JPS61103689A - レ−ザ加工機 - Google Patents
レ−ザ加工機Info
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- JPS61103689A JPS61103689A JP59225004A JP22500484A JPS61103689A JP S61103689 A JPS61103689 A JP S61103689A JP 59225004 A JP59225004 A JP 59225004A JP 22500484 A JP22500484 A JP 22500484A JP S61103689 A JPS61103689 A JP S61103689A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 241001274961 Rubus repens Species 0.000 abstract 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/703—Cooling arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）、産業上の利用分野
本発明は、レーザ加工機に係り、特にレーザ発振器から
集光レンズ迄の外部光学系を外部から遮断する防塵チュ
ーブが設けられたレーザ加工機に関する。
集光レンズ迄の外部光学系を外部から遮断する防塵チュ
ーブが設けられたレーザ加工機に関する。
（ｂ）、従来の技術
従来、この種のレーザ加工機においては、防塵チューブ
内に外部から塵埃が侵入して反射鏡等の光学系が汚染さ
れることを防止するために、防塵チューブ内に外気圧よ
り僅かに高い圧力の窒素ガスや乾燥空気等を送り込んで
いる。しかも、それ等は何らの温度制剤も加えられるこ
となく注入されている。
内に外部から塵埃が侵入して反射鏡等の光学系が汚染さ
れることを防止するために、防塵チューブ内に外気圧よ
り僅かに高い圧力の窒素ガスや乾燥空気等を送り込んで
いる。しかも、それ等は何らの温度制剤も加えられるこ
となく注入されている。
（Ｃ）０発明が解決しようとする問題点しかし、窒素ガ
スを用いると、常時ガス量を点検管理しておかない限り
ガス欠等による運転不能状態の発生が危惧され、また乾
燥空気の場合には、過度に冷却された空気による反射鏡
等の光学部品への結露や、空気と光学部品との間の謳度
差から熱歪が生じ、光路のアライメントが狂ってしまう
等多くの問題が有った。
スを用いると、常時ガス量を点検管理しておかない限り
ガス欠等による運転不能状態の発生が危惧され、また乾
燥空気の場合には、過度に冷却された空気による反射鏡
等の光学部品への結露や、空気と光学部品との間の謳度
差から熱歪が生じ、光路のアライメントが狂ってしまう
等多くの問題が有った。
本発明は、前述の欠点を解消すべく、窒素ガス等の特殊
なガスを用いることなく、シかも光学部品への結露、熱
歪等の悪影響が無い、信頼性の高いレーザ加工機を提供
することを目的とするものである。
なガスを用いることなく、シかも光学部品への結露、熱
歪等の悪影響が無い、信頼性の高いレーザ加工機を提供
することを目的とするものである。
（ｄ）０問題点を解決するための手段
即ち、本発明は、防塵チューブ周囲の温度を測定する温
度測定手段を設けると共に、前記温度測定手段の測定結
果に基づいて防塵チューブ内に供給する圧縮空気の温度
をｉｕａする温度制御装置を、圧縮空気の供給手段中に
設けて構成される。
度測定手段を設けると共に、前記温度測定手段の測定結
果に基づいて防塵チューブ内に供給する圧縮空気の温度
をｉｕａする温度制御装置を、圧縮空気の供給手段中に
設けて構成される。
（ｅ）０作用
上記した構成により、本発明は、防塵チューブ内に温度
調整された圧縮空気が供給されるので、光学部品等への
結露や熱歪等の発生を防止することが出来るように作用
する。
調整された圧縮空気が供給されるので、光学部品等への
結露や熱歪等の発生を防止することが出来るように作用
する。
（ｆｌ、実施例
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第１図は本発明によるレーザ加工機の外部光学系の温度
制御系統を示す概略図、第２図は本発明が適用されるレ
ーザ加工機の一実施例を示す正面図、第３図は第２図の
平面図である。
制御系統を示す概略図、第２図は本発明が適用されるレ
ーザ加工機の一実施例を示す正面図、第３図は第２図の
平面図である。
レーザ加工機１は、第２図及び第３図に示すように、フ
レーム２を有しており、フレーム２にはテーブル３が矢
印Ａ、Ｂ方向に移動自在に設けられている。フレーム２
