する。ピークの下方の領域の電子的一体化は
マグネシウム原子1個当り1つのDME配位子という提
案された化学的公式化を支持している。
Mg(hfa)z・1−2−DMEの熱的安定性は、第
1図に示されているTGAデータによってだけでなく、
100〜200℃の範囲の温度で長時間加熱した後での
M g (hfa) ! ・1.2−DMEの分解の程
度と性質についての調査によっても立証される。DME
アダクツの優れた熱的安定性は、DMEアダクツとTH
Fアダクツの試料を個々の脱気されたアンプル内におい
て200℃で24時間加熱し、そして室温まで冷却した
後におけるアンプル内の残留圧力と、それにより生じた
試料の脱色を観察することによって示される。THFア
ダクツよりもDMEアダクフの方がその処理の後での残
留圧力が低く、かつ脱色も少ない。
1図に示されているTGAデータによってだけでなく、
100〜200℃の範囲の温度で長時間加熱した後での
M g (hfa) ! ・1.2−DMEの分解の程
度と性質についての調査によっても立証される。DME
アダクツの優れた熱的安定性は、DMEアダクツとTH
Fアダクツの試料を個々の脱気されたアンプル内におい
て200℃で24時間加熱し、そして室温まで冷却した
後におけるアンプル内の残留圧力と、それにより生じた
試料の脱色を観察することによって示される。THFア
ダクツよりもDMEアダクフの方がその処理の後での残
留圧力が低く、かつ脱色も少ない。
二座配位エーテルとの亜鉛アダクツ、すなわちZ n
(hfa)x ・1.2−DMEが、例1に従ってマグ
ネシウムアゲクツを作成するために用いたのと同様の方
法で作成されうる0次の例でその方法につき説明する。
(hfa)x ・1.2−DMEが、例1に従ってマグ
ネシウムアゲクツを作成するために用いたのと同様の方
法で作成されうる0次の例でその方法につき説明する。
2−Zn(hfa)t・1.2−DME攪拌器、凝縮器
、加熱用マンテル、およびアルゴンを放逐するための手
段を設けられた12リットル反応容器に、純粋な(99
,999%の)酸化亜鉛°233グラムと、二回蒸留し
た水800mlを加える。アルゴン雰囲気内で、例1に
おけるように蒸留された1、1.1.5.5.5−ヘキ
サフルオロアセチルアセトン760mlを一定に攪拌し
ながらゆっくりと加える。これを約30分で終了する。
、加熱用マンテル、およびアルゴンを放逐するための手
段を設けられた12リットル反応容器に、純粋な(99
,999%の)酸化亜鉛°233グラムと、二回蒸留し
た水800mlを加える。アルゴン雰囲気内で、例1に
おけるように蒸留された1、1.1.5.5.5−ヘキ
サフルオロアセチルアセトン760mlを一定に攪拌し
ながらゆっくりと加える。これを約30分で終了する。
次に上記容器にジエチル・エーテル2す7トルを加え、
その結果得られた混合物を80時間ゆるやかに加熱する
。然る後、容器とそれの内容物を冷却し、過剰ZnOを
濾過して除去し、そして溶解したZ n (hfa)
z・2H2O中間物を含有したエーテル層を分液漏斗で
水層から分離させる。このエーテル液を蒸発させると、
水和亜鉛β−ジケトネート中間物Z n (hfa)a
・2 H*Oが得られる。
その結果得られた混合物を80時間ゆるやかに加熱する
。然る後、容器とそれの内容物を冷却し、過剰ZnOを
濾過して除去し、そして溶解したZ n (hfa)
z・2H2O中間物を含有したエーテル層を分液漏斗で
水層から分離させる。このエーテル液を蒸発させると、
水和亜鉛β−ジケトネート中間物Z n (hfa)a
・2 H*Oが得られる。
次にこの中間物水和物を過剰高温1.2−ジメトキシエ
タンに溶解させ、そして得られた溶液を68℃において
16時間還流させ、水和水を1.2−DMEで置換させ
る。この処理の終りに、残留過剰1.2−DMEを回転
蒸発により除去し、かつZn(hfa)z・1,2−D
ME生成物の幾らかを水冷式昇華器で昇華させ、生成物
評価前において少量の未結合のDMEを除去する。
タンに溶解させ、そして得られた溶液を68℃において
16時間還流させ、水和水を1.2−DMEで置換させ
る。この処理の終りに、残留過剰1.2−DMEを回転
蒸発により除去し、かつZn(hfa)z・1,2−D
ME生成物の幾らかを水冷式昇華器で昇華させ、生成物
評価前において少量の未結合のDMEを除去する。
上記の方法により約763グラムのZ n (hfa)
t・1,2−DMEが得られ、歩留りは約56%である
。昇華されたZ n (hfa)z ・1.2− D
M E生成物の融点は約25℃であり、かつこの錯化合
物は125℃において約16m()1g)の蒸気圧を有
している。
t・1,2−DMEが得られ、歩留りは約56%である
。昇華されたZ n (hfa)z ・1.2− D
M E生成物の融点は約25℃であり、かつこの錯化合
物は125℃において約16m()1g)の蒸気圧を有
している。
上述した方法で生成されたZ n (hfaL・1.2
−DMEを亜鉛、炭素および水素含臂量につき分析した
結果が表■に示されている0表Hには、これらの元素の
濃度の実験値(分析値)と計算値(理論値)が重量%で
示されている。
−DMEを亜鉛、炭素および水素含臂量につき分析した
結果が表■に示されている0表Hには、これらの元素の
濃度の実験値(分析値)と計算値(理論値)が重量%で
示されている。
Zn 11.5 11.1
C29,529,3
