JPS61119345U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61119345U JPS61119345U JP158885U JP158885U JPS61119345U JP S61119345 U JPS61119345 U JP S61119345U JP 158885 U JP158885 U JP 158885U JP 158885 U JP158885 U JP 158885U JP S61119345 U JPS61119345 U JP S61119345U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- storage case
- bone
- supported
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 5
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は従来の半導体ウエハ収納ケースの斜視
図、第２図は同じく半導体ウエハ収納ケースの横
断面図、第３図は本考案の一実施例の半導体ウエ
ハ収納ケースの斜視図、第４図は同じく半導体ウ
エハ収納ケースの横断面図である。 １：ケース本体、２：蓋、３：溝、４：半導体
ウエハ、５：骨状体、６，７：弾性支持体。
図、第２図は同じく半導体ウエハ収納ケースの横
断面図、第３図は本考案の一実施例の半導体ウエ
ハ収納ケースの斜視図、第４図は同じく半導体ウ
エハ収納ケースの横断面図である。 １：ケース本体、２：蓋、３：溝、４：半導体
ウエハ、５：骨状体、６，７：弾性支持体。
Claims (1)
- 蓋を有するケース本体内の対向する側壁に設け
た複数個の溝と、上方向並びに下方向から支持す
るように設けた複数個の弾性支持体とにより複数
個の半導体ウエハを各個を支持するように構成さ
れている半導体ウエハ収納ケースにおいて、前記
上方向から支持するように設けた弾性支持体が、
前記半導体ウエハが支持されている状態を目視で
きるように骨状体に装着されていて、該骨状体を
介して前記半導体ウエハを上方向から支持するよ
うに構成されていることを特徴とする半導体ウエ
ハ収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP158885U JPS61119345U (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP158885U JPS61119345U (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61119345U true JPS61119345U (ja) | 1986-07-28 |
Family
ID=30474471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP158885U Pending JPS61119345U (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61119345U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0388344U (ja) * | 1989-12-22 | 1991-09-10 | ||
| JPH06501668A (ja) * | 1991-03-08 | 1994-02-24 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | シッパ用ウェハ―コンテナ |
-
1985
- 1985-01-10 JP JP158885U patent/JPS61119345U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0388344U (ja) * | 1989-12-22 | 1991-09-10 | ||
| JPH06501668A (ja) * | 1991-03-08 | 1994-02-24 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | シッパ用ウェハ―コンテナ |