JPS61119251U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61119251U JPS61119251U JP189885U JP189885U JPS61119251U JP S61119251 U JPS61119251 U JP S61119251U JP 189885 U JP189885 U JP 189885U JP 189885 U JP189885 U JP 189885U JP S61119251 U JPS61119251 U JP S61119251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- sample
- electron beam
- changing
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図は本考案の一実施例装置の構成図、第２
図は上記一実施例装置の動作状態を説明するため
の図、第３図、第４図は従来装置を説明するため
の図である。 １：電子線、２：電子銃、３：磁極片、４：試
料、５：試料ホルダ、６：試料ステージ、７：駆
動装置、１４：コレクタ電極、１５：鏡筒、１７
：補助電極、１８：絶縁部材、１９：シンチレー
タ、２０：ライトガイド、２１：電極、２２：直
流電源、２３：加速電源、２４：制御回路、２５
：操作盤。
図は上記一実施例装置の動作状態を説明するため
の図、第３図、第４図は従来装置を説明するため
の図である。 １：電子線、２：電子銃、３：磁極片、４：試
料、５：試料ホルダ、６：試料ステージ、７：駆
動装置、１４：コレクタ電極、１５：鏡筒、１７
：補助電極、１８：絶縁部材、１９：シンチレー
タ、２０：ライトガイド、２１：電極、２２：直
流電源、２３：加速電源、２４：制御回路、２５
：操作盤。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 対物レンズの下に移動可能に配置された試
料に加速電圧を変化させて電子線を照射し、上記
試料よりの２次電子を高電圧が印加される電極を
有する２次電子検出器で捕獲検出する装置におい
て、前記電極の前方に配置された少なくとも１個
の補助電極と、前記電極及び補助電極の電位を前
記試料の光軸方向の移動又は加速電圧の変化に連
動させて変化させる手段とを設けたことを特徴と
する電子線装置。 (2) 前記２次電子検出器を前記対物レンズの光
軸に対して傾斜した側面に沿つて配置したことを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP189885U JPS61119251U (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP189885U JPS61119251U (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61119251U true JPS61119251U (ja) | 1986-07-28 |
Family
ID=30475062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP189885U Pending JPS61119251U (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61119251U (ja) |
-
1985
- 1985-01-11 JP JP189885U patent/JPS61119251U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3681634D1 (de) | Spektrometer-objektiv fuer die elektronenstrahl-messtechnik. | |
| JPS61119251U (ja) | ||
| DE3681817D1 (de) | Vorrichtung zum fokussierungsabgleich einer kathodenstrahlroehre. | |
| JPS613662U (ja) | ２次電子検出装置 | |
| JPS6119774U (ja) | 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置 | |
| JPH0145068Y2 (ja) | ||
| JPS60187450U (ja) | 走査電子顕微鏡用２次電子検出装置 | |
| JPS5947960U (ja) | 電子銃 | |
| JPS63131060U (ja) | ||
| JPH0518838Y2 (ja) | ||
| JPS6419664A (en) | Ion beam device | |
| JPS6199960U (ja) | ||
| JPS60138253U (ja) | 電子線装置 | |
| JPS61116063U (ja) | ||
| JPH0227494Y2 (ja) | ||
| JPS55155454A (en) | Scanning electron microscope equipped with electromagnetic radiation type electron gun | |
| JPS62103041U (ja) | ||
| JPH03116652U (ja) | ||
| JPS59125058U (ja) | 荷電粒子線装置における二次電子検出装置 | |
| JPS61153958U (ja) | ||
| JPS63123047U (ja) | ||
| JPS5642946A (en) | Scanning type electron microscope device | |
| JPS60166967U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS55141049A (en) | Electron gun for image pickup tube | |
| JPS59148064U (ja) | イオンビ−ムスパツタリング装置 |