JPS61127639U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61127639U JPS61127639U JP1166985U JP1166985U JPS61127639U JP S61127639 U JPS61127639 U JP S61127639U JP 1166985 U JP1166985 U JP 1166985U JP 1166985 U JP1166985 U JP 1166985U JP S61127639 U JPS61127639 U JP S61127639U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- photoelectric sensor
- substrate
- wafer
- emitting section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の装置で、Ａ装置が測定状態に
ある斜視図、第２図は光電センサ受発光部及び同
期信号受発光部の要部拡大図、第３図は光電セン
サ受発光部の受発光面１９の拡大図、第４図は電
気的計数識別系のブロツク図、第５図は光電セン
サ受発光部を走査した第１、第２、第３、第４回
目のデイスプレーへの映像略図である。 １……ウエハの収容部、２……ウエハ、３……
光電センサ受発光部、４……同期信号受発光部、
５……基板、６……電気的計数識別系、Ａ及びＢ
……ウエハカウンタ。
ある斜視図、第２図は光電センサ受発光部及び同
期信号受発光部の要部拡大図、第３図は光電セン
サ受発光部の受発光面１９の拡大図、第４図は電
気的計数識別系のブロツク図、第５図は光電セン
サ受発光部を走査した第１、第２、第３、第４回
目のデイスプレーへの映像略図である。 １……ウエハの収容部、２……ウエハ、３……
光電センサ受発光部、４……同期信号受発光部、
５……基板、６……電気的計数識別系、Ａ及びＢ
……ウエハカウンタ。
Claims (1)
- 上部にウエハ２の収容部１を、その下方に光電
センサ受発光部３及び同期信号受発光部４を有し
、その光電センサ受発光部３及び同期信号受発光
部４がウエハ２の配列に沿つて水平に往復移動し
、且つ垂直にも上下し得る２組のウエハカウンタ
Ａ，Ｂを基板５上に並列に設け、その基板５を水
平かつ一定の距離を移動せしめるための手段、及
び上記光電センサ受発光部３及び同期信号受発光
部４に接続される電気的計数識別系６のローパス
フイルタ回路アナログ・デジタル変換回路の間に
自動利得制御回路を設けたことを特徴とするウエ
ハ枚数計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1166985U JPH0229724Y2 (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1166985U JPH0229724Y2 (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61127639U true JPS61127639U (ja) | 1986-08-11 |
| JPH0229724Y2 JPH0229724Y2 (ja) | 1990-08-09 |
Family
ID=30494002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1166985U Expired JPH0229724Y2 (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229724Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02305449A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-12-19 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ枚数計数装置 |
| JPH03237739A (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-23 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ枚数計数装置 |
-
1985
- 1985-01-30 JP JP1166985U patent/JPH0229724Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02305449A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-12-19 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ枚数計数装置 |
| JPH03237739A (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-23 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ枚数計数装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0229724Y2 (ja) | 1990-08-09 |
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