JPS61129945A - 遠隔診断装置 - Google Patents
遠隔診断装置Info
- Publication number
- JPS61129945A JPS61129945A JP59251153A JP25115384A JPS61129945A JP S61129945 A JPS61129945 A JP S61129945A JP 59251153 A JP59251153 A JP 59251153A JP 25115384 A JP25115384 A JP 25115384A JP S61129945 A JPS61129945 A JP S61129945A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manufacturing
- control computer
- host computer
- communication adapter
- computer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
- Maintenance And Management Of Digital Transmission (AREA)
- Selective Calling Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は主に工業製品を製造又は試験するための製造／
試験装置において、サーボ機構の制御およびプロセス制
御を制御用コンピュータでおこなう場合の遠隔診断装置
に関する。
試験装置において、サーボ機構の制御およびプロセス制
御を制御用コンピュータでおこなう場合の遠隔診断装置
に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
従来、工業製品の製造／試験装置は例えば半導体製造装
置はユーザー（使用者側）にとってはそこでの製品例え
ば半導体を製造するための単なる道具にすぎず、製造す
るために必要な取扱方法だけ知っていればよい。一方、
前記製造／試験装置の製作者または保守サービス業者に
とっては製造７／試験装置に関することは全てについて
知っていなければならず、同様の製造／試験装置を複数
のユーザーに納入し、またユーザーの装置設置場所も遠
近嫌々というのが通常の形態である。従って、ユーザー
側に設置されている製造／試験装置をユーザー側では回
復処置ができないばかりか診断さえできない異常が発生
した場合には例えばサービスマンがまず異常診断をおこ
なうための器材を携行してユーザーの設置現場へ急行し
、異常発生原因をつきとめて、一度引き返し、回復（修
理）処置のために再び設置現場へ赴くという事態が数多
くみられる。
置はユーザー（使用者側）にとってはそこでの製品例え
ば半導体を製造するための単なる道具にすぎず、製造す
るために必要な取扱方法だけ知っていればよい。一方、
前記製造／試験装置の製作者または保守サービス業者に
とっては製造７／試験装置に関することは全てについて
知っていなければならず、同様の製造／試験装置を複数
のユーザーに納入し、またユーザーの装置設置場所も遠
近嫌々というのが通常の形態である。従って、ユーザー
側に設置されている製造／試験装置をユーザー側では回
復処置ができないばかりか診断さえできない異常が発生
した場合には例えばサービスマンがまず異常診断をおこ
なうための器材を携行してユーザーの設置現場へ急行し
、異常発生原因をつきとめて、一度引き返し、回復（修
理）処置のために再び設置現場へ赴くという事態が数多
くみられる。
［発明の目的１
本発明は前記したような製造／試験装置の保守すなわち
異常発生時の診断ざらには回復処置を、前記製造／試験
装置の製作者又は保守サービス業者が前記製造／試験装
置の設置現場まで往復することを最小限にできる遠隔診
断装置を提供することを目的とする。
異常発生時の診断ざらには回復処置を、前記製造／試験
装置の製作者又は保守サービス業者が前記製造／試験装
置の設置現場まで往復することを最小限にできる遠隔診
断装置を提供することを目的とする。
［発明の概要］
本発明は前記目的を達成するため、工業製品を製造又は
試験するものであって、制御用コンピュータを有する製
造／試験装置と、前記制御用コンピュータに接続した通
信アダプタと、前記製造／試験装置とは離れた遠隔地に
存在し、かつこの診断プログラムを内蔵したホストコン
ピュータと、このホストコンピュータに接続した通信ア
ダプタと、このホストコンピュータの通信アダプタと前
記制御用コンピュータの通信アダプタを接続する通信回
線と、前記制御用コンピュータ上で得られる製造／試験
装置の状態情報を前記ホストコンピュータへ伝送する第
１の手段と、前記ホストコンピュータからの制御動作指
示を前記制御コンピュータへ伝送する第２の手段とから
なるものである。
試験するものであって、制御用コンピュータを有する製
造／試験装置と、前記制御用コンピュータに接続した通
信アダプタと、前記製造／試験装置とは離れた遠隔地に
存在し、かつこの診断プログラムを内蔵したホストコン
ピュータと、このホストコンピュータに接続した通信ア
ダプタと、このホストコンピュータの通信アダプタと前
記制御用コンピュータの通信アダプタを接続する通信回
線と、前記制御用コンピュータ上で得られる製造／試験
装置の状態情報を前記ホストコンピュータへ伝送する第
１の手段と、前記ホストコンピュータからの制御動作指
示を前記制御コンピュータへ伝送する第２の手段とから
なるものである。
［発明の実施例］
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。第１図はこの概略構成を示す図である。
る。第１図はこの概略構成を示す図である。
ここで対象となる製造／試験装置の一例として製品材料
〈被試験品）２から製品（試験製品）３を生産するもの
である。前記製造／試験袋［１はユーザー側にあり、制
御用コンピュータシステム１０を備え、これはプロセス
入出力装置１１、制御用コンピュータ１２からなり、こ
の制御用コンピュータ１２には制御用コンピュータ通信
アダプタ１３を有している。制御用コンピュータ１２が
内蔵プログラムの指令によりプロセス入出力装置１１を
介して前記製造／試験装置１内の各機器を駆動およびそ
