JPS61122919A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野および発明の目的〕 本発明は、多層型の垂直磁気記録媒体における軟！ｉｔ
磁性下地層に係り、良好な量産性を有すると同時に可撓
性に優れた磁気記録媒体を提供することを目的とする。

〔従来の技術） 軟質磁性下地層上に垂直磁気異方性膜を設けた多層型の
垂直磁気記録媒体は、非磁性基体上に垂直磁気異方性膜
のみを設けた単層膜媒体に比べて。

記録電流を低減し、かつ再生出力を大幅に向上すること
ができる。多層型の垂直磁気記録媒体における上記二点
の記録再生特性の改善は、軟質磁性下地層が磁気ヘッド
から発生する磁束を有効に記録領域に集束する役割を果
たすと同時に、膜面に対し垂直方向に記録された磁化を
より安定に垂直方向に存在させる役割を果たすことによ
る。このような役割をもつ軟質磁性下地層が有効に機能
するには、磁気ヘッドから発生する磁束を記録領域に有
効に集束できる程度に、その透磁率、飽和磁化及び膜厚
が大きいことが要求される。

従来、多層型垂直磁気記録媒体の軟質磁性下地層材料と
しては、パーマロイ薄膜（ＩＥＥＥＴｒａｎｓ、Ｍａｇ
−２０，Ｎｏ　１　（１９８４）Ｐ７２）　、　Ｃｏベ
ース非晶質薄膜〔応用磁気学会講演予稿集（１９８３）
８　ａ＾−１０〕などが中心に検討されてきたが、それ
らの飽和磁化は９００ガウス程度であり、磁気ヘッドか
ら発生する磁束を集束するには、どうしても下地層を厚
くしなければならない。特にこれらの下地層材料をフレ
キシブルディスクや磁気テープなどの可撓性磁気記録媒
体に応用した場合には、媒体の剛性が大きくなり、磁気
ヘッドと磁気記録媒体表面の安定な接触が得られず、十
分な磁気特性が発揮できない。

また磁気記録媒体の量産性という点がら見ると。

記録膜の形成法は、スパッタリング法よりも遥かに膜堆
積速度を大きくできる真空蒸着法やイオンブレーティン
グ法が有効であるが、これらの形成法では良好な軟磁性
のＧｏベース非晶質薄膜を作製することは困難であり、
またパーマロイ薄膜を作製する場合にもＮｉとＦｅの飽
和蒸気圧の違いから連続して長時間製造している場合、
蒸発源の組成が経時的に変化するため、初期のものとあ
る程度時間が経過したものでは組成比が変動し、生産ベ
ースにのせることは困難であった。

ｃ問題点を解決するための手段〕 そこで本発明は、かかる従来技術の欠点を解消するため
に、多層型の垂直磁気記録媒体の軟質磁性下地層材料と
して、飽和磁化が大きい鉄を用いたことを特徴とするも
のである。

鉄は、パーマロイやｃｏベース非晶体に比べて飽和磁化
がかなり大きく、その結果、軟質磁性下地層の膜厚を大
幅に薄くすることができる。二のことは、先にも述べた
ように、フレキシブルディスクや磁気テープなどの磁気
記録媒体の可撓性を向上し、磁気ヘッドと磁気記録媒体
表面との安定接触を大きく改善することにつながる。

また量産性の点からも、軟質磁性下地層を真空蒸着法あ
るいはイオンブレーティング法で連続形成する場合、パ
ーマロイの場合のように蒸発源組成の経時変動が生じず
、安定した品質で量産化する二とができる。

但し、鉄の薄層を下池層とし、その上に直接Ｃｏ　−Ｃ
ｒ合金薄膜などの垂直異方性膜を設けると、ベースフィ
ルムやガラス基板などの非磁性基体上に直接垂直異方性
膜を設けた場合に比べ、垂直異方性膜の結晶学的配向性
が劣化し、膜面に対し垂直方向の磁性特性例えば保磁力
、角形比などが劣化する傾向にある。

そこで本発明者等は、非磁性基体上に鉄の軟質磁性下地
層を設けた後、鉄層上に薄い中間層を形成し、中間層上
に垂直磁気異方性膜を形成することを試みた。中間層と
しては種々の非磁性薄膜を検討したが、特に六方稠密構
造をとり、しかも格子定数が垂直磁気異方性膜の格子定
数に近い材料の薄膜を形成した。例えば垂直磁気異方性
膜がＣｏ−Ｃｒ合金薄膜の場合にはＴ　ｉ　’Ｐ　Ｚ　
ｎなどの非磁性薄膜が、ＣｏＣｒ合金薄膜の結晶学的配
向を妨げず良好な垂直磁化膜が得られる。また。

