JPS6112982U - クライオポンプ - Google Patents

クライオポンプ

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Publication number
JPS6112982U
JPS6112982U JP9682884U JP9682884U JPS6112982U JP S6112982 U JPS6112982 U JP S6112982U JP 9682884 U JP9682884 U JP 9682884U JP 9682884 U JP9682884 U JP 9682884U JP S6112982 U JPS6112982 U JP S6112982U
Authority
JP
Japan
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cryopump
cryopanel
shield plate
radiation shield
buttful
Prior art date
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Pending
Application number
JP9682884U
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English (en)
Inventor
一喜 森谷
正 園部
淳 千葉
和夫 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS6112982U publication Critical patent/JPS6112982U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は各種気体の蒸気圧曲線図、第２図は従来構造例
クライオポンプの排気時の動作説明図、第３図は従来構
造例タライポンプの再生時の動作説明図、第４図は本考
案の一実施例のタライオポンプの構成図である。 １・・・ルーバーバツフル、２・・・輻射シールト板、
３・・・クライオパネルζ ４・・・クライオポンプ容
器、５・・・人気ゲートバルブ、６・・・真空容器、７
・・・冷媒、訃・・乾燥窒素ガス封入管、９・・・バル
ブ、１０・・・乾燥窒素。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クライオパネル存び輻射シールド板の前段にバツフルを
    有するクライオポンプに於いて、クライオパネル及び輻
    射シールド板とバツフル間に１箇所又はそれ以上のタラ
    イポンプ再生用ガス封入管を配置したことを特徴とする
    クライオ・ポンプ。
JP9682884U 1984-06-29 1984-06-29 クライオポンプ Pending JPS6112982U (ja)

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JP9682884U JPS6112982U (ja) 1984-06-29 1984-06-29 クライオポンプ

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JP9682884U JPS6112982U (ja) 1984-06-29 1984-06-29 クライオポンプ

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JPS6112982U true JPS6112982U (ja) 1986-01-25

Family

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JP9682884U Pending JPS6112982U (ja) 1984-06-29 1984-06-29 クライオポンプ

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