れらの状態の読込みをおこなう。一方、装置製作者また
は保守サービス業者の事業所に設置されているホストコ
ンピュータシステム２０は、診断プログラムを内蔵、し
たホストコンピュータ２１と、サービスマンがこのホス
トコンピュータ２１と対話するためのディスプレー２２
と、診断結果を記録するプリンタ２３を備え、しかもホ
ストコンピュータ通信アダプタ２４を備えている。そし
て前記通信アダプタ２４と前記通信アダプタ１３との間
は通信回線３０が接続され、これによってホストコンピ
ュータ２１と制御用コンピュータ１２との間に通信路が
形成されている一０前記ユーザーは複数が各地に散在し
ていることが普通であるため、利用する通信回線の種類
にもよるがホストコンピュータ側の通信アダプタ２４お
よび通信回線３０は制御用コンピュータ１２の通信アダ
プタ１３が設置される数だけ必要である。
〈被試験品）２から製品（試験製品）３を生産するもの
である。前記製造／試験袋［１はユーザー側にあり、制
御用コンピュータシステム１０を備え、これはプロセス
入出力装置１１、制御用コンピュータ１２からなり、こ
の制御用コンピュータ１２には制御用コンピュータ通信
アダプタ１３を有している。制御用コンピュータ１２が
内蔵プログラムの指令によりプロセス入出力装置１１を
介して前記製造／試験装置１内の各機器を駆動およびそ
れらの状態の読込みをおこなう。一方、装置製作者また
は保守サービス業者の事業所に設置されているホストコ
ンピュータシステム２０は、診断プログラムを内蔵、し
たホストコンピュータ２１と、サービスマンがこのホス
トコンピュータ２１と対話するためのディスプレー２２
と、診断結果を記録するプリンタ２３を備え、しかもホ
ストコンピュータ通信アダプタ２４を備えている。そし
て前記通信アダプタ２４と前記通信アダプタ１３との間
は通信回線３０が接続され、これによってホストコンピ
ュータ２１と制御用コンピュータ１２との間に通信路が
形成されている一０前記ユーザーは複数が各地に散在し
ていることが普通であるため、利用する通信回線の種類
にもよるがホストコンピュータ側の通信アダプタ２４お
よび通信回線３０は制御用コンピュータ１２の通信アダ
プタ１３が設置される数だけ必要である。
なお第１図はユーザー側の制御用コンピュータ・通信ア
ダプタの１セツトについてのみ表現したものである。
ダプタの１セツトについてのみ表現したものである。
以下、このように構成された遠隔診断装置の作用を第２
図のフローチャートを用いて説明する。
図のフローチャートを用いて説明する。
ユーザーからの製造／試験装置１に関する異常発生通報
が装置製作者あるいは保守サービス業者（以下中と略す
）に寄せられた時点で甲はディスプレー２２を用いて対
象の制御用コンピュータ１２の識別番号ｉを与えホスト
コンピュータ２１に内蔵された診断プログラムを起動す
る。この診断プログラムは与えられたユーザー側の制御
用コンピュータ１２ｉに対して診断指令を２４ｒ −３
０ｉ−１３ｉにより送信し、１２１はこれを受信したな
らば指令通りの動作、をおこない結果のデータを逆経路
で返信し、ホストコンピュータ２１は該返信データをデ
ィスプレー２２に表示するかまたはプリンタ２３に印字
する。前記診断指令はホストコンピュータ２１内の診断
プログラムと制御用コンピュータ１２内のプログラムの
手順の分担のさぜ方あるいは診断手順とその種類により
その意味す、るところは多岐に及ぶが、何れにしても制
御用コンピュータ１２は診断指令にもとづいて製造／試
験装置１内の各機器状態の読込み結果を返送することお
よび製造／試験装置１内の各機器への動作指令をプロセ
ス入出力装置１１を通じておこなうことによってこれを
遂行する。
が装置製作者あるいは保守サービス業者（以下中と略す
）に寄せられた時点で甲はディスプレー２２を用いて対
象の制御用コンピュータ１２の識別番号ｉを与えホスト
コンピュータ２１に内蔵された診断プログラムを起動す
る。この診断プログラムは与えられたユーザー側の制御
用コンピュータ１２ｉに対して診断指令を２４ｒ −３
０ｉ−１３ｉにより送信し、１２１はこれを受信したな
らば指令通りの動作、をおこない結果のデータを逆経路
で返信し、ホストコンピュータ２１は該返信データをデ
ィスプレー２２に表示するかまたはプリンタ２３に印字
する。前記診断指令はホストコンピュータ２１内の診断
プログラムと制御用コンピュータ１２内のプログラムの
手順の分担のさぜ方あるいは診断手順とその種類により
その意味す、るところは多岐に及ぶが、何れにしても制
御用コンピュータ１２は診断指令にもとづいて製造／試
験装置１内の各機器状態の読込み結果を返送することお
よび製造／試験装置１内の各機器への動作指令をプロセ
ス入出力装置１１を通じておこなうことによってこれを
遂行する。
以上述べたことから甲はディスプレー２２あるいはプリ
ンタ２３に出力された結果から製造／試験装置１の状況
を自らの事業所に居ながらにして知ることができ、異常
原因によってはこれを処置することも可能となり、甲が
ユーザーへ装置の異常診断および処置のために往復する
回数は最小限に抑えられる。
ンタ２３に出力された結果から製造／試験装置１の状況
を自らの事業所に居ながらにして知ることができ、異常
原因によってはこれを処置することも可能となり、甲が
ユーザーへ装置の異常診断および処置のために往復する
回数は最小限に抑えられる。
なお第１図に示した機器構成図は通信回線を２点間直通
接続方式でおこなう場合を示しているが、交換方式をと
れば物理的な回線数の制約もなく費用も安価にすること
ができる。また第２図に示した診断（処置）フローチャ
ートは甲のサービスマンが診断をスタートさせている例
を示しているが、制御用コンピュータ側で異常発生を検
知したところで自らホストコンピュータへの異常データ
を送信するようにしてもよい。
接続方式でおこなう場合を示しているが、交換方式をと
れば物理的な回線数の制約もなく費用も安価にすること
ができる。また第２図に示した診断（処置）フローチャ
ートは甲のサービスマンが診断をスタートさせている例
を示しているが、制御用コンピュータ側で異常発生を検
知したところで自らホストコンピュータへの異常データ
を送信するようにしてもよい。
［発明の効果コ
以上述べた本発明によれば製造／試験装置の異常発生時
