JPH0339473A - 帯板真空差圧シール装置 - Google Patents
帯板真空差圧シール装置Info
- Publication number
- JPH0339473A JPH0339473A JP17342289A JP17342289A JPH0339473A JP H0339473 A JPH0339473 A JP H0339473A JP 17342289 A JP17342289 A JP 17342289A JP 17342289 A JP17342289 A JP 17342289A JP H0339473 A JPH0339473 A JP H0339473A
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- Japan
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- roll
- rolls
- strip
- sealing device
- cylindrical shell
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010073 coating (rubber) Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、帯鋼等帯状材料(以下、単に′°帯板゛°
という。)を連続的に通板させながらその中央部の真空
処理室において様々な表面処理を施す帯板真空処理設備
、特に、真空処理室まで大気圧から真空度を段階的に上
げ、また真空処理室から大気圧まで真空度を段階的に下
げて行くために真空処理室の前後に複数個設置される真
空差圧シール装置に関するものである。
という。)を連続的に通板させながらその中央部の真空
処理室において様々な表面処理を施す帯板真空処理設備
、特に、真空処理室まで大気圧から真空度を段階的に上
げ、また真空処理室から大気圧まで真空度を段階的に下
げて行くために真空処理室の前後に複数個設置される真
空差圧シール装置に関するものである。
従来、この種の真空差圧シール装置として、帯板をロー
ルによりピンチしてその前後に差圧を生じさせるロール
式真空シール装置が多く使用されている。
ルによりピンチしてその前後に差圧を生じさせるロール
式真空シール装置が多く使用されている。
このロール式真空差圧シール装置には、■ゴムライニン
グロール製のピンチロールだけを使用するか、或いはゴ
ムライニングロール製のピンチロールに、このピンチロ
ールに夫々当接して回転される金属製のシールロールと
、このシールロールを微小間隙を置いて覆う仕切壁状の
シール壁を併用したもの(特開昭62−4865号公報
参照、実開昭62−54911号公報参照)と、■金属
製のピンチロールだけを使用したものとが知られている
。
グロール製のピンチロールだけを使用するか、或いはゴ
ムライニングロール製のピンチロールに、このピンチロ
ールに夫々当接して回転される金属製のシールロールと
、このシールロールを微小間隙を置いて覆う仕切壁状の
シール壁を併用したもの(特開昭62−4865号公報
参照、実開昭62−54911号公報参照)と、■金属
製のピンチロールだけを使用したものとが知られている
。
このようなロール式真空差圧シール装置では、帯板の両
端側における上下ピンチロール間ギヤップの空間面積S
は、次式で表される。
端側における上下ピンチロール間ギヤップの空間面積S
は、次式で表される。
5=(A−W)xt
但し、A:ロールフェース
W:#板の幅
L:帯板の厚み
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、ゴムライニングロール製ピンチロールを
使用した前記■のロール式真空差圧シール装置では、ピ
ンチロールのロール表面を被覆したゴムの弾性により、
帯板の幅が小さい場合でも、上下ピンチロール間ギャッ
プの空間面積Sを略ゼロに近づけて差圧シール効果を保
つことができるが、ゴムの耐熱性に限界があり、帯板温
度が250°C以上となる場合には使用できないという
不都合があった。
使用した前記■のロール式真空差圧シール装置では、ピ
ンチロールのロール表面を被覆したゴムの弾性により、
帯板の幅が小さい場合でも、上下ピンチロール間ギャッ
プの空間面積Sを略ゼロに近づけて差圧シール効果を保
つことができるが、ゴムの耐熱性に限界があり、帯板温
度が250°C以上となる場合には使用できないという
不都合があった。
また、金属製ピンチロールを使用した前記■のロール式
真空差圧シール装置では、帯板が高温である場合でも使
用できるが、上下ピンチロール間ギャップの空間面積S
が大きく(特に狭い幅で厚みの大きい帯板を通板する場
合)、差圧シール効果が損なわれる。帯板の幅が狭い場
合にはシール全漏洩面積の内、上下ピンチロール間ギャ
ップの空間面積Sがその半分以上を占める。真空処理室
に所定の真空度を保つためには真空差圧シール装置の段
