JPS6112092U - 載物台の送りねじ装置 - Google Patents

載物台の送りねじ装置

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Publication number
JPS6112092U
JPS6112092U JP9730384U JP9730384U JPS6112092U JP S6112092 U JPS6112092 U JP S6112092U JP 9730384 U JP9730384 U JP 9730384U JP 9730384 U JP9730384 U JP 9730384U JP S6112092 U JPS6112092 U JP S6112092U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feed screw
stage
fixed
base
screw device
Prior art date
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Pending
Application number
JP9730384U
Other languages
English (en)
Inventor
智秀 浜田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPS6112092U publication Critical patent/JPS6112092U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は′本考案の一部破断乎面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ断面図、第−３図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第４
図は本考案装置を取り付けた戟物台の正面図、第５図は
第４図のＣ−Ｃ断面図である。 、〔主要部分の符号の説明〕、１・・・・・・送りねじ
、｛２・・・・・・送りナット、３・・・・・・従動ナ
ット｝（雌ねじ部材）、４・・・・・・圧縮コイルばね
（ばね手段）、｛７Ａ，７Ｂ・・・・・・平行板ばね、
８，８′・・・・・・押え金｝（可撓連結手段）、１０
・・・・・・移動台、１１・・・・・・固定台。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）固定台上を直進移動可能な移動台を有する移動載
    物台において、前記移動台の移動方向に平行して前記固
    定台と前記移動台のうちのいずれか一方に送りねみを回
    転可能に固設すると共に、他方に前記送りねじの軸方向
    には剛性が高く且つ該軸方向に直角な方向には可撓性を
    有する板ばねを含む可撓連結手段を設け、前記送りねじ
    の軸方向に相対変位可能にばね手段によつて付勢され且
    つ回転方向には相対変位不能に互いに結合された一対の
    雌ねじ部材を前記送りねじに螺合して設け、一方の前記
    雌ねじ部材を前記可撓連結手段を介して前記他方の台に
    結合して構成したことを特徴とする載物台の送りねじ装
    置。
  2. （２）前記可撓連結手段は、平面部分が前記送りねじ１
    を挾むように設けられた２枚の平行板ばね７Ａ，７Ｂと
    押え金８，８′とから成り、一端は他方の台に固設され
    、他端は前記一方の雌ねじ部材２の外周に設けられた平
    打な切欠に段部２Ｂに固設されていることを特徴とする
    載物台の送りねじ装置。
JP9730384U 1984-06-28 1984-06-28 載物台の送りねじ装置 Pending JPS6112092U (ja)

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JP9730384U JPS6112092U (ja) 1984-06-28 1984-06-28 載物台の送りねじ装置

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Publication Number Publication Date
JPS6112092U true JPS6112092U (ja) 1986-01-24

Family

ID=30656840

Family Applications (1)

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JP9730384U Pending JPS6112092U (ja) 1984-06-28 1984-06-28 載物台の送りねじ装置

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JP (1) JPS6112092U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6335990U (ja) * 1986-08-25 1988-03-08

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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