にはコラム５が設けられており、コラム５にはサドル６
が矢印Ｃ，Ｄ方向、即ち水平方向に移動駆動自在に設け
られている。
レーム２を有しており、フレーム２にはテーブル３が矢
印Ａ、Ｂ方向に移動自在に設けられている。フレーム２
にはコラム５が設けられており、コラム５にはサドル６
が矢印Ｃ，Ｄ方向、即ち水平方向に移動駆動自在に設け
られている。
サドル６にはヘッド７が矢印Ｅ、Ｆ方向、即ち図中上下
方向に移動自在に設けられており、ヘッド７には集光レ
ンズ９がヘッド７と共に矢印ＥＳＦ方向に移動自在に設
けられている。
方向に移動自在に設けられており、ヘッド７には集光レ
ンズ９がヘッド７と共に矢印ＥＳＦ方向に移動自在に設
けられている。
一方、コラム５の、第２図左方には、レーザ発振器１０
が設けられており、レーザ発振器１０と集光レンズ９間
には外部光学系を構成する反射鏡１１．１２．１３．１
４等が設けられている。
が設けられており、レーザ発振器１０と集光レンズ９間
には外部光学系を構成する反射鏡１１．１２．１３．１
４等が設けられている。
レーザ発振器１０、反射鏡１１．１２．１３．１４、集
光レンズ９間の、レーザ発振器１０から発射されたレー
ザ光１５が通過する経路は、筒状の防塵チューブ１６Ａ
、１Ｂ、、１６゜、１６ｏにより被覆されている。防塵
チューブ１６．は、サドル６のＣ，Ｄ方向の移動に対応
できるように、Ｃ，Ｄ方向に伸縮自在に設けられており
、また防塵チューブ１６゜も集光レンズ９のＥ、Ｆ方向
の移動（こ対応出来るようにＥ、Ｆ方向に１Ｉｌｊｖａ
自在１こ設（すられている。
光レンズ９間の、レーザ発振器１０から発射されたレー
ザ光１５が通過する経路は、筒状の防塵チューブ１６Ａ
、１Ｂ、、１６゜、１６ｏにより被覆されている。防塵
チューブ１６．は、サドル６のＣ，Ｄ方向の移動に対応
できるように、Ｃ，Ｄ方向に伸縮自在に設けられており
、また防塵チューブ１６゜も集光レンズ９のＥ、Ｆ方向
の移動（こ対応出来るようにＥ、Ｆ方向に１Ｉｌｊｖａ
自在１こ設（すられている。
ところで、防塵チューブ１６には、第１図（こ示すよう
に、後述のコンプレッサ２０と共（こ圧縮空気供給手段
を構成する空気供給ノ（イブ１７を介して温度制御装置
１９が接続しており、温度制御装置１９にはコンプレッ
サ２０が接続してＬ）る。
に、後述のコンプレッサ２０と共（こ圧縮空気供給手段
を構成する空気供給ノ（イブ１７を介して温度制御装置
１９が接続しており、温度制御装置１９にはコンプレッ
サ２０が接続してＬ）る。
また、温度制御装置１９には、温度センサ２１．２２が
接続しており、温度センサ２１（ま防塵チューブ１６の
表面温度を、温度センサ２２ζよコラム５の表面温度を
測定することが出来る。
接続しており、温度センサ２１（ま防塵チューブ１６の
表面温度を、温度センサ２２ζよコラム５の表面温度を
測定することが出来る。
レーザ加工機１は、以上のような構成を有するので、ワ
ークの加工に際して【よ、ワークをテーブル３上に載置
して、テーブル３をＡ 、 Ｂ 方向１と、集光レンズ
９をヘッド７、サドル６と具化こ、Ｃ１Ｄ方向に移動さ
せ、更に集光レンズ９をＥ、Ｆ方向にヘッド７と共に移
動させてレーザ光１５をワーク上の所定の点に集光させ
て加工を行う。その際には、レーザ光１５は、レーザ発
振＠ｌ！１０力）ら防塵チューブ１６内に向けて発射さ
れ、反射鏡１１．１２．１３．１４により反射されて集
光レンズ９に入射し、更に集光レンズ９で集光されて所
°定の加工を行うが、防塵チューブ１６内には、コンプ
レッサ２０により圧縮された圧縮空気２３が温度制御装
置１９を介して、空気供給パイプ１７から供給されてい
る。温度制御装置１９は、温度センサ２１．２２により
防塵チューブ１６及びコラム５の表面温度を測定してそ
の平均値Ｍを求め、その平均値Ｍに基づいてコンプレッ
サ２０から供給される圧縮空気２２の温度を、平均値Ｍ
に一致させるように冷却または加熱する。こうして、防
塵チューブ１６及びシラム５の平均温度に調整された圧
縮空気２３は空気供給パイプ１７を介して防塵チューブ
１６内に供給されるが、供給される圧縮空気２３は、外
部光学系周辺の部品である防塵チューブ１６、コラム５
等の平均温度にＭＡ整されているので、圧縮空気２３と
反射鏡１１．１２．１３．１４等光学部品の間に顕著な
品度差が発生することが無く、熱歪や結露が発生するこ
とば無い。また、防塵チューブ１６内は外気圧よりも高
−い圧縮空気２３で満たされているので、防塵チューブ
１６内に外部から塵埃が侵入することも無い。
ークの加工に際して【よ、ワークをテーブル３上に載置
して、テーブル３をＡ 、 Ｂ 方向１と、集光レンズ
９をヘッド７、サドル６と具化こ、Ｃ１Ｄ方向に移動さ
せ、更に集光レンズ９をＥ、Ｆ方向にヘッド７と共に移
