JPS6195588A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6195588A JPS6195588A JP59216295A JP21629584A JPS6195588A JP S6195588 A JPS6195588 A JP S6195588A JP 59216295 A JP59216295 A JP 59216295A JP 21629584 A JP21629584 A JP 21629584A JP S6195588 A JPS6195588 A JP S6195588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- discharge
- discharge tube
- gas
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ガスレーザ、特にグロー放電をレーザ発振励
起源とするガスレーザの発振器に関するものである。
起源とするガスレーザの発振器に関するものである。
（従来例の構成とその問題点）
従来例を示す前に、グロー放電をレーザ発振励起源とす
るガスレーザについて説明する。
るガスレーザについて説明する。
ガス物質をレーザ媒質とするレーザにおいて。
媒質に負温度分布を発生させるためにグロー放電を励起
源として利用することは、一般に実施されている。この
場合、レーザ出力を増大するには、グロー放電として注
入される電気入力を増加することが必要になる。一方、
グロー放電における電気入力増大に伴って媒質温度が上
昇し、負温度分布発生を妨げることになる。レーザ出力
の増大には、媒質温度の上昇を防ぎ、グロー放電入力を
増大することが肝要である。媒質の温度上昇を防止する
ために、グロー放電領域放電管内に媒質ガスの流れをつ
くり、媒質自身で強制的に冷却を行なうことは良く知ら
れている。一方、グロー放電は、媒質ガスの流れが小さ
い場合には放電管内をほぼ均一に満たすことができるが
、流量が増大するに従って放電路が細くなり、放電管内
の一部分のみ放電が生じるようになる。このため放電管
内におけるレーザ発振に寄与する有効放電体積が低下し
、レーザ出力の減少を招く。この傾向は、グロー放電電
気入力を増す程顕著になり、電気入力増加が必すしもレ
ーザ出力を増大することにはならない。
源として利用することは、一般に実施されている。この
場合、レーザ出力を増大するには、グロー放電として注
入される電気入力を増加することが必要になる。一方、
グロー放電における電気入力増大に伴って媒質温度が上
昇し、負温度分布発生を妨げることになる。レーザ出力
の増大には、媒質温度の上昇を防ぎ、グロー放電入力を
増大することが肝要である。媒質の温度上昇を防止する
ために、グロー放電領域放電管内に媒質ガスの流れをつ
くり、媒質自身で強制的に冷却を行なうことは良く知ら
れている。一方、グロー放電は、媒質ガスの流れが小さ
い場合には放電管内をほぼ均一に満たすことができるが
、流量が増大するに従って放電路が細くなり、放電管内
の一部分のみ放電が生じるようになる。このため放電管
内におけるレーザ発振に寄与する有効放電体積が低下し
、レーザ出力の減少を招く。この傾向は、グロー放電電
気入力を増す程顕著になり、電気入力増加が必すしもレ
ーザ出力を増大することにはならない。
しかも、電気入力増大によりグロー放電の電流密度が局
部的に急増して放電は不安定となり、最終的にはアーク
放電へ移行することになる。
部的に急増して放電は不安定となり、最終的にはアーク
放電へ移行することになる。
以上の欠点を解消するための従来例を第１図に基づいて
説明する。第１図において、レーザ増幅を行なうグロー
放電を発生させる放電管１は、この図では２本示されて
いる。陽極２は両方の放電管に共通しており、陽極と対
向して陰極３が配置されている。陰極近傍にはガス流入
口４が、また陽極部にガス排出口５がそれぞれ設けられ
ている。
説明する。第１図において、レーザ増幅を行なうグロー
放電を発生させる放電管１は、この図では２本示されて
いる。陽極２は両方の放電管に共通しており、陽極と対
向して陰極３が配置されている。陰極近傍にはガス流入
口４が、また陽極部にガス排出口５がそれぞれ設けられ
ている。
放電管１をはさむように反射鏡６，７が配置され、光学
的共振器を構成している。レーザ出力を取り出す反射鏡
６は出力鏡と呼ばれ、他の反射鏡７は一般に凹面反射鏡
である。レーザ媒質ガスは、ブロワ−８などで循環され
、放電管１の中に流れを形成する。直流電源９の十出力
端子は陽極２に、また一端子は安定化抵抗】０などを介
して陰極３にそれぞれ接続されている。安定化抵抗１０
の代りに、放電電流が一定に保持されるように真空管等
を用いた定電流回路を設けるのは、グロー放電の安定性
を向上する上で有効であることは言うまでもない。
的共振器を構成している。レーザ出力を取り出す反射鏡
６は出力鏡と呼ばれ、他の反射鏡７は一般に凹面反射鏡
である。レーザ媒質ガスは、ブロワ−８などで循環され
、放電管１の中に流れを形成する。直流電源９の十出力
端子は陽極２に、また一端子は安定化抵抗】０などを介
して陰極３にそれぞれ接続されている。安定化抵抗１０
の代りに、放電電流が一定に保持されるように真空管等
を用いた定電流回路を設けるのは、グロー放電の安定性
を向上する上で有効であることは言うまでもない。
しかしながら、上記構成は、放電そのものを直接制御す
るものではなく、？！＋られる効果には限界がある。即
ち、従来構成ではグロー放電における陽光柱をガス流に
