JPS61124571A - シ−ル装置 - Google Patents
シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS61124571A JPS61124571A JP59245970A JP24597084A JPS61124571A JP S61124571 A JPS61124571 A JP S61124571A JP 59245970 A JP59245970 A JP 59245970A JP 24597084 A JP24597084 A JP 24597084A JP S61124571 A JPS61124571 A JP S61124571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- sealing device
- side piece
- rolls
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06B—TREATING TEXTILE MATERIALS USING LIQUIDS, GASES OR VAPOURS
- D06B23/00—Component parts, details, or accessories of apparatus or machines, specially adapted for the treating of textile materials, not restricted to a particular kind of apparatus, provided for in groups D06B1/00 - D06B21/00
- D06B23/14—Containers, e.g. vats
- D06B23/16—Containers, e.g. vats with means for introducing or removing textile materials without modifying container pressure
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、シート材に真空蒸着、スパッタ、イオンブレ
ーティングなどを施す連続真空処理装置のロール式シー
ル装置に関するものである。
ーティングなどを施す連続真空処理装置のロール式シー
ル装置に関するものである。
従来、相対する２個のロールの間を通してシートを連続
的に高圧側から低圧側へ、もしくは低圧側から高圧側へ
搬入または搬出するロール式シール装置は特開昭５２−
３３７１５．特開昭５５−１０３６０などに開示されて
いる。
的に高圧側から低圧側へ、もしくは低圧側から高圧側へ
搬入または搬出するロール式シール装置は特開昭５２−
３３７１５．特開昭５５−１０３６０などに開示されて
いる。
この種のシール装置におけるロール端部のシールは、２
つのロールの端面とこのロールの軸線方向に設けた舌状
弾性シールの端面とを一枚の端面シール板を用いて同時
に圧接することにより行ねれていた。そのため、ロール
加工時の２つのロ−ル間の加工誤差、さらにロールと舌
状弾性シールとの摩擦熱によりおこる２つのロールおよ
び舌状弾性シールの熱膨張差で生ずる軸方向の寸法差に
よりロール及び舌状弾性体シールの端部に段差が生じロ
ール端面の気密性が損ねるという欠点があった。
つのロールの端面とこのロールの軸線方向に設けた舌状
弾性シールの端面とを一枚の端面シール板を用いて同時
に圧接することにより行ねれていた。そのため、ロール
加工時の２つのロ−ル間の加工誤差、さらにロールと舌
状弾性シールとの摩擦熱によりおこる２つのロールおよ
び舌状弾性シールの熱膨張差で生ずる軸方向の寸法差に
よりロール及び舌状弾性体シールの端部に段差が生じロ
ール端面の気密性が損ねるという欠点があった。
本発明の目的は気密性の良いシール装置を提供するもの
である。
である。
本発明は上記の目的を達成するために、ロール式シール
装置においてロールの端面部のシール手段を、２つのロ
ールが接する部分で２分割にしたサイドピースとこのサ
イドピースを支持する支持部材で構成したものである。
装置においてロールの端面部のシール手段を、２つのロ
ールが接する部分で２分割にしたサイドピースとこのサ
イドピースを支持する支持部材で構成したものである。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図および第２図は本発明の装置の一実施例を示すも
ので、この図において１はシートＦの導入、導出部を有
するシールブロック、２はシールブロック１に支持され
た舌状弾性体シールである。
ので、この図において１はシートＦの導入、導出部を有
するシールブロック、２はシールブロック１に支持され
た舌状弾性体シールである。
３．３はロールで、これらのロール３．３はその矢印方
向への回転により、シートＦを高圧側から低圧側へ連続
的に搬送する６本図で右側が高圧側、左側が低圧側であ