動させてレーザ光１５をワーク上の所定の点に集光させ
て加工を行う。その際には、レーザ光１５は、レーザ発
振＠ｌ！１０力）ら防塵チューブ１６内に向けて発射さ
れ、反射鏡１１．１２．１３．１４により反射されて集
光レンズ９に入射し、更に集光レンズ９で集光されて所
°定の加工を行うが、防塵チューブ１６内には、コンプ
レッサ２０により圧縮された圧縮空気２３が温度制御装
置１９を介して、空気供給パイプ１７から供給されてい
る。温度制御装置１９は、温度センサ２１．２２により
防塵チューブ１６及びコラム５の表面温度を測定してそ
の平均値Ｍを求め、その平均値Ｍに基づいてコンプレッ
サ２０から供給される圧縮空気２２の温度を、平均値Ｍ
に一致させるように冷却または加熱する。こうして、防
塵チューブ１６及びシラム５の平均温度に調整された圧
縮空気２３は空気供給パイプ１７を介して防塵チューブ
１６内に供給されるが、供給される圧縮空気２３は、外
部光学系周辺の部品である防塵チューブ１６、コラム５
等の平均温度にＭＡ整されているので、圧縮空気２３と
反射鏡１１．１２．１３．１４等光学部品の間に顕著な
品度差が発生することが無く、熱歪や結露が発生するこ
とば無い。また、防塵チューブ１６内は外気圧よりも高
−い圧縮空気２３で満たされているので、防塵チューブ
１６内に外部から塵埃が侵入することも無い。
なお、上述の実施例は、温度センサを防塵チューブ１６
とコラム５に２個設けた場合について述べたが、温度セ
ンサ等の温度測定手段は２個に限らず必要に応じて３個
以上何個設けて構成してもよいことは勿論である。
とコラム５に２個設けた場合について述べたが、温度セ
ンサ等の温度測定手段は２個に限らず必要に応じて３個
以上何個設けて構成してもよいことは勿論である。
また、圧縮空気２３の温度は、本実施例のように、必ず
しも前述の平均値Ｍに一致させる必要は無く、測定され
た防塵チューブの周囲の温度に基づいて、８１械の状況
に応じて適宜調整することが出来ろことは勿論である。
しも前述の平均値Ｍに一致させる必要は無く、測定され
た防塵チューブの周囲の温度に基づいて、８１械の状況
に応じて適宜調整することが出来ろことは勿論である。
（ｇ）０発明の効果
以上、説明したように、本発明によれば、防塵チューブ
１６周囲の温度を測定する温度センサ２１．２２等の温
度測定手段を設けると共に、前記温度測定手段の測定結
果に基づいて防塵チューブ１６内に供給する圧縮空気２
３の温度を調整する温度制御装置１１９を設けたので、
防塵チューブ１６内に供給する圧縮空気２３の温度を、
反射鏡１１．１２．１３．１４等の光学部品に結露や熱
歪を生じさせないように調整することが可能となり、正
確な光路アライメントの維持が容易になり、信頼性の高
いレーザ加工機の提供が可能となる。
１６周囲の温度を測定する温度センサ２１．２２等の温
度測定手段を設けると共に、前記温度測定手段の測定結
果に基づいて防塵チューブ１６内に供給する圧縮空気２
３の温度を調整する温度制御装置１１９を設けたので、
防塵チューブ１６内に供給する圧縮空気２３の温度を、
反射鏡１１．１２．１３．１４等の光学部品に結露や熱
歪を生じさせないように調整することが可能となり、正
確な光路アライメントの維持が容易になり、信頼性の高
いレーザ加工機の提供が可能となる。
また、窒素ガス等の特殊なガスを用いないので、ガス量
の監視等の日常の点検作業が不要で、管理が容易となる
。
の監視等の日常の点検作業が不要で、管理が容易となる
。
第１図は本発明によるレーザ加工機の外部光学系の温度
制御系統を示す概略図、第２図は本発明が適用されるレ
ーザ加工機の一実施例を示す正面図、第３図は第２図の
平面図である。 １・・・・・レーザ加工機 ９ ・・集光レンズ １０・・・・・レーザ発振甜 １１．１２．１３１．１４・・・・外部光学系（反射鏡
） １６・・・・防塵チューブ １７ ・・・圧縮空気供給手段（空気供給パイプ）１９
・・−温度制御装置 ２０・・・・圧縮空気供給手段（コンプレッサ）２１．
２２・・・・温度測定手段（温度センサ）２３・・・圧
縮空気 出願人 株式会社 山崎鉄工所 代理人 弁理士 相１）伸二 （ほか１名） 第１図
制御系統を示す概略図、第２図は本発明が適用されるレ
ーザ加工機の一実施例を示す正面図、第３図は第２図の
平面図である。 １・・・・・レーザ加工機 ９ ・・集光レンズ １０・・・・・レーザ発振甜 １１．１２．１３１．１４・・・・外部光学系（反射鏡
） １６・・・・防塵チューブ １７ ・・・圧縮空気供給手段（空気供給パイプ）１９
・・−温度制御装置 ２０・・・・圧縮空気供給手段（コンプレッサ）２１．
２２・・・・温度測定手段（温度センサ）２３・・・圧