H2,12,0
Z n (hfa)g ・1.2−DME生成物の昇華
された20■の試料をアルゴン雰囲気内において10℃
/分の割合で加熱して熱ff1ff1分析を行なった結
果、第2図に示されているTGAlllII線が得られ
た。
された20■の試料をアルゴン雰囲気内において10℃
/分の割合で加熱して熱ff1ff1分析を行なった結
果、第2図に示されているTGAlllII線が得られ
た。
マグネシウム錯化合物の場合と同様に、亜鉛錯化合物も
狭い温度範囲で迅速かつ完全に蒸発し、その蒸発の過程
において検出可能な熱分解を示さなかった。これらの条
件のもとての亜鉛錯化合物の推定TI/1温度は162
℃であり、この温度は、同じ条件のもとで決定されたZ
n (hfa)z・2THFのT17!温度より若干
高いだけである。
狭い温度範囲で迅速かつ完全に蒸発し、その蒸発の過程
において検出可能な熱分解を示さなかった。これらの条
件のもとての亜鉛錯化合物の推定TI/1温度は162
℃であり、この温度は、同じ条件のもとで決定されたZ
n (hfa)z・2THFのT17!温度より若干
高いだけである。
第4図には、基板間におけるZ n (hfa) t・
1.2−DMEの試料が呈するFT−I Rスペクトル
が示されている。このスペクトルはそれよりも高い温度
で蒸発したZn(hfa)寞’ 1−2−DMEから得
られたスペクトルにg(Glしている。
1.2−DMEの試料が呈するFT−I Rスペクトル
が示されている。このスペクトルはそれよりも高い温度
で蒸発したZn(hfa)寞’ 1−2−DMEから得
られたスペクトルにg(Glしている。
第6図には、7MS標準を含んだCDC1溶媒に溶解さ
れたZ n (hfa)z ・1.2−DME試料の’
Hrvrスペクトルが示されている。標準からの3.4
3および3.65pp−の化学シフトにおける共鳴ピー
クは1.2−DME配位子に基因し、5.95pp−化
学シフトはβ−ジケトネート配位子の−CH基に基因す
る。7.12ppmにおける小さい信号は重水素を含む
クロロホルム内のCHC!t3不純物である。この場合
にも、ピークの下方の領域の電子的一体化は亜鉛原子1
個につき!つのD M E配位子を示している。
れたZ n (hfa)z ・1.2−DME試料の’
Hrvrスペクトルが示されている。標準からの3.4
3および3.65pp−の化学シフトにおける共鳴ピー
クは1.2−DME配位子に基因し、5.95pp−化
学シフトはβ−ジケトネート配位子の−CH基に基因す
る。7.12ppmにおける小さい信号は重水素を含む
クロロホルム内のCHC!t3不純物である。この場合
にも、ピークの下方の領域の電子的一体化は亜鉛原子1
個につき!つのD M E配位子を示している。
マグネシウム錯化合物の場合と同様に、Zn(hfa)
x・1,2−DMEの熱的安定性は、第2図に示されて
いるようにTGAの迅速かつ完全な揮発が観察されたこ
とだけでなく、試料を回封アンプル内において200℃
で24時間加熱した後で残留ガス圧力を測定することに
よっても立証される。この場合でも、1.2− D M
Eアダクツは、THFアダクツよりも残留圧力が低く
、かつこのテストの後での脱色も少ない。
x・1,2−DMEの熱的安定性は、第2図に示されて
いるようにTGAの迅速かつ完全な揮発が観察されたこ
とだけでなく、試料を回封アンプル内において200℃
で24時間加熱した後で残留ガス圧力を測定することに
よっても立証される。この場合でも、1.2− D M
Eアダクツは、THFアダクツよりも残留圧力が低く
、かつこのテストの後での脱色も少ない。
本発明のM(hfa)m ・1.2− D M E i
t化合物が呈する揮発性と熱的安定性の組合せはユニー
クであ°ることが明らかである。1、l−ジメトキシエ
タンおよび2.2−ジメトキシプロパンのような他の二
座配位エーテルで安定な錯化合物を生成しようとしても
、安定な生成物は得られない、さらに、容易に形成され
る1、10−フェナントロリンおよび2.2′−とピリ
ジンのような配位性の強い窒素塩基との付加錯化合物で
は、1.2−DMEアダクツよりも良好な特性は得られ
なかった。
t化合物が呈する揮発性と熱的安定性の組合せはユニー
クであ°ることが明らかである。1、l−ジメトキシエ
タンおよび2.2−ジメトキシプロパンのような他の二
座配位エーテルで安定な錯化合物を生成しようとしても
、安定な生成物は得られない、さらに、容易に形成され
る1、10−フェナントロリンおよび2.2′−とピリ
ジンのような配位性の強い窒素塩基との付加錯化合物で
は、1.2−DMEアダクツよりも良好な特性は得られ
なかった。
下記の表■は、1.2−DMEと窒素塩基アダクツの場
合の融点とT178揮発度データを示している。
合の融点とT178揮発度データを示している。
一フェナントロリン
Z n (hfa)z ・2.2’ 266
295−ビピリジン M g (hfa)z ・1.2 70 1
70DME Z n (hfa)z ・1.2 125 1
62DME これらのデータは、DMEアダクツと、配位性の強いマ
グネシウムの窒素塩基および亜鉛ヘキサフルオロアセチ
ルアセトネートをともなうアダクツとの間には揮発性の
点で顕薯な差異があることを示しており、また窒素アダ
クツは安定ではあるが、金属蒸気源材料として使用する
のには有望でないことの理由を示している。
295−ビピリジン M g (hfa)z ・1.2 70 1