る。ロール３，３の軸方向のシールは舌状弾性体シール
２をロール３．３に圧接することにより得られている。
向への回転により、シートＦを高圧側から低圧側へ連続
的に搬送する６本図で右側が高圧側、左側が低圧側であ
る。ロール３，３の軸方向のシールは舌状弾性体シール
２をロール３．３に圧接することにより得られている。
ロール３，３の端面部のシール手段としては上下一対の
ロール３、。
ロール３、。
３が接する部分で２つに分割された２分割構造のサイド
ピース９，１０で行われている。すなわちＳが分割面で
ある。
ピース９，１０で行われている。すなわちＳが分割面で
ある。
そのため、ロール加工時の寸法差や、ロール３゜３を舌
状弾性体シール２の摩擦によりおこる２つのロール３，
３の熱膨張差で生ずるロール３．３の端面部の段差によ
るすき間に対して２分割のサイドピース９．１０がそれ
ぞれロール３，３の軸方向の動きに対してすきまに追延
するので、すきまが生ずることを防ぐことが可能となる
。
状弾性体シール２の摩擦によりおこる２つのロール３，
３の熱膨張差で生ずるロール３．３の端面部の段差によ
るすき間に対して２分割のサイドピース９．１０がそれ
ぞれロール３，３の軸方向の動きに対してすきまに追延
するので、すきまが生ずることを防ぐことが可能となる
。
さらにサイドピース９，１０の背面にロール端面部へ均
一にサイドピース９，１０が押しつけられるよう弾性ば
ね７，８をそれぞれの保持枠１１Ａ。
一にサイドピース９，１０が押しつけられるよう弾性ば
ね７，８をそれぞれの保持枠１１Ａ。
１１Ｂに配置することにより、サイドピース９゜１０を
支持し、良好な気密状態を得ることができる。
支持し、良好な気密状態を得ることができる。
本発明による別の実施例を第３図に示す、この実施例で
はロール３，３の両端部のうち一方は１枚の端面シール
板４をシールブロック１に固定し、他方は２分割構造の
サイドピース９，１０を用いたものである。すなわち２
分割構造のサイドピース９．１０は２つのロール３，３
の軸長補正板として機能するので、ロール３，３の両側
のうち、いずれか一方に設ければよい。
はロール３，３の両端部のうち一方は１枚の端面シール
板４をシールブロック１に固定し、他方は２分割構造の
サイドピース９，１０を用いたものである。すなわち２
分割構造のサイドピース９．１０は２つのロール３，３
の軸長補正板として機能するので、ロール３，３の両側
のうち、いずれか一方に設ければよい。
第４図は本発明の他の実施例を示すもので、この実施例
はロール３，３の両端に２分割構造のサイドピース９，
１０を用いたものである。
はロール３，３の両端に２分割構造のサイドピース９，
１０を用いたものである。
第５図は本発明のさらに他の実施例を示すもので、この
実施例は支持部材として弾性ばね７，８のかわりに弾性
ゴム１２を用いたものであり、簡単にロール端面への均
一な押しっけ力を得ることができる。
実施例は支持部材として弾性ばね７，８のかわりに弾性
ゴム１２を用いたものであり、簡単にロール端面への均
一な押しっけ力を得ることができる。
さらに本発明に用いるサイドピースの他の例として、第
６図に示すようにサイドピース９，１゜およびロール３
．３間のシール性、潤滑性を向上させるために、サイド
ピース９，１０の表面に、例えばフッ素樹脂などの固体
潤滑材１２．１３を形成してもよい、また２分割サイド
ピース９゜１０はそれぞれ相対ずれを伴うので、２つに
分割されたサイドピース９，１０間のシール性と潤滑性
を向上させるため、第７図に示すように２分割された面
の片側にフッ素樹脂などの被膜１４を形成しても良いし
、さらに第８図に示すように２分割されたサイドピース
９，１０間の相対すベリ面の両側に固体潤滑剤などを含
むフッ素樹脂などの摺動材１４，１５を貼付け、または
吹付けてもよい。
６図に示すようにサイドピース９，１゜およびロール３
．３間のシール性、潤滑性を向上させるために、サイド
ピース９，１０の表面に、例えばフッ素樹脂などの固体
潤滑材１２．１３を形成してもよい、また２分割サイド
ピース９゜１０はそれぞれ相対ずれを伴うので、２つに
分割されたサイドピース９，１０間のシール性と潤滑性
を向上させるため、第７図に示すように２分割された面
の片側にフッ素樹脂などの被膜１４を形成しても良いし
、さらに第８図に示すように２分割されたサイドピース
９，１０間の相対すベリ面の両側に固体潤滑剤などを含
むフッ素樹脂などの摺動材１４，１５を貼付け、または
吹付けてもよい。
このようにサイドピース９，１０の摺動面に固定滑剤の
被膜を形成することにより、さらに良好な気密が得られ
る。
被膜を形成することにより、さらに良好な気密が得られ
る。
以上のように１本発明によれば、シール口−ルの製作時
の加工誤差や運転時の膨張差による寸法差を吸収するこ
とができシール効果を高め排気ポンプの容量を減らすこ
とができかつ高い真空度を得ることができる。
の加工誤差や運転時の膨張差による寸法差を吸収するこ
とができシール効果を高め排気ポンプの容量を減らすこ
