JPS6113455U - 電子線用偏向電極支持装置 - Google Patents
電子線用偏向電極支持装置Info
- Publication number
- JPS6113455U JPS6113455U JP9770884U JP9770884U JPS6113455U JP S6113455 U JPS6113455 U JP S6113455U JP 9770884 U JP9770884 U JP 9770884U JP 9770884 U JP9770884 U JP 9770884U JP S6113455 U JPS6113455 U JP S6113455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support device
- electrode support
- electron beam
- deflection electrode
- holders
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は電子線用偏向装置の原理図、第２図は本考案の
一実施例を示す縦断面図、第３図は第２図の上面図、第
４図は電極と保持具の加工の仕方の一例を説明するため
の図である。 １，２，’１１，１２・・・偏向電極、１０，２１，２
２．２３・・・電極対、１３．１４・・・電気絶縁筒、
１５．１６・・・保持具、１７・・・外筒、１８，１９
・・・端子、２０・・・■ブロック。
一実施例を示す縦断面図、第３図は第２図の上面図、第
４図は電極と保持具の加工の仕方の一例を説明するため
の図である。 １，２，’１１，１２・・・偏向電極、１０，２１，２
２．２３・・・電極対、１３．１４・・・電気絶縁筒、
１５．１６・・・保持具、１７・・・外筒、１８，１９
・・・端子、２０・・・■ブロック。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 互いに対をなして対向配置される偏向電極の支持装
置において、前記偏向電極を縦に分割されて対をなし筒
の一部を形成する形状になされた保持具の内側にそれぞ
れ位置させて固定し、前記それぞれの偏向電極の対向面
と保持具の対向面を互いに平行に形成し、前記対をなす
保持具を直接またはスペーサを芥しで突き合わせるよう
にしたことを特徴とする電子線用偏向電極支持装置。 ２ 保持具の外面が円筒面に形成され、前記円筒面に合
致する穴を有する外筒内に前記保持具が挿入されている
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
電子線用偏向電極支持装置。 ３ 複数組の保持具が、１つの外筒内に挿入されて１つ
のユニットを構成するようにしたことを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第２項記載の電子線用偏向電極支持
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9770884U JPS6113455U (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 電子線用偏向電極支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9770884U JPS6113455U (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 電子線用偏向電極支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113455U true JPS6113455U (ja) | 1986-01-25 |
| JPH0446364Y2 JPH0446364Y2 (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=30657265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9770884U Granted JPS6113455U (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 電子線用偏向電極支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6113455U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0486620U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP9770884U patent/JPS6113455U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0486620U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0446364Y2 (ja) | 1992-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5852790U (ja) | 発熱線の支持構造 | |
| JPS6040471U (ja) | 電気防食用電極 | |
| JPS58182400U (ja) | 加速管 | |
| JPS60109045U (ja) | 電気伝導度測定用センサ | |
| JPS6139817U (ja) | 多心ケ−ブル | |
| JPS5827932U (ja) | 電解コンデンサ | |
| JPS5821949U (ja) | イオン源装置 | |
| JPS6247068U (ja) | ||
| JPS60175498U (ja) | 除電器 | |
| JPS5892752U (ja) | ランプの保持機構 | |
| JPS5914414U (ja) | 圧電振動子の支持構造 | |
| JPS59190090U (ja) | 点火プラグ | |
| JPS58195973U (ja) | 端子台 | |
| JPS59128707U (ja) | リ−ド付きブロツク部品 | |
| JPS60193656U (ja) | 多極電極 | |
| JPS60111046U (ja) | ウエハホルダ | |
| JPS5899811U (ja) | コイル部品 | |
| JPS6041038U (ja) | 貫通形コンデンサ | |
| JPS5918352U (ja) | 静電レンズ構造 | |
| JPS58107593U (ja) | 陰極線管ソケツト用スパ−クギヤツプ形成体 | |
| JPS5945950U (ja) | ガスレ−ザ装置の電極冷却構造 | |
| JPS60156657U (ja) | 走査電子顕微鏡用試料ステ−ジ | |
| JPS6095563U (ja) | フラツトケ−ブルの絶縁被覆検査装置 | |
| JPS5972720U (ja) | 磁器コンデンサ | |
| JPS58182152U (ja) | 固体電解質酸素計のリ−ド線固定構造 |