JPS611071A - ガスレ−ザ発生器 - Google Patents
ガスレ−ザ発生器Info
- Publication number
- JPS611071A JPS611071A JP59120958A JP12095884A JPS611071A JP S611071 A JPS611071 A JP S611071A JP 59120958 A JP59120958 A JP 59120958A JP 12095884 A JP12095884 A JP 12095884A JP S611071 A JPS611071 A JP S611071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- valve
- circulation path
- laser gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、ガスレーザ発生器、特にグロー放電をレー
ザ発振励起源とするガスレーザに関するものである。
ザ発振励起源とするガスレーザに関するものである。
従来例の構成とその問題点
ガス物質をレーザ媒質とするレーザ発生器において、媒
質に負温度分布を発生するためにグロー放電を励起源と
して利用することは一般に実施されている。
質に負温度分布を発生するためにグロー放電を励起源と
して利用することは一般に実施されている。
ところが、ガス媒質をグロー放電させると、カス媒質が
イオン化し、電極および放電管壁はもちろんのこと、ガ
スの循環路およびその系を構成している物質と反応し、
あるいは吸着されたりする。
イオン化し、電極および放電管壁はもちろんのこと、ガ
スの循環路およびその系を構成している物質と反応し、
あるいは吸着されたりする。
この現象は、グロー放電中においては、反応および吸着
離脱が可逆的となっており、一定の平衡状態を保持して
いるので、グロー放電の放電状態にはさほど影響を与え
ない。
離脱が可逆的となっており、一定の平衡状態を保持して
いるので、グロー放電の放電状態にはさほど影響を与え
ない。
しかし、運転を停止した後においては、イオン化したガ
ス物質が電極および放電管壁ならびにガス循環路物質と
不可逆的反応を起こし、あるいは吸着され続ける。この
吸着によって最も悪影響をこうむるものは、グロー放電
を維持させるための電極である。
ス物質が電極および放電管壁ならびにガス循環路物質と
不可逆的反応を起こし、あるいは吸着され続ける。この
吸着によって最も悪影響をこうむるものは、グロー放電
を維持させるための電極である。
すなわち、電極にイオン化したガス物質が吸着すること
により、運転開始直後のグロー放電の安定性に悪影響を
及ぼし、そのため、運転開始直後のレーザ出力が、第２
図の破線Ｂで示すように不安定となり、安定するまでに
時間がかかるという特性上の問題があった。
により、運転開始直後のグロー放電の安定性に悪影響を
及ぼし、そのため、運転開始直後のレーザ出力が、第２
図の破線Ｂで示すように不安定となり、安定するまでに
時間がかかるという特性上の問題があった。
発明の目的
この発明の目的は、かかる従来問題を解消し、安定した
グロー放電を持続できるガスレーザ発生器を提供するこ
とである。
グロー放電を持続できるガスレーザ発生器を提供するこ
とである。
発明の構成
この発明のガスレーザ発生器は、レーザガスの循環路に
、運転停止後のレーザガスを排出するための第１の開閉
弁と、前記レーザガス排出後に前記循環路に新鮮レーザ
ガスを供給するための第２の開閉弁と、前記供給レーザ
ガスの圧力を所定値にするための定圧弁とを設けたもの
である。
、運転停止後のレーザガスを排出するための第１の開閉
弁と、前記レーザガス排出後に前記循環路に新鮮レーザ
ガスを供給するための第２の開閉弁と、前記供給レーザ
ガスの圧力を所定値にするための定圧弁とを設けたもの
である。
この構成の作用は次のとおりである。すなわち、運転停
止後（望ましくは停止直後）に第１の開閉弁を開弁じて
循環路内のイオン化されたレーザガスを排出する。この
排出は、真空ポンプを用いた真空吸引により完全を期す
のが望ましい。この排出により、イオン化したレーザガ
スと電極、放電管壁、ガス循環路物質との反応および吸
着が回避される。
止後（望ましくは停止直後）に第１の開閉弁を開弁じて
循環路内のイオン化されたレーザガスを排出する。この
排出は、真空ポンプを用いた真空吸引により完全を期す
のが望ましい。この排出により、イオン化したレーザガ
スと電極、放電管壁、ガス循環路物質との反応および吸
着が回避される。
ついで、レーザガス排出後（望ましくは排出直後）に第
１の開閉弁を閉弁し、第２の開閉弁を開弁じて新鮮レー
ザガスを循環路内に供給する。これによって、循環路内
に大気が混入することが回避される。
１の開閉弁を閉弁し、第２の開閉弁を開弁じて新鮮レー
ザガスを循環路内に供給する。これによって、循環路内
に大気が混入することが回避される。
レーザガスを循環路内に供給しつづけると、一定圧以上
になったときに定圧弁が動作し、循環路内圧力は所定値
に保たれる。このときのガス圧はレーザの発生に適した
範囲に設定されていることはいうまでもない。
になったときに定圧弁が動作し、循環路内圧力は所定値
