JPS61114545A - ウエ−ハキヤリア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体の製造に用いるウェーハキャリアを保管
、運搬するために用いられるつ１−ハキャリアに関する
。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

シリコン、サファイヤ、化合物半導体等より成る半導体
用ウェーハを搬送したり、多数のウェーハを１枚づつ半
導体製造設備へ自動供給するため等にウェーハキャリア
が用いられる。

このような用途に用いられる従来のウェーハキャリアの
一例を第２図に示す。第２図は金属製ウェーハキャリア
の外観を示した斜視図である。鉄板等でなる金属製側板
１および２を対向させ、これを支持棒３．４により所定
の距離だけ離間させて固定し、ウェーハキャリアを構成
する。

側板１および２の内壁面にはウェーハを収納するための
溝が切ってあり、この溝にウェーハを係合させて収納す
る。

通常のウェーハキャリアではウェーハを２５枚程度収納
できる構造となっている。このようなウェーハキャリア
１０を運搬するために保持する場合、従来は、■直接手
で持つ、■支持棒３を利用したハンガを用いる、■取っ
手をキャリア１０にネジ止めし、取っ手を持つ、等の方
法が用いられていた。しかし■の方法ではウェーハ径（
直径）が７５ｍ＜３インチ）以下のウェーハを収納する
キャリアでは片手でも十分持つことができるが、ウェー
ハ径が１００１ｍ１００ｌインチ）以上のウェーハを収
納するウェーハキャリアになると、重量が増加するため
そのウェーハキャリアを片手で持つことが困難となる。

さらに、直接キャリアを持つのでその中に収納されたウ
ェーハに手が接触し、ウェーハ汚染をおこす危険もある
。

また■の方法では、ハンガと呼ばれる冶具のつめを支持
棒３に引っかけて保持運搬するのであるが、つめを引つ
か（）る構造となっているため急な動作あるいは他のも
のにぶつけ１．：場合に、キャリア本体１０が落下しや
すいという欠点がある。またキャリア本体を回転して置
くことが非常に困難で、握りかえが難しく作業性が悪い
という欠点がある。

ざらに■の方法では取っ手の部分だけキャリア本体１０
から出っ張り、真空装置等の半導体製造装置の中に搬入
する場合、その搬入場所のスペースおよび入口の寸法を
大きくしておかねばならないという不都合さがある。

〔発明の目的〕

本発明は、従来のようにキャリア本体に取っ手を組込む
ことなく、しかも大口径ウェーハ（１００ａｍ以上）用
のウェーハキャリアを安全かつ確実に保持運搬すること
ができ、しかも半導体製造装置に搬送する場合に必要最
小限のスペースでこれを可能とするウェーハキャリアを
提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため、本発明においては複数のウェーハ
を収納するキャリア本体と、この本体の一部に設りられ
だ金属部材を必要に応じて吸着可、能な磁石を備えた取
っ半部とを備えており、本体部の大きさを変えることな
く安定した保持が可能となる。

〔発明の実施例〕

第１図はこの発明の実施例を示すウェーハキャリアの斜
視図である。

側板１または２の外側側面（これをＡ面という）または
支持棒３．４が取イ」けられているＡ面と直交する面（
これをＢ面という）に磁石により吸着される材料、例え
ば鉄、および鉄、ニッケル、クロム等を主体とする合金
を用いた金属板５を取付ける。

なお、第１１図の実施例ではこの金属板５をビス６を用
いてＢ面に取付（Ｊて固定するようにしている。これに
よりウェーハキャリア本体１０が完成する。

さらにこの本体１０に係合してこの本体を運搬可能に把
持するための取っ半部２０の構造を説明する。取っ半部
２０は金属板５を吸着することのできる電磁石を内臓し
た支持部７と、この支持部７に取付けられた握り８と、
支持部５内の電磁石を、消磁及び着磁するためのスイッ
チ９とから構成されている。握り８は手で持ちやすい形
に形成され、支持部７に取りイζＪける。この取っ半部
２０を金属板５に近接させ、スツイヂ９をオンして支持
部７内の電磁石を着磁することによりこの取っ手２０は
金属板５を吸着し、キャリア本体１０と係合する。