縮空気 出願人 株式会社 山崎鉄工所 代理人 弁理士 相１）伸二 （ほか１名） 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ発振器及び前記レーザ発振器と外部 光学系で接続された集光レンズを有し、前記外部光学系
を外部から被覆する形で防塵チューブを設け、該防塵チ
ューブに圧縮空気供給手段を接続したレーザ加工機にお
いて、防塵チューブ周囲の温度を測定する温度測定手段
を設けると共に、前記温度測定手段の測定結果に基づい
て防塵チューブ内に供給する圧縮空気の温度を調整する
温度制御装置を、前記圧縮空気の供給手段中に設けて構
成したレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59225004A JPS61103689A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | レ−ザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59225004A JPS61103689A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | レ−ザ加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61103689A true JPS61103689A (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=16822569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59225004A Pending JPS61103689A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | レ−ザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61103689A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08197267A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-08-06 | Taiyo Yuden Co Ltd | レーザ加工装置及びこれを用いた電子部品の製造方法 |
| JP2018080393A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | エスエルエム ソルーションズ グループ アーゲー | 加工温度制御で三次元工作物を製造する装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5994594A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-31 | Toshiba Corp | レ−ザ光伝送装置 |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP59225004A patent/JPS61103689A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5994594A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-31 | Toshiba Corp | レ−ザ光伝送装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08197267A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-08-06 | Taiyo Yuden Co Ltd | レーザ加工装置及びこれを用いた電子部品の製造方法 |
| JP2018080393A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | エスエルエム ソルーションズ グループ アーゲー | 加工温度制御で三次元工作物を製造する装置 |
| CN108068342A (zh) * | 2016-11-14 | 2018-05-25 | Slm方案集团股份公司 | 用于利用过程温度控制生产三维工件的设备 |
| CN108068342B (zh) * | 2016-11-14 | 2020-07-03 | Slm方案集团股份公司 | 用于生产三维工件的设备和操作该设备的方法 |
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