鉄の軟磁性下地層上に形成した状態で非晶質化している
ような中間層も、特に材料には限定されず。

垂直磁気異方性膜の結晶学的配向を妨げない。この場合
には、ベースフィルムやガラス基板上に直接垂直磁気異
方性膜を設けた場合の結晶学的配向度と殆んど変化はな
い。なお、上記中間層の最適膜厚範囲は５０　Ａ　−１
０００Ａの範囲にあり、５０Ａ未満では、中間層の効果
は弱く、また１００ＤＡを超すと。

特に可撓性を有する磁気記録媒体の場合には、記＠媒体
の剛性が大きくなり、記録媒体表面に対する磁気ヘッド
の接触安定性が劣化する。

以上述べたように軟質磁性下地層を備えた垂直磁気記録
媒体において、軟質磁性下地層を鉄の薄層とすることに
より、記録媒体の電磁変換特性を安定化させることがで
きる。しかも、パーマロイなどの合金軟質磁性下地層を
蒸着法あるいはイオンブレーティング法などにより形成
する際１問題となってきた組成変動も鉄子地層の場合に
は問題にならない。

〔実施例〕 以下、本発明の実施例について説明する。

実施例１ 第２図に示すように軟質磁性下地！！Ｆ３として。

パーマロイ層あるいは鉄層をポリイミドベースフィルム
４（フィルム厚５０μｍ）上に設け、更に中間層として
膜厚０．０１μｍのＴｉ層５、更に膜厚ｏ、２５μｍの
Ｇ　ｏ　−Ｃｒ層６（Ｃｒ含有率２０重量％）を形成し
た。前記薄膜の形成法は全て真空蒸着法により、また膜
形成時のフィルム基板温度は全て２００°Ｃとした。な
お、軟質磁性下地層がパーマロイ層であっても、Ｆａ層
であっても、Ｔｉ層を介して形成されるＣ　ｏ　−Ｃｒ
層の結晶学的配向性及び磁気的特性に大きな差異は呪わ
れない。

以上のようにして得た多層構造の垂直磁気記録媒体を主
磁極型垂直ヘッド（主磁極厚０．７μｌ１１）により評
価した。図に各軟質磁性下地層の厚さに対する出力の依
存性を測定した結果を示す。なお測定記録密度は２　Ｋ
ＢＰＩで、図中の曲線１は軟質磁性下地層として鉄層を
５曲！！２は軟質磁性下地層としてバーロイ層をそれぞ
れ用いた磁気記録媒体の特性曲線である。

この図の結果より、所定の記録電流に対して再生出力が
飽和するための軟質磁性下地層厚さは。

パーマロイ層の場合に比べ、鉄層の場合には約１／２の
膜厚ですむことが分る。このことは軟質磁性下地層の厚
さを薄くすることができ、記録媒体の可撓性を改善でき
ることを示している。今回の実験条件では、軟質磁性下
地層厚が０．３〜０．４μｍを越えるど、記録媒体表面
に対する磁気ヘッドの接触状態か不安定になり、再生出
力エンベロープが不均質になったが、膜厚０．３μｍ以
下の鉄工地層の場合には、出力の大きい均質な再生出力
はエンベロープが得られた。

〔発明の効果〕

以上説明したように、多層型の垂直磁気記録媒体の軟質
磁性下地層を鉄のＷｔＮとすることにより。

下地層の厚さを薄くし記録媒体の可撓性を大きく改善す
ることができる。同時にパーマロイなどの合金層を蒸着
法、イオンブレーティング法などにより連続形成する際
に大きな問題になる蒸発源の組成変動の問題もない。ま
た、鉄工地層上にＣ。

−Ｃｒ合金薄膜などの垂直異方性膜を設ける際問題にな
る垂直異方性膜の結晶学的配向性の乱れも。

実施例で述べたように鉄工地層と垂直磁気異方性膜の間
に特定の中間層を設けれは解消できる。

【図面の簡単な説明】

第１＠は垂直磁気記録媒体の軟磁性下地層の厚さと再生
出力との関係を示す特性図、第２図は本発明の実施例に
係る垂直磁気記録媒体の断面図である。 ３・・・・・・軟質磁性下地層、４・・・・・・ベース
フィルム。 ５−−　Ｔ　ｉ層、　５−Ｃｏ　−Ｃｒ　Ｍ。 第１図 第２図 ３　：ｗ１懺石λ小主下キシ１ ４：べ゛−スフィルム ５：Ｔｉ１ｉ ５　：　Ｃｏ−Ｃｒ肩

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に軟質磁性下地層を形成し、該軟質下地層の
   上方に垂直磁気異方性を有する記録磁性層を形成した多
   層構造の垂直磁気記録媒体において、前記軟質磁性下地
   層として鉄の薄層を設けたことを特徴とする垂直磁気記
   録媒体。 ２、特許請求の範囲１項記載の垂直磁気記録媒体におい
   て、前記軟質磁性下地層と記録磁性層との間に非磁性の
   中間薄層を形成したことを特徴とする垂直磁気記録用媒
   体。