より安定化させることを目的としているが、グロー放電
を主として支配するものは、陰極における放電の形態で
ある。
るものではなく、？！＋られる効果には限界がある。即
ち、従来構成ではグロー放電における陽光柱をガス流に
より安定化させることを目的としているが、グロー放電
を主として支配するものは、陰極における放電の形態で
ある。
（発明の目的）
本発明は、上記従来例の欠点を解消するためになされた
もので、グロー放電を拡大し、レーザ出力の増大を図る
ようにしたガスレーザ発振器を提供するものである。
もので、グロー放電を拡大し、レーザ出力の増大を図る
ようにしたガスレーザ発振器を提供するものである。
（発明の構成）
上記目的を達成するために、放電管及び放電管の両端に
配置された全反射鏡及び出力鏡を具備し、放電管に接続
されたガス流入口より媒質ガスを送り込み、放電管の陽
極、陰極間に発生したグロー放電にてレーザ発振を得る
ガスレーザ発振器において、陰陽として、高圧直流電源
に接続された第１の陰極と、その陰極より陽極側に空間
的距離を介して配置された第２の陰極とを設けるもので
ある。
配置された全反射鏡及び出力鏡を具備し、放電管に接続
されたガス流入口より媒質ガスを送り込み、放電管の陽
極、陰極間に発生したグロー放電にてレーザ発振を得る
ガスレーザ発振器において、陰陽として、高圧直流電源
に接続された第１の陰極と、その陰極より陽極側に空間
的距離を介して配置された第２の陰極とを設けるもので
ある。
（実施例の説明）
第２図は、本発明の一実施例を示したもので、第１図と
同一符号のものは同一のものを示しており、また３は第
１の陰極、１１は第２の陰極である。
同一符号のものは同一のものを示しており、また３は第
１の陰極、１１は第２の陰極である。
第２の陰極は、第３図に示したように、円筒形をしてお
り、その円筒の外周面及びエツジ部を含む両端縁部を絶
縁物で被覆しである。そして、第１の陰極３から陽極２
寄りに所定の空間的距離を介して、放電管１と同軸的に
配置されている。媒質ガスは矢印１３で示すように、第
１の陰極３．第２の陰極１１から陽極２方向へ放電管１
内を通過し、ガス流出口５より出る。
り、その円筒の外周面及びエツジ部を含む両端縁部を絶
縁物で被覆しである。そして、第１の陰極３から陽極２
寄りに所定の空間的距離を介して、放電管１と同軸的に
配置されている。媒質ガスは矢印１３で示すように、第
１の陰極３．第２の陰極１１から陽極２方向へ放電管１
内を通過し、ガス流出口５より出る。
以上のように構成された本実施例においては、まず、放
電が第１の陰極３から第２の陰極１１に移行し、第２の
陰極から陽極２に対して放電することになる。その効果
は、第１の陰極３と第２の陰極１１との間の放電で、ガ
ス流入口４より入った媒質ガスが予備電離されてイオン
化し、その結果、第２の陰極１１と陽極２の間の放電を
グローに維持し易くするものである。また、第２の陰極
の外周面及び両端縁部を絶縁物で被覆しているので、高
い電気入力までグロー放電を維持することができる。こ
の被覆がないと、電極のエツジ部に電界集中が起き、そ
のためアーク放電に移行し易くなる。
電が第１の陰極３から第２の陰極１１に移行し、第２の
陰極から陽極２に対して放電することになる。その効果
は、第１の陰極３と第２の陰極１１との間の放電で、ガ
ス流入口４より入った媒質ガスが予備電離されてイオン
化し、その結果、第２の陰極１１と陽極２の間の放電を
グローに維持し易くするものである。また、第２の陰極
の外周面及び両端縁部を絶縁物で被覆しているので、高
い電気入力までグロー放電を維持することができる。こ
の被覆がないと、電極のエツジ部に電界集中が起き、そ
のためアーク放電に移行し易くなる。
また外周面からの放電は、媒質ガスの流れに影響され易
く、これも安定なグロー放電の維持を阻害することとな
る。
く、これも安定なグロー放電の維持を阻害することとな
る。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、高圧直流電源に
接続された第１の陰極の陽極部りに所定の距離を介して
第２の陰極を配置し、かつこの第２の陰極の不必要な部
分を絶縁物で被覆することにより、クロー放電からアー
ク放電への移行を防止してより多くの電気入力の注入を
可能にし、その結果、レーザ出力を増大することができ
るという著しい効果を有するものである。
接続された第１の陰極の陽極部りに所定の距離を介して
第２の陰極を配置し、かつこの第２の陰極の不必要な部
分を絶縁物で被覆することにより、クロー放電からアー
ク放電への移行を防止してより多くの電気入力の注入を
可能にし、その結果、レーザ出力を増大することができ
るという著しい効果を有するものである。
第１図は、従来例の構成図、第２図は１本発明の一実施
例の構成図、第３図は、同第２の陰極の断面図である。 １ ・・ 放電管、 ２ ・・・陽極、 ３ ・・第１
の陰極、 ６・・・出力鏡、 ７ ・・全反射鏡、９
・・・高圧直流電源、 １１ ・・第２の陰極。 １２ ・・絶縁物。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図
例の構成図、第３図は、同第２の陰極の断面図である。 １ ・・ 放電管、 ２ ・・・陽極、 ３ ・・第１
の陰極、 ６・・・出力鏡、 ７ ・・全反射鏡、９
・・・高圧直流電源、 １１ ・・第２の陰極。 １２ ・・絶縁物。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図
Claims (2)
- （１）放電管と、該放電管の両端に配置した反射鏡及び