数を前記■の真空差圧シール装置より増加させると共に
、真空ポンプの容量を大きくする必要があるという不都
合があった。
真空差圧シール装置では、帯板が高温である場合でも使
用できるが、上下ピンチロール間ギャップの空間面積S
が大きく(特に狭い幅で厚みの大きい帯板を通板する場
合)、差圧シール効果が損なわれる。帯板の幅が狭い場
合にはシール全漏洩面積の内、上下ピンチロール間ギャ
ップの空間面積Sがその半分以上を占める。真空処理室
に所定の真空度を保つためには真空差圧シール装置の段
数を前記■の真空差圧シール装置より増加させると共に
、真空ポンプの容量を大きくする必要があるという不都
合があった。
この発明は前記課題を解決するためになしたもので、帯
板が高温である場合でも使用できると共に、上下ピンチ
ロール間ギャップの空間面積を減少させ得るようにする
ことを目的とする。
板が高温である場合でも使用できると共に、上下ピンチ
ロール間ギャップの空間面積を減少させ得るようにする
ことを目的とする。
この発明の帯板真空差圧シール装置は、第1図〜第3図
に示すように、帯板Pを挟み込んで通板可能な上下一対
のピンチロール4A、4Bを設けたロール式真空シール
装置において、前記上ピンチロール4Aの円筒シェル1
0を薄肉に形成し、この円筒シェル10の中央部をロー
ル軸12により支持し、円筒シェル10の中央部の付近
から端部までロール軸12との間に隙間Sを形成すると
共に、上ピンチロール4Aの上方にロール軸方向に沿っ
て、上ピンチロール4Aに当接して回転される複数個の
ペンディングローラ14を互いに独立して上ビンチロー
ル4A上に押し付け可能に配設したことを特徴としてお
り、かかる構成によって前記目的を達成するものである
。
に示すように、帯板Pを挟み込んで通板可能な上下一対
のピンチロール4A、4Bを設けたロール式真空シール
装置において、前記上ピンチロール4Aの円筒シェル1
0を薄肉に形成し、この円筒シェル10の中央部をロー
ル軸12により支持し、円筒シェル10の中央部の付近
から端部までロール軸12との間に隙間Sを形成すると
共に、上ピンチロール4Aの上方にロール軸方向に沿っ
て、上ピンチロール4Aに当接して回転される複数個の
ペンディングローラ14を互いに独立して上ビンチロー
ル4A上に押し付け可能に配設したことを特徴としてお
り、かかる構成によって前記目的を達成するものである
。
押付シリンダ14によってペンディングローラ13を上
ピンチロール4A上に押し付けると、ロール軸12との
隙間Sの範囲内で円筒シェル10が下方に曲がるから、
上下のピンチロール4A、4B間を通板している帯板P
の厚み、幅により、また上下ピンチロール4A、4B間
におけるそのロール軸方向配置位置により押付シリンダ
14のペンディングローラ押付力が所定の値となるよう
に押付シリンダ14を個別に制御すれば、上ピンチロー
ル4Aの円筒シェル10は下ピンチロール4Bと協働し
て通板中の帯板Pに対応した曲げ形状に変形される。
ピンチロール4A上に押し付けると、ロール軸12との
隙間Sの範囲内で円筒シェル10が下方に曲がるから、
上下のピンチロール4A、4B間を通板している帯板P
の厚み、幅により、また上下ピンチロール4A、4B間
におけるそのロール軸方向配置位置により押付シリンダ
14のペンディングローラ押付力が所定の値となるよう
に押付シリンダ14を個別に制御すれば、上ピンチロー
ル4Aの円筒シェル10は下ピンチロール4Bと協働し
て通板中の帯板Pに対応した曲げ形状に変形される。
以下、この発明の一実施例を第1図〜第3図に沿って説
明する。
明する。
図中1は真空処理室、2は真空処理室lの前後に配置さ
れた複数個の真空差圧シールで、ハウジング3内の帯板
通板方向(図中の矢印方向)に連設されている。
れた複数個の真空差圧シールで、ハウジング3内の帯板
通板方向(図中の矢印方向)に連設されている。
4Aは金属製の上ピンチロール、4Bは金属製の下ピン
チロールで、ハウジング3内の各室の出入口部に帯板通
板ラインLを挟んで対向するように設置されている。
チロールで、ハウジング3内の各室の出入口部に帯板通
板ラインLを挟んで対向するように設置されている。
下ピンチロール4Bの円筒シェル5は厚内に形成され、
この円筒シェル5の両端には支持円板6が固着され、こ
の支持円板6には夫々ロール軸7が円筒シェル5と同芯
に突設されている。
この円筒シェル5の両端には支持円板6が固着され、こ
の支持円板6には夫々ロール軸7が円筒シェル5と同芯
に突設されている。
このロール軸7は、ハウジング3の側壁3aに設けた軸
受8Bに装着されてこれを介し回転可能に支持されると
共に、ユニバーサルスピンドル9を介して駆動装置に接
続されている。
受8Bに装着されてこれを介し回転可能に支持されると
共に、ユニバーサルスピンドル9を介して駆動装置に接
続されている。
上ピンチロール4Aの円筒シェル10は薄肉に形成され
、この円筒シェル10の中央部内には間隔を置いて一対
の支持円板11が固着され、この支持円板11には夫々
