JPS61109135U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61109135U JPS61109135U JP19492884U JP19492884U JPS61109135U JP S61109135 U JPS61109135 U JP S61109135U JP 19492884 U JP19492884 U JP 19492884U JP 19492884 U JP19492884 U JP 19492884U JP S61109135 U JPS61109135 U JP S61109135U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- outer periphery
- rotating body
- rotates
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示す平
面図及び正面図、第３図は第１図の装置の要部拡
大斜視図、第４図は第２図のＡーＡ線に沿う部分
拡大側断面図、第５図は第１図の装置の一動作概
略平面図、第６図及び第７図は本考案の他の実施
例を示す各動作状態における概略平面図、第８図
は第６図の装置の要部拡大斜視図である。第９図
及び第１０図は従来の半導体ウエーハ位置決め装
置の平面図及び正面図、第１１図は第１０図のＢ
ーＢ線に沿う部分拡大側断面図、第１２図及び第
１３図は第９図の装置の各動作状態時での平面図
である。 １……半導体ウエーハ、ＯＦ……オリエンテー
シヨンフラツト、９，９′……ベルト、１０ａ〜
１０ｃ，１２ａ〜１２ｃ……回転ローラ。
面図及び正面図、第３図は第１図の装置の要部拡
大斜視図、第４図は第２図のＡーＡ線に沿う部分
拡大側断面図、第５図は第１図の装置の一動作概
略平面図、第６図及び第７図は本考案の他の実施
例を示す各動作状態における概略平面図、第８図
は第６図の装置の要部拡大斜視図である。第９図
及び第１０図は従来の半導体ウエーハ位置決め装
置の平面図及び正面図、第１１図は第１０図のＢ
ーＢ線に沿う部分拡大側断面図、第１２図及び第
１３図は第９図の装置の各動作状態時での平面図
である。 １……半導体ウエーハ、ＯＦ……オリエンテー
シヨンフラツト、９，９′……ベルト、１０ａ〜
１０ｃ，１２ａ〜１２ｃ……回転ローラ。
Claims (1)
- 回転体を半導体ウエーハ外周に当接させて半導
体ウエーハを回転させ、半導体ウエーハ外周一部
のオリエンテーシヨンフラツトが定方向にくると
これを検知して回転を止め位置決めする装置であ
つて、前記回転体に複数の回転ローラに張設され
て一方向に周回動して半導体ウエーハ外周に線接
触して回転力を付勢する１つの無端ベルトを使用
したことを特徴とする半導体ウエーハ位置決め装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19492884U JPS61109135U (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19492884U JPS61109135U (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61109135U true JPS61109135U (ja) | 1986-07-10 |
Family
ID=30752408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19492884U Pending JPS61109135U (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61109135U (ja) |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP19492884U patent/JPS61109135U/ja active Pending