JPS5994594A - レ−ザ光伝送装置 - Google Patents
レ−ザ光伝送装置Info
- Publication number
- JPS5994594A JPS5994594A JP57202925A JP20292582A JPS5994594A JP S5994594 A JPS5994594 A JP S5994594A JP 57202925 A JP57202925 A JP 57202925A JP 20292582 A JP20292582 A JP 20292582A JP S5994594 A JPS5994594 A JP S5994594A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective cover
- transmission device
- cooler
- cover
- temp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/703—Cooling arrangements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーデ光伝送装置の改良に関する。
一般に、レーデ発振器によって得られるレーデ光は指光
性のよい光であって、゛集光レンズで集光することによ
りて高い出力密度のものが得られるので、被加工物の孔
明け、溶接、切断、焼入れなど広く各種の加工工程に利
用されている。
性のよい光であって、゛集光レンズで集光することによ
りて高い出力密度のものが得られるので、被加工物の孔
明け、溶接、切断、焼入れなど広く各種の加工工程に利
用されている。
即ち、従来のレーザ光伝送装置は第１図に示すように構
成され、レーデ発振器１から発射されたレーデ光２は、
保護と安全のための・ぐイブ状保護カバー３を通してビ
ーム折曲げ用全反射ミラー４へ導かれる。そして、この
全反射ミラー４によシ、レーデ光２は９０°折シ曲げら
れ、集光レンズ５に導かれる。この集光レンズ５でレー
デ光２は集光され、加工ノズル６を通過して、テーブル
７上に置かれた被加工物８に照射される。
成され、レーデ発振器１から発射されたレーデ光２は、
保護と安全のための・ぐイブ状保護カバー３を通してビ
ーム折曲げ用全反射ミラー４へ導かれる。そして、この
全反射ミラー４によシ、レーデ光２は９０°折シ曲げら
れ、集光レンズ５に導かれる。この集光レンズ５でレー
デ光２は集光され、加工ノズル６を通過して、テーブル
７上に置かれた被加工物８に照射される。
上記のような従来のレーデ光伝送装置においては、保護
カバー３内の空気のレーデ光伝送たよる吸収に伴なう熱
効果によシ、レーデ光２のビーム形状が変化する。この
結果、例えば切断加工の場合、集光スポットの径が変化
したシ、位置が変化し、正常な切断ができなくなる。
カバー３内の空気のレーデ光伝送たよる吸収に伴なう熱
効果によシ、レーデ光２のビーム形状が変化する。この
結果、例えば切断加工の場合、集光スポットの径が変化
したシ、位置が変化し、正常な切断ができなくなる。
この発明の目的は、レーザ光の伝送時における吸収を減
らし、熱効果によるレーデビームの形状変化を軽減し、
安定したレーザ加工を行なうことができるレーデ光伝送
装置を提供することである。
らし、熱効果によるレーデビームの形状変化を軽減し、
安定したレーザ加工を行なうことができるレーデ光伝送
装置を提供することである。
この発明は、レーザ発振器から出たレーザ光が全反射ミ
ラーを介して被加工物に至る光路に、保護カバーを設け
てなるレーザ光伝送装置において、 上記保護カバー内を低温に保つ冷却手段を設けたレーデ
光伝送装置である。
ラーを介して被加工物に至る光路に、保護カバーを設け
てなるレーザ光伝送装置において、 上記保護カバー内を低温に保つ冷却手段を設けたレーデ
光伝送装置である。
一般に、レーザ光伝送時のビーム形状の歪はレーザ光の
空気等の気体による吸収に伴なう熱効果によって気体密
度に分布が生じるためと考えられる。この原因となるレ
ーザ光の吸収は、ＣＯ□レーザ光（λ＝１０．６μｍ）
の場合、空気中のＨ２Ｏが主に効いていると思われる。
空気等の気体による吸収に伴なう熱効果によって気体密
度に分布が生じるためと考えられる。この原因となるレ
ーザ光の吸収は、ＣＯ□レーザ光（λ＝１０．６μｍ）
の場合、空気中のＨ２Ｏが主に効いていると思われる。
一方、Ｈ２０蒸気の空気中での飽和時の密度は３００に
で２０９／ｃＴＬ程度あシ、温度を３０に下げると、１
桁ずつ減少する。従って、伝送路内の空気を低温に保て
ば、Ｈ２０蒸気の量を減らし、吸収を軽減することがで
き、レーザビームの形状の歪を少なくすることができる
。
で２０９／ｃＴＬ程度あシ、温度を３０に下げると、１
桁ずつ減少する。従って、伝送路内の空気を低温に保て
ば、Ｈ２０蒸気の量を減らし、吸収を軽減することがで
き、レーザビームの形状の歪を少なくすることができる
。
そこで、この発明のレーザ光伝送装置は第２図に示すよ
うに構成され、従来例（第１図）と同一箇所には同一符
号を付すことにする。
うに構成され、従来例（第１図）と同一箇所には同一符
号を付すことにする。
即ち、レーデ発振器１から出たレーデ光２が全反射ミラ
ー４を介して被加工物８に至る光路に設けられた例えば
ｉ９イノ状の保護カバー３内には、壁面に沿って冷却パ
イプ９が配設され、この冷却ノ＋イゾ９の両端は保護カ
バー３外にある冷却器１０に接続されている。この冷却
器１０は温度制御ユニット１１に接続され、この温度制
御ユニット１１は温度測定器１２ｉ１Ｃ接続されている
。又、保護カバー３の壁面を貫通して温度センサ１３が
取付けられ、この温度センサ１３は上記温度測定器１２
に接続されている。
ー４を介して被加工物８に至る光路に設けられた例えば
ｉ９イノ状の保護カバー３内には、壁面に沿って冷却パ
イプ９が配設され、この冷却ノ＋イゾ９の両端は保護カ
バー３外にある冷却器１０に接続されている。この冷却
器１０は温度制御ユニット１１に接続され、この温度制
御ユニット１１は温度測定器１２ｉ１Ｃ接続されている
。又、保護カバー３の壁面を貫通して温度センサ１３が
取付けられ、この温度センサ１３は上記温度測定器１２
に接続されている。
そして動作時には、冷却器１０は温度センサ１３及び温
度制御ユニット１１によシ制御され保護カバー３内を低
温に保っている。
度制御ユニット１１によシ制御され保護カバー３内を低
温に保っている。
この発明によれば、冷却手段を設けて保護カバー３内を
低温に保っているので、レーデ光２の伝送時における吸