ロール軸12が円筒シェル10と同芯に突設されている
。
、この円筒シェル10の中央部内には間隔を置いて一対
の支持円板11が固着され、この支持円板11には夫々
ロール軸12が円筒シェル10と同芯に突設されている
。
このロール軸12は、ハウジング3の側壁3aに設けた
軸受8Aに装着されてこれを介し回転可能に支持されて
いる。
軸受8Aに装着されてこれを介し回転可能に支持されて
いる。
そして、円筒シェル10の中央部の付近から端部までロ
ール軸12との間に隙間Sが形成されており、円筒シェ
ル10を下方に押圧することによって中央部を支点とし
て下方に曲げ可能となっている。
ール軸12との間に隙間Sが形成されており、円筒シェ
ル10を下方に押圧することによって中央部を支点とし
て下方に曲げ可能となっている。
13は複数個のペンディングローラ(実施例では8個)
で、帯板通板ラインLを挟んで両側に夫々4個ずつ、上
ピンチロール4Aの上方にロール軸方向に沿って配置さ
れており、上ピンチロール4Aに当接して回転されるよ
うになっている。
で、帯板通板ラインLを挟んで両側に夫々4個ずつ、上
ピンチロール4Aの上方にロール軸方向に沿って配置さ
れており、上ピンチロール4Aに当接して回転されるよ
うになっている。
14は複数本の押付シリンダ(実施例では油圧シリンダ
)で、帯板通板方向と直角方向に間隔を置いてハウジン
グ3の頂壁3b上に設置され、ピストンロッドは頂壁3
bに設けた0リング15内を貫通してハウジング3内に
挿入され、その先端には前記ペンディングローラ13が
回転可能に取り付けられている。
)で、帯板通板方向と直角方向に間隔を置いてハウジン
グ3の頂壁3b上に設置され、ピストンロッドは頂壁3
bに設けた0リング15内を貫通してハウジング3内に
挿入され、その先端には前記ペンディングローラ13が
回転可能に取り付けられている。
この押付シリンダ14は、ペンディングローラ13を上
ピンチロール4Aに押し付ける力(ローラ押付力)が夫
々所定の設定値となるように別個に制御可能となってい
る。
ピンチロール4Aに押し付ける力(ローラ押付力)が夫
々所定の設定値となるように別個に制御可能となってい
る。
16A、16Bはバックアップロールを兼ねる金属製シ
ールロールで、ハウジング3の側壁3aに設けた軸受を
介し回転可能に支持されて上下のピンチロール4A、4
Bの帯板通板方向側又は反帯板通板方向側に夫々配設さ
れており、ピンチロール4A、4Bに当接して回転され
るようになっている。
ールロールで、ハウジング3の側壁3aに設けた軸受を
介し回転可能に支持されて上下のピンチロール4A、4
Bの帯板通板方向側又は反帯板通板方向側に夫々配設さ
れており、ピンチロール4A、4Bに当接して回転され
るようになっている。
17A、17Bはシール壁で、ハウジング3の側壁3a
と頂壁3b、側壁3aと底壁3Cに夫々固定されてシー
ルロール16A、16Bの周面と摺接するように微小間
隙を置いてその帯板通板方向側に夫々配設されている。
と頂壁3b、側壁3aと底壁3Cに夫々固定されてシー
ルロール16A、16Bの周面と摺接するように微小間
隙を置いてその帯板通板方向側に夫々配設されている。
18A、18B、18Cはリング状のロール側面シール
装置で、上下のピンチロール4A、4B。
装置で、上下のピンチロール4A、4B。
シールロール16A、16Bの端部側面と常に摺接する
ようにハウジング3の側壁3a内面に装着されている。
ようにハウジング3の側壁3a内面に装着されている。
19は真空ポンプで、真空処理室lと真空差圧シール2
に互いに独立して配管20を介し接続されている。
に互いに独立して配管20を介し接続されている。
尚、この実施例では、下ピンチロール4Bをハウジング
3の側壁3aに軸受8Bを介し固定的に設けた例につい
て説明したが、第5図に示す如く、下ビンチロール4B
をシールロール16Bに当接しながらその回りを回動し
てロール4A、4B間を開閉可能に設け、帯板Pの幅が
上下ピンチロール4A、4B間を通板中に変化する場合
にピンチロール4A、4B位置に対する板幅変化箇所の
位置によって下側ピンチ圧力を変更できるようにするこ
とが好ましい。
3の側壁3aに軸受8Bを介し固定的に設けた例につい
て説明したが、第5図に示す如く、下ビンチロール4B
をシールロール16Bに当接しながらその回りを回動し
てロール4A、4B間を開閉可能に設け、帯板Pの幅が
上下ピンチロール4A、4B間を通板中に変化する場合
にピンチロール4A、4B位置に対する板幅変化箇所の
位置によって下側ピンチ圧力を変更できるようにするこ
とが好ましい。
以上の構成において、上ピンチロール4Aの円筒シェル
10は金属製で薄肉に形成されており、中央部でロール
軸12により支持され、円筒シェル10の中央部の付近
から端部までロール軸12との間に隙間Sが形成されて
いるため、押付シリンダ14によりペンディングローラ
13を上ピンチロール4A上に押し付けると、円筒シェ
ル10は前記隙間Sの範囲内で下方に曲がって下ピンチ