出力鏡と、前記放電管に媒質ガスを流すガス給送手段と
、前記放電管の陽極及び陰極に高電圧を印加する高圧直
流電源とを具備し、グロー放電にてレーザ発振を得るガ
スレーザ装置において、陰極が、前記高圧直流電源に接
続された第１の陰極と、該第１の陰極より陽極側へ所定
の距離を介して配置された第２の陰極とからなることを
特徴とするガスレーザ発振器。 - （２）前記第２の陰極は、前記放電管と同軸の円筒形を
有し、かつその円筒の外周面及び両端縁部を絶縁物で被
覆してなることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項
記載のガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59216295A JPS6195588A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59216295A JPS6195588A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195588A true JPS6195588A (ja) | 1986-05-14 |
Family
ID=16686295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59216295A Pending JPS6195588A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6195588A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49102292A (ja) * | 1973-02-01 | 1974-09-27 | ||
| JPS5081297A (ja) * | 1973-11-16 | 1975-07-01 | ||
| JPS58212189A (ja) * | 1982-06-02 | 1983-12-09 | Hitachi Ltd | ガスレ−ザ発生装置 |
-
1984
- 1984-10-17 JP JP59216295A patent/JPS6195588A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49102292A (ja) * | 1973-02-01 | 1974-09-27 | ||
| JPS5081297A (ja) * | 1973-11-16 | 1975-07-01 | ||
| JPS58212189A (ja) * | 1982-06-02 | 1983-12-09 | Hitachi Ltd | ガスレ−ザ発生装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3772610A (en) | Arcless electrode construction for gas transport laser | |
| US4096449A (en) | Apparatus for producing an electric glow discharge in a flowing gas | |
| CA1187971A (en) | Preionizing arrangement for transversely excited lasers | |
| US4590599A (en) | Gas laser device | |
| JP3154584B2 (ja) | 放電励起ガスレーザ装置 | |
| JPS6190485A (ja) | パルスレ−ザ発振器 | |
| JPS5850788A (ja) | 横方向励起型ガスレ−ザ装置 | |
| Harry et al. | Multiple electrode system for high power CO2 laser excitation | |
| JPS5846687A (ja) | ガス循環型レ−ザ | |
| JPS615589A (ja) | 放電形気体レ−ザ発振装置 | |
| JPS6339113B2 (ja) | ||
| JPS631086A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPH0337318B2 (ja) | ||
| JPS6052070A (ja) | 同軸型レ−ザ発振器 | |
| JPS6114779A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JPH0464196B2 (ja) | ||
| JPH01214184A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPS6114782A (ja) | ガスレ−ザ発生器 | |
| JPH05343777A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPS63229769A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 | |
| JPS6190481A (ja) | パルスレ−ザ発振器 | |
| JPH0716042B2 (ja) | 補助放電型ガスレ−ザ装置 | |
| JPS5851581A (ja) | 横方向励起型ガスレ−ザ装置 | |
| JPH03246980A (ja) | 気体レーザ発振器 | |
| JPH03278487A (ja) | ガスレーザ発振装置 |