この状態で握り８を持ってキャリア本（Ａ１０を移動す
ればよい。

このウェーハキャリアを使用するにはまずキャリア本体
１０内に必要なつＬ−ハを収納し、磁力をオフした取っ
半部２０を金属板５に密着させる。

ついで磁力をオンして支持部７と金属板５とを吸着させ
ることによりキャリア本体１０と取っ手２０とを係合さ
せる。

そして取っ手８を持ち、他の場所へ運搬する。

所定の場所キャリア本体１０を運搬した後はスイッチ９
により内蔵された磁石の磁力をオフして、支持部７を金
属板５から取り外す。

なお取っ手品２０が取り付けられる金属板５はキャリア
本体１０のいずれの面に取付けるようにしてもよく、ま
たキャリア本体そのものを磁石で吸着するようにしても
よい。またこの金属板５は製造工程における耐エツチン
グ性を与えるためにその板面にテフロンコート等を施こ
したものを用いるのが好ましい。

さらに、スイッチ９は押しボタン式のものを用いても良
いがノブの回転によりオン・オフできるスイッチを用い
てもよい。

また、取っ手２０に設けられた磁石は実施例のようにス
イッチのオンオフで着磁消磁を行う電磁石に限ることな
く、レバーによる磁石の回転により吸着開放を行う永久
磁石磁気ブー＼・ツク等、全屈部材との吸着を必要に応
じて行えるものであればいずれの型式のものも使用でき
る。

また本体の重量が重い場合には複数の取っ手を取り付け
ることができる。

（発明の効果〕 以上実施例に基づいて詳細に説明したＪ：うに、本発明
ではキャリア本体を取っ手品とが必姿な時にのみ磁力に
より密着し一体化するような構造を採用しているため、
取り外しが容易で直径４インチ以上のウェーハ用の金属
キャリアであっても運搬が片手で容易にできるという利
点がある。またキャリア本体に直接手が触れるという心
配がないためウェー八への二次汚染の心配がない。しか
も取っ手品とキャリア本体とが容易に切り離すことがで
きるため、製造設備へキャリアを収納する場合にも収納
部のスペースが小さくできる。さらにキャリア本体の大
きさが異るものに対しても取っ手品は共用して使用する
ことができる。

なお、取っ手品とキャリア本体との吸着力は磁力により
一定しているため、運搬時にキャリア本体が落下する虞
れは無い。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すウェーハキレリフの
斜視図、第２図は従来のウェーハキャリアのｍ造を示す
斜視図である。 ５・・・金属板、７・・・磁石内蔵支持部、８・・・握
り、９・・・磁力オン・オフスイッチ、１０・・・キャ
リア本体、２０・・・取っ手品。 出願人代理人　　猪　　股　　　　清 ５１　図 れ　２　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数のウェーハを収納するキャリア本体と、この本
   体に係合して前記本体を運搬可能に把持する取っ手部と
   を有してなるウェーハキャリアにおいて、磁力により吸
   着される金属部材を前記キャリア本体に設け、前記金属
   部材を吸着可能な磁石を前記取っ手部に設けたことを特
   徴とするウェーハキャリア。 ２、磁石がスイッチの開閉により消磁、着磁を切換可能
   な電磁石であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載のウェーハキャリア。 ３、磁石がレバーの回転により吸着と開放を切換可能な
   永久磁石であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載のウェーハキャリア。 ４、金属部材が鉄あるいは鉄を含む合金である特許請求
   の範囲第１項記載のウェーハキャリア。 ５、金属部材が耐エッチング性コーティングを施された
   特許請求の範囲第１項記載のウェーハキャリア。 ６、耐エッチング性コーティングがテフロンコーティン
   グである特許請求の範囲第５項記載のウェーハキャリア
   。