70DME Z n (hfa)z ・1.2 125 1
62DME これらのデータは、DMEアダクツと、配位性の強いマ
グネシウムの窒素塩基および亜鉛ヘキサフルオロアセチ
ルアセトネートをともなうアダクツとの間には揮発性の
点で顕薯な差異があることを示しており、また窒素アダ
クツは安定ではあるが、金属蒸気源材料として使用する
のには有望でないことの理由を示している。
第1図および第2図は本発明に従って得られた錯化合物
の熱重量曲線を示す図、第3図および第4図は本発明に
従って得られた錯化合物の赤外線透過率スペクトルを示
す図、第5図および第6UjJは本発明に従って得られ
た陽子核磁気共鳴スペクトルを示す図である。
の熱重量曲線を示す図、第3図および第4図は本発明に
従って得られた錯化合物の赤外線透過率スペクトルを示
す図、第5図および第6UjJは本発明に従って得られ
た陽子核磁気共鳴スペクトルを示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、M(hfa)_2・1,2−DMEで表わされ、M
はMgまたはZnであり、hfaは1,1,1,5,5
,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオネートで
あり、かつ1,2−DMEは中性1,2−ジメトキシエ
タン配位子である錯化合物。 2、特許請求の範囲第1項記載の錯化合物において、前
記MがMgである前記錯化合物。 3、特許請求の範囲第1項記載の錯化合物において、前
記MがZnである前記錯化合物。 4、M(hfa)_2・1,2−DMEで表わされ、M
はMgまたはZnであり、hfaは1,1,1,5,5
,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオネートで
あり、かつ1,2−DMEは中性1,2−ジメトキシエ
タン配位子である錯化合物を製造する方法であって、β
−ジケトネート水和物M(hfa)_2・H_2Oを配
位子1,2−DMEと反応させることよりなる前記方法
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US662829 | 1984-10-19 | ||
| US06/662,829 US4558144A (en) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | Volatile metal complexes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100585A true JPS61100585A (ja) | 1986-05-19 |
| JPH0529230B2 JPH0529230B2 (ja) | 1993-04-28 |
Family
ID=24659384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60231496A Granted JPS61100585A (ja) | 1984-10-19 | 1985-10-18 | 錯化合物およびその製造方法 |
Country Status (18)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4558144A (ja) |
| EP (1) | EP0178786B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61100585A (ja) |
| KR (1) | KR890004346B1 (ja) |
| AT (1) | ATE42537T1 (ja) |
| AU (1) | AU568778B2 (ja) |
| BR (1) | BR8505045A (ja) |
| CA (1) | CA1234822A (ja) |
| DE (1) | DE3569723D1 (ja) |
| DK (1) | DK158654C (ja) |
| ES (1) | ES8802290A1 (ja) |
| FI (1) | FI79711C (ja) |
| HK (1) | HK86590A (ja) |
| IL (1) | IL76692A (ja) |
| IN (1) | IN166292B (ja) |
| MX (1) | MX164081B (ja) |
| NO (1) | NO163858C (ja) |
| SG (1) | SG71490G (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004508215A (ja) * | 2000-09-08 | 2004-03-18 | ナノゾルティオンス ゲーエムベーハー | ナノ粒子の合成 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4604118A (en) * | 1985-08-13 | 1986-08-05 | Corning Glass Works | Method for synthesizing MgO--Al2 O3 --SiO2 glasses and ceramics |
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