の診断さらには回復処置を、前記製造／試験装置の製作
者又は保守サービス業者が、前記製造／試験装置の設置
現場まで往復することを最小限にでる遠隔診断装置を提
供できる。
の診断さらには回復処置を、前記製造／試験装置の製作
者又は保守サービス業者が、前記製造／試験装置の設置
現場まで往復することを最小限にでる遠隔診断装置を提
供できる。
第１図は本発明による遠隔診断装置の一実施例を示す概
略構成図、第２図は本発明の詳細な説明するためのフロ
ーチャートである。 １・・・製造／試験装置、２・・・製品材料、３・・・
製品、１０・・・制御用コンピュータシステム、１１・
・・プロセス入出力装置、１２・・・制御用コンピュー
タ、１３・・・制御用コンピュータ通信アダプタ、２０
・・・ホストコンピュータシステム、２１・・・ホスト
コンピュータ、２２・・・ディスプレー、２３・・・プ
リンタ、２４・・・ホストコンピュータ通信アダプタ、
３０・・・通信回線。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図
略構成図、第２図は本発明の詳細な説明するためのフロ
ーチャートである。 １・・・製造／試験装置、２・・・製品材料、３・・・
製品、１０・・・制御用コンピュータシステム、１１・
・・プロセス入出力装置、１２・・・制御用コンピュー
タ、１３・・・制御用コンピュータ通信アダプタ、２０
・・・ホストコンピュータシステム、２１・・・ホスト
コンピュータ、２２・・・ディスプレー、２３・・・プ
リンタ、２４・・・ホストコンピュータ通信アダプタ、
３０・・・通信回線。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図
Claims (1)
- 工業製品を製造又は試験するものであつて、制御用コ
ンピュータを有する製造／試験装置と、前記制御用コン
ピュータに接続した通信アダプタと、前記製造／試験装
置とは離れた遠隔地に存在し、かつこの診断プログラム
を内蔵したホストコンピュータと、このホストコンピュ
ータに接続した通信アダプタと、このホストコンピュー
タの通信アダプタと前記制御用コンピュータの通信アダ
プタを接続する通信回線と、前記制御用コンピュータ上
で得られる製造／試験装置の状態情報を前記ホストコン
ピュータへ伝送する第１の手段と、前記ホストコンピュ
ータからの制御動作指示を前記制御コンピュータへ伝送
する第２の手段とからなる遠隔診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251153A JPS61129945A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | 遠隔診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251153A JPS61129945A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | 遠隔診断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61129945A true JPS61129945A (ja) | 1986-06-17 |
Family
ID=17218460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59251153A Pending JPS61129945A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | 遠隔診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61129945A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5281910A (en) * | 1991-07-01 | 1994-01-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Test pattern signal generator and inspection method of display device using the same |
| JP2003177802A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-06-27 | Hitachi Ltd | プラント制御システム |
| US7225046B2 (en) | 2000-07-12 | 2007-05-29 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus, remote control system therefor, and remote operation device |
-
1984
- 1984-11-28 JP JP59251153A patent/JPS61129945A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5281910A (en) * | 1991-07-01 | 1994-01-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Test pattern signal generator and inspection method of display device using the same |
| US7225046B2 (en) | 2000-07-12 | 2007-05-29 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus, remote control system therefor, and remote operation device |
| JP2003177802A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-06-27 | Hitachi Ltd | プラント制御システム |
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