とができかつ高い真空度を得ることができる。
第１＠は本発明の装置の一実施例を示す縦断面図、第２
図は第１図の■−■断面図、第３図は本発明の装置の他
の実施例を示す縦断面図、第４図および第５図はそれぞ
れ本発明の装置のさらに他の実施例を示す縦断面図、第
６＠〜第８図はそれぞれ本発明に用いるサイドピースの
他の例を示す断面図である。 １・・・シールブロック、２・・・舌状弾性体シール、
３゜３・・・シールロール、９．１０・・・サイドピー
ス、７゜８・・・弾性バネ、１２・・・弾性ゴム、１２
，１３゜茅１目 竿２目 茅４囚 をＳ凹
図は第１図の■−■断面図、第３図は本発明の装置の他
の実施例を示す縦断面図、第４図および第５図はそれぞ
れ本発明の装置のさらに他の実施例を示す縦断面図、第
６＠〜第８図はそれぞれ本発明に用いるサイドピースの
他の例を示す断面図である。 １・・・シールブロック、２・・・舌状弾性体シール、
３゜３・・・シールロール、９．１０・・・サイドピー
ス、７゜８・・・弾性バネ、１２・・・弾性ゴム、１２
，１３゜茅１目 竿２目 茅４囚 をＳ凹
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、相対して回転する２つのロールの間を通してシート
を連続的に高圧側から低圧側へまたは低圧側から高圧側
へ搬入または搬出するロール式のシール装置において、
前記ロールの端面部のシール手段を、ロール端面に対接
する２分割のサイドピースとこのサイドピースを支持す
る支持部材どで構成したことを特徴とするシール装置。 ２、サイドピースの支持部材はロール端面とサイドピー
スのすき間およびサイドピースを分割した面のすき間を
調節するサイドピース背面にサイドピースがロール端面
部に均等に圧接されるように配置した弾性体で構成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のシール装
置。 ３、２分割されたサイドピースの一方は固定され、他方
のサイドピースは弾性体で支持されたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のシール装置。 ４、前記サイドピースの表面に、摺動材の被膜を形成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第２項または第３項
記載のシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59245970A JPS61124571A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59245970A JPS61124571A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | シ−ル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61124571A true JPS61124571A (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=17141541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59245970A Pending JPS61124571A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61124571A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115784574A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-03-14 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种拉边机滑动密封窗口结构及制作方法 |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP59245970A patent/JPS61124571A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115784574A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-03-14 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种拉边机滑动密封窗口结构及制作方法 |
| CN115784574B (zh) * | 2022-12-09 | 2024-05-14 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种拉边机滑动密封窗口结构及制作方法 |
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