に保たれる。このときのガス圧はレーザの発生に適した
範囲に設定されていることはいうまでもない。
このようにして、新鮮レーザガスが所定圧力で充填され
たガスレーザ発生器は、その電極、放電管壁、循環路物
質の劣化が少ないため、運転開始時に、レーザ出力の立
上がり特性が速くしかも安定したものとなる。
たガスレーザ発生器は、その電極、放電管壁、循環路物
質の劣化が少ないため、運転開始時に、レーザ出力の立
上がり特性が速くしかも安定したものとなる。
実施例の説明
この発明の一実施例を第１図および第２図に基づいて説
明する。第１図は、一実施例である炭酸ガスレーザ発生
器の構成図である。
明する。第１図は、一実施例である炭酸ガスレーザ発生
器の構成図である。
レーザ増幅を行うグロー放電を発生させるためのガラス
など絶縁物で構成された放電管１は、この図では２本来
されている。陽極部２は両数電管１．１に共通しており
、陽極部２と対向して陰極部３．３が配置されている。
など絶縁物で構成された放電管１は、この図では２本来
されている。陽極部２は両数電管１．１に共通しており
、陽極部２と対向して陰極部３．３が配置されている。
陰極部３．３にはガス流入口４，４が連通接続されてお
り、陽極部２にガス排出口５が設けられている。
り、陽極部２にガス排出口５が設けられている。
放電管１．１をはさむように反射鏡６．７が配置され、
光学的共振器を構成している。レーザ出力を取り出す反
射鏡６は出力鏡と呼ばれ、他の反射鏡７は一般的には凹
面反射鏡である。
光学的共振器を構成している。レーザ出力を取り出す反
射鏡６は出力鏡と呼ばれ、他の反射鏡７は一般的には凹
面反射鏡である。
レーザ媒質ガスは、循環路８．８を通じてブロワ９など
で循環され、放電管１． １の中に流れを形成する。直
流電源１０の正の出力端子は陽極部３に、負の出力端子
は安定化抵抗１１．１１などを介して陰極部３，３に接
続されている。安定化抵抗１１’、１１の代わりに、真
空管などを用いて放電電流が一定に保持されるよう定電
流回路を構成することは、グロー放電の安定性を向上す
るうえで有効であることは言うまでもない。
で循環され、放電管１． １の中に流れを形成する。直
流電源１０の正の出力端子は陽極部３に、負の出力端子
は安定化抵抗１１．１１などを介して陰極部３，３に接
続されている。安定化抵抗１１’、１１の代わりに、真
空管などを用いて放電電流が一定に保持されるよう定電
流回路を構成することは、グロー放電の安定性を向上す
るうえで有効であることは言うまでもない。
循環路８から分岐された分岐路１２．１３に各々第１の
開閉弁１４．第２の開閉弁１５が設けられ、それぞれ真
空ポンプ１６．レーザガスボンへ１７に接続されている
。
開閉弁１４．第２の開閉弁１５が設けられ、それぞれ真
空ポンプ１６．レーザガスボンへ１７に接続されている
。
分岐路１２にはさらに分岐路１８が連設され、この分岐
路１８に第３の開閉弁１９が設けられ、さらに定圧弁２
０が設けられている。
路１８に第３の開閉弁１９が設けられ、さらに定圧弁２
０が設けられている。
以下、動作を説明する。ガスレーザ発生器の運転中は、
各開閉弁１４，１５．１９をすべて閉とし、レーザガス
は、ブロワ９によって循環路８内を循環している。
各開閉弁１４，１５．１９をすべて閉とし、レーザガス
は、ブロワ９によって循環路８内を循環している。
このとき循環しているレーザガスは、グロー放電により
イオン化されている。しかし、それは絶えず循環し、か
つ再びグロー放電中を通ることによってエネルギーを与
えられている。そのため、レーザガスは活性化の状態に
あり、電極、放電管ｌの循環路８の内壁などとの反応は
可逆的となり、平衡状態を保っている。
イオン化されている。しかし、それは絶えず循環し、か
つ再びグロー放電中を通ることによってエネルギーを与
えられている。そのため、レーザガスは活性化の状態に
あり、電極、放電管ｌの循環路８の内壁などとの反応は
可逆的となり、平衡状態を保っている。
つぎに運転を停止すると直ちに開閉弁１４を開とし、真
空ポンプ１６で循環路８内のイオン化されたレーザガス
を系外に排出する。この操作によって運転停止後イオン
化されているレーザガスと電極、放電管１および循環路
８の内壁との反応および吸着が回避され、それらの劣化
を防止することが可能になる。
空ポンプ１６で循環路８内のイオン化されたレーザガス
を系外に排出する。この操作によって運転停止後イオン
化されているレーザガスと電極、放電管１および循環路
８の内壁との反応および吸着が回避され、それらの劣化
を防止することが可能になる。
さらに真空引きしたのち、開閉弁１４を閉とし、開閉弁
１５．１９を開として、循環ｆＷＢ内を大気圧以上のレ
ーザガスで満たし、大気の混入を防ぐ。
１５．１９を開として、循環ｆＷＢ内を大気圧以上のレ
ーザガスで満たし、大気の混入を防ぐ。
すなわち、ポンベ１７から循環路８内に新鮮レーザガス
が充填され、循環路Ｂ内の圧力が所定値以上になったと
きに定圧弁２０が動作する。定圧弁２０の動作に基づい
てレーザガスの供給を停止する。
が充填され、循環路Ｂ内の圧力が所定値以上になったと
きに定圧弁２０が動作する。定圧弁２０の動作に基づい
てレーザガスの供給を停止する。
以上の動作はシーケンス制御されるものである。
すなわち、
■ 運転停止検出