ロール4Bに当接可能となるから、上下のピンチロール
4A、4B間を通板している帯板Pの厚み、幅により、
更に上下のピンチロール4A、4B間におけるそのロー
ル軸方向位置により押付シリンダ14のペンディングロ
ーラ押付力が所定の値となるように比例電磁弁等により
押付シリンダ14を個別に制御すれば、第4図に示すよ
うに、上ピンチロール4Aの円筒シェルIOは下ビンチ
ロール4Bと協働して通板中の帯板Pに対応した曲げ形
状に変形され、帯板Pの両端側における上下ピンチロー
ル4A、4B間ギャップの空間面積Sは減少し、上下の
ピンチロール4A、4B間の気体通過量は減少する。
10は金属製で薄肉に形成されており、中央部でロール
軸12により支持され、円筒シェル10の中央部の付近
から端部までロール軸12との間に隙間Sが形成されて
いるため、押付シリンダ14によりペンディングローラ
13を上ピンチロール4A上に押し付けると、円筒シェ
ル10は前記隙間Sの範囲内で下方に曲がって下ピンチ
ロール4Bに当接可能となるから、上下のピンチロール
4A、4B間を通板している帯板Pの厚み、幅により、
更に上下のピンチロール4A、4B間におけるそのロー
ル軸方向位置により押付シリンダ14のペンディングロ
ーラ押付力が所定の値となるように比例電磁弁等により
押付シリンダ14を個別に制御すれば、第4図に示すよ
うに、上ピンチロール4Aの円筒シェルIOは下ビンチ
ロール4Bと協働して通板中の帯板Pに対応した曲げ形
状に変形され、帯板Pの両端側における上下ピンチロー
ル4A、4B間ギャップの空間面積Sは減少し、上下の
ピンチロール4A、4B間の気体通過量は減少する。
また、ピンチロール4Aとこれに当接して回転されるシ
ールロール16Aとの間及びピンチロール4Bとこれに
当接して回転されるシールロール16Bとの間は当接シ
ールされる。ビンチロール4A、4B及びシールロール
16A、16Bとハウジング3の側壁3aとの間は夫々
ロール側面シール装置18A、18BS 18Cにより
シールされる。シールロール16Aと、ハウジング3の
側壁3aと頂壁3bに固定されたシール壁17Aとの間
及びシールロール16Bと、ハウジング3の側壁3aと
底壁3Cに固定されたシール壁17Bとの間の気体通過
量は微小間隙による気体流入抵抗によって減少する。
ールロール16Aとの間及びピンチロール4Bとこれに
当接して回転されるシールロール16Bとの間は当接シ
ールされる。ビンチロール4A、4B及びシールロール
16A、16Bとハウジング3の側壁3aとの間は夫々
ロール側面シール装置18A、18BS 18Cにより
シールされる。シールロール16Aと、ハウジング3の
側壁3aと頂壁3bに固定されたシール壁17Aとの間
及びシールロール16Bと、ハウジング3の側壁3aと
底壁3Cに固定されたシール壁17Bとの間の気体通過
量は微小間隙による気体流入抵抗によって減少する。
前述のような真空差圧シール装置によって真空処理室1
と真空差圧シール2の各出入口部における各室間の気体
移動が抑制されると共に、各室内に流入した気体は真空
ポンプ19により内部気体として外部に排出される。
と真空差圧シール2の各出入口部における各室間の気体
移動が抑制されると共に、各室内に流入した気体は真空
ポンプ19により内部気体として外部に排出される。
従って、真空処理室1まで大気圧から真空度を段階的に
上げて所定の真空度を確実に得ることができる。
上げて所定の真空度を確実に得ることができる。
以上の通り、この発明は、上下のピンチロールに金属製
のロールを使用しているから、帯板温度が高くても使用
できる。また、上ピンチロールの円筒シェルを薄肉に形
成しており、上ピンチロールの上方にロール軸方向に沿
って配列した互いに独立して押付力を設定可能な複数個
のペンディングローラによって下方に押圧して上ピンチ
ロールの円筒シェルを下ピンチロールと協働して所定の
曲げ形状に変形させることができるから、上下ピンチロ
ール間のエア漏洩面積を確実に減少させることができる
。従って、差圧シール効果が確保されるから、真空処理
室に所定の真空度を保つために、従来のように真空差圧
シール装置の段数を増加させ、かつ、真空ポンプの容量
を大きくする必要はない。
のロールを使用しているから、帯板温度が高くても使用
できる。また、上ピンチロールの円筒シェルを薄肉に形
成しており、上ピンチロールの上方にロール軸方向に沿
って配列した互いに独立して押付力を設定可能な複数個
のペンディングローラによって下方に押圧して上ピンチ
ロールの円筒シェルを下ピンチロールと協働して所定の
曲げ形状に変形させることができるから、上下ピンチロ
ール間のエア漏洩面積を確実に減少させることができる
。従って、差圧シール効果が確保されるから、真空処理
室に所定の真空度を保つために、従来のように真空差圧
シール装置の段数を増加させ、かつ、真空ポンプの容量
を大きくする必要はない。
第1図はこの発明の一実施例を示す概略的な縦断面図、
第2図は第1図の要部拡大図、第3図は第2図のX〜線
