JPS61116063U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61116063U JPS61116063U JP20209984U JP20209984U JPS61116063U JP S61116063 U JPS61116063 U JP S61116063U JP 20209984 U JP20209984 U JP 20209984U JP 20209984 U JP20209984 U JP 20209984U JP S61116063 U JPS61116063 U JP S61116063U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron beam
- objective lens
- electrode
- emitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例装置の構成図、第２
図、第３図、及び第４図は考案装置の動作状態を
説明するための図、第５図、第６は従来装置を説
明するための図である。 １：電子線、２：磁極片、３：試料、４：シン
チレーター、５：ライトガイド、６：光電子増倍
管、７：コレクタ電極、８：引き出し電極、９：
鏡筒、１０：試料ホルダー、１１：試料ステージ
、１２：メツシユ状電極、１３：金属回転棒、１
４：支持金具、１５：絶縁部材、１６：ハンドル
、Ｄ：２次電子検出器。
図、第３図、及び第４図は考案装置の動作状態を
説明するための図、第５図、第６は従来装置を説
明するための図である。 １：電子線、２：磁極片、３：試料、４：シン
チレーター、５：ライトガイド、６：光電子増倍
管、７：コレクタ電極、８：引き出し電極、９：
鏡筒、１０：試料ホルダー、１１：試料ステージ
、１２：メツシユ状電極、１３：金属回転棒、１
４：支持金具、１５：絶縁部材、１６：ハンドル
、Ｄ：２次電子検出器。
補正 昭６０．４．２７
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第８頁第２行目を次の通り補正する。
「説明するための図、第５図は従来装置の構成
図、第６図は従来装置の動作状態を説」
図、第６図は従来装置の動作状態を説」
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 対物レンズの下に移動可能に配置された試
料に電子線を照射し、上記試料よりの２次電子を
前記対物レンズの光軸に対して傾斜した側面に沿
つて配置された２次電子検出器によつて検出する
ようにした装置において、正の電圧が印加された
メツシユ状電極と、該メツシユ状電極を該２次電
子検出器の高電圧が印加される電極と試料との間
に選択的に配置する手段を設けたことを特徴とす
る電子線装置。 (2) 前記メツシユ状電極の電位を可変としたこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載の電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984202099U JPH0236209Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984202099U JPH0236209Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61116063U true JPS61116063U (ja) | 1986-07-22 |
| JPH0236209Y2 JPH0236209Y2 (ja) | 1990-10-02 |
Family
ID=30764503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984202099U Expired JPH0236209Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0236209Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49123573A (ja) * | 1973-03-30 | 1974-11-26 |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP1984202099U patent/JPH0236209Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49123573A (ja) * | 1973-03-30 | 1974-11-26 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0236209Y2 (ja) | 1990-10-02 |
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