収が減少し、熱効果によるレーザビームの形状変化が軽
減する。この結果、安定したレーデ加工を行なうことが
できる。
低温に保っているので、レーデ光２の伝送時における吸
収が減少し、熱効果によるレーザビームの形状変化が軽
減する。この結果、安定したレーデ加工を行なうことが
できる。
尚、第３図はこの考案の変形例を示したもので、上記実
施例と同様効果が得られる。即ち、保護カバー３にパイ
・ぐスとして循環路１４を形成し、この循環路１４内に
ファン１５を設けると共に、蛇行状の冷却パイプ１６を
配設し、保護カバー３内の空気を矢印のよりに循環させ
ると共にファン１５で強制冷却している。
施例と同様効果が得られる。即ち、保護カバー３にパイ
・ぐスとして循環路１４を形成し、この循環路１４内に
ファン１５を設けると共に、蛇行状の冷却パイプ１６を
配設し、保護カバー３内の空気を矢印のよりに循環させ
ると共にファン１５で強制冷却している。
第１図は従来のレーザ光伝送装置を示す概略構成図、第
２図はこの発明の一実施例に係るレーザ光伝送装置を示
す概略構成図、第３図はこの考案の変形例を示す概略構
成図である。 １・・・レーデ発振器、２・・・レーザ光、３・・・保
護カバー、４・・・全反射ミラー、５・・・集光レンズ
、６・・・加工ノズル、７・・・テーブル、８・・・被
加工徹９・・・冷却パイプ、１０・・・冷却器、１１・
・・温度制御ユニット、１２・・・温度測定器、１３・
・・温度センサ、１４・・・循環路、１５・・・ファン
、１６・・・冷却７母イゾ。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 ３ 第２図 第３図
２図はこの発明の一実施例に係るレーザ光伝送装置を示
す概略構成図、第３図はこの考案の変形例を示す概略構
成図である。 １・・・レーデ発振器、２・・・レーザ光、３・・・保
護カバー、４・・・全反射ミラー、５・・・集光レンズ
、６・・・加工ノズル、７・・・テーブル、８・・・被
加工徹９・・・冷却パイプ、１０・・・冷却器、１１・
・・温度制御ユニット、１２・・・温度測定器、１３・
・・温度センサ、１４・・・循環路、１５・・・ファン
、１６・・・冷却７母イゾ。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 ３ 第２図 第３図
Claims (3)
- （１） レーデ発振器から出たレーザ光が全反射ミラ
ーを介して被加工物に至る光路に、保護カバーを設けて
なるレーザ光伝送装置において、上記保護カバー内を低
温に保つ冷却手段を設けたことを特徴とするレーデ光伝
送装置。 - （２）上記冷却手段は、上記保護カバー内に冷却パイプ
を配設して冷却器に接続し、更に温度制御ユニットと上
記保護カバー内に設けた温度センサとによシ上記冷却器
を制御している特許請求の範囲第１項記載のレーデ光伝
送装置。 - （３）上記冷却手段は、上記保護カバーに循環路を設け
、この循環路内にファンを設けると共に蛇行状冷却Ａ’
イブを配設して冷却器に接続し更に温度制御ユニットと
上記保護カバー内に設けた温度センサとによ）上記冷却
器を制御している特許請求の範囲第１項記載のレーデ光
伝送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57202925A JPS5994594A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | レ−ザ光伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57202925A JPS5994594A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | レ−ザ光伝送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994594A true JPS5994594A (ja) | 1984-05-31 |
Family
ID=16465425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57202925A Pending JPS5994594A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | レ−ザ光伝送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994594A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61103689A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 | Yamazaki Mazak Corp | レ−ザ加工機 |
| JPS61103690A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 | Yamazaki Mazak Corp | レ−ザ加工機 |
| JPH08197267A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-08-06 | Taiyo Yuden Co Ltd | レーザ加工装置及びこれを用いた電子部品の製造方法 |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP57202925A patent/JPS5994594A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61103689A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 | Yamazaki Mazak Corp | レ−ザ加工機 |
| JPS61103690A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 | Yamazaki Mazak Corp | レ−ザ加工機 |
| JPH08197267A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-08-06 | Taiyo Yuden Co Ltd | レーザ加工装置及びこれを用いた電子部品の製造方法 |
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