JPS6112228U - アモルフアスシリコン膜生成装置 - Google Patents
アモルフアスシリコン膜生成装置Info
- Publication number
- JPS6112228U JPS6112228U JP9534284U JP9534284U JPS6112228U JP S6112228 U JPS6112228 U JP S6112228U JP 9534284 U JP9534284 U JP 9534284U JP 9534284 U JP9534284 U JP 9534284U JP S6112228 U JPS6112228 U JP S6112228U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous silicon
- silicon film
- reaction chamber
- film production
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図はアモルフ
ァスシリコン膜の太陽電池の特性を示すグラフである。 １・・・反応室、５１，５・・・電極板、９・・・排気
部、１０・・・反応給気部。
ァスシリコン膜の太陽電池の特性を示すグラフである。 １・・・反応室、５１，５・・・電極板、９・・・排気
部、１０・・・反応給気部。
Claims (2)
- （１）反応室と、２つの電極板と、前記電極板を前記反
応室内に対向配置させる電極支持棒と、前記反応室内を
排気する排気部と、前記反応室内に反応ガスを導入する
反応給気部とを備えたアモルファスシリコン膜生成装置
において、少なくとも片方の前記電極板及び前記電極支
持棒を耐弗素性の強い金属で構成することを特徴とする
アモルファスシリコン膜生成装置。 - （２）前記耐弗素性の強い金属はＮｉ或いはＮｉ −Ｃ
ｕ合金であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第１項記載のアモルファスシリコン膜生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9534284U JPS6112228U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | アモルフアスシリコン膜生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9534284U JPS6112228U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | アモルフアスシリコン膜生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112228U true JPS6112228U (ja) | 1986-01-24 |
Family
ID=30654425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9534284U Pending JPS6112228U (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | アモルフアスシリコン膜生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112228U (ja) |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP9534284U patent/JPS6112228U/ja active Pending
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