に沿う断面図、第4図は作用説明図である。 ■・・・・・・真空処理室、2・・・・・・真空予備室
、3・・・・・・ハウジング、4A・・・・・・上ピン
チロール、4B・・・・・・下ピンチロール、 5.10・・・・・・円筒シェル、6.11・・・・・
・支持円板、7.12・・・・・・ロール軸、8A、8
B・・・・・・軸受、13・・・・・・ペンディングロ
ーラ、14・・・・・・押付シリンダ、 16A、16B・・・・・・シールロール、17A、1
7B・・・・・・シール壁、18A、18B、18C・
・・・・・側面シール装置。 C 第 図 41:5
第2図は第1図の要部拡大図、第3図は第2図のX〜線
に沿う断面図、第4図は作用説明図である。 ■・・・・・・真空処理室、2・・・・・・真空予備室
、3・・・・・・ハウジング、4A・・・・・・上ピン
チロール、4B・・・・・・下ピンチロール、 5.10・・・・・・円筒シェル、6.11・・・・・
・支持円板、7.12・・・・・・ロール軸、8A、8
B・・・・・・軸受、13・・・・・・ペンディングロ
ーラ、14・・・・・・押付シリンダ、 16A、16B・・・・・・シールロール、17A、1
7B・・・・・・シール壁、18A、18B、18C・
・・・・・側面シール装置。 C 第 図 41:5
Claims (1)
- (1).帯板を挟み込んで通板可能な上下一対のピンチ
ロールを設けたロール式真空差圧シール装置において、
前記上ピンチロールの円筒シェルを薄肉に形成し、この
円筒シェルの中央部をロール軸により支持し、円筒シェ
ルの中央部の付近から端部までロール軸との間に隙間を
形成すると共に、上ピンチロールの上方にロール軸方向
に沿って、上ピンチロールに当接して回転される複数個
のペンディングローラを互いに独立して上ピンチロール
上に押し付け可能に配設したことを特徴とする帯板真空
差圧シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17342289A JP2677422B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 帯板真空差圧シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17342289A JP2677422B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 帯板真空差圧シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339473A true JPH0339473A (ja) | 1991-02-20 |
| JP2677422B2 JP2677422B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=15960158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17342289A Expired - Lifetime JP2677422B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 帯板真空差圧シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677422B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006307404A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Kao Corp | 消臭抗菌繊維製品 |
| CN110004427A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-12 | 南京汇金锦元光电材料有限公司 | 柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法 |
-
1989
- 1989-07-05 JP JP17342289A patent/JP2677422B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006307404A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Kao Corp | 消臭抗菌繊維製品 |
| CN110004427A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-12 | 南京汇金锦元光电材料有限公司 | 柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2677422B2 (ja) | 1997-11-17 |
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