■ 第１の開閉弁１４の開弁および真空ポンプ１６の作
動 ■ タイマオン ■ 第１の開閉弁１４の閉弁および真空ポンプ１６の停
止 ■ 第２の開閉弁１５および第３の開閉弁１９の開弁 ■ 定圧弁２０の動作 ■ 第２の開閉弁１５および第３の開閉弁１９の閉弁 の順次制御である。
動 ■ タイマオン ■ 第１の開閉弁１４の閉弁および真空ポンプ１６の停
止 ■ 第２の開閉弁１５および第３の開閉弁１９の開弁 ■ 定圧弁２０の動作 ■ 第２の開閉弁１５および第３の開閉弁１９の閉弁 の順次制御である。
第２図は運転開始直後のレーザ出力の安定性を示す特性
図であり、点線の従来の特性Ｂに比べて、この発明の一
実施例の特性Ａの方が遥かに優れてレーザ出力が安定し
ていることが判る。
図であり、点線の従来の特性Ｂに比べて、この発明の一
実施例の特性Ａの方が遥かに優れてレーザ出力が安定し
ていることが判る。
発明の効果
この発明によれば、イオン化したレーザガスとの反応あ
るいはその吸着による電極、放電管壁。
るいはその吸着による電極、放電管壁。
循環路物質の劣化を防止し、また、運転開始時のレーザ
出力の立上がりを速くかつ安定したものとすることがで
きるという効果がある。
出力の立上がりを速くかつ安定したものとすることがで
きるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の全体構成図、第２図はレ
ーザ出力特性図である。 ８・・・循環路、１４・・・第１の開閉弁、１５・・・
第２の開閉弁、２０・・・定圧弁 第 １ 図 第 ２ 図
ーザ出力特性図である。 ８・・・循環路、１４・・・第１の開閉弁、１５・・・
第２の開閉弁、２０・・・定圧弁 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- レーザガスの循環路に、運転停止後のレーザガスを排出
するための第１の開閉弁と、前記レーザガス排出後に前
記循環路に新鮮レーザガスを供給するための第２の開閉
弁と、前記供給レーザガスの圧力を所定値にするための
定圧弁とを設けたガスレーザ発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59120958A JPS611071A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | ガスレ−ザ発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59120958A JPS611071A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | ガスレ−ザ発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS611071A true JPS611071A (ja) | 1986-01-07 |
Family
ID=14799197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59120958A Pending JPS611071A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | ガスレ−ザ発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS611071A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007032940A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Paloma Ind Ltd | 配管カバー及び当該配管カバーを備えた給湯器 |
| CN108886228A (zh) * | 2016-05-09 | 2018-11-23 | 极光先进雷射株式会社 | 激光装置 |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP59120958A patent/JPS611071A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007032940A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Paloma Ind Ltd | 配管カバー及び当該配管カバーを備えた給湯器 |
| CN108886228A (zh) * | 2016-05-09 | 2018-11-23 | 极光先进雷射株式会社 | 激光装置 |
| CN108886228B (zh) * | 2016-05-09 | 2021-03-19 | 极光先进雷射株式会社 | 激光装置 |
| US11239625B2 (en) | 2016-05-09 | 2022-02-01 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus including gas supply device and exhausting device |
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