JPH0446364Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、電子ビーム描面装置等における電子
線用偏向電極を所定の間隔を保つて支持するため
の装置に関するものである。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

電子線の偏向電極は、第１図に示すように、対
をなす電極１，２を互いに平行に配置し、これら
の間に電子線３を通すようになつており、第１図
においてｘは電極間距離、ｄは電極長、ｌは偏向
距離である。この装置における偏向量ｙは、電子
線３の加速電圧をV_p、電極１，２間の静電界強
度をＥとすると、下式で表わされる。

ｙ＝Ed（ｌ＋ｄ／２）／2V_p ……(1) すなわち、静電界強度Ｅを制御することによ
り、偏向量ｙを制御することができる。前記静電
界強度Ｅは、電極１，２の電位差をV_pとすると、
下記(2)式で表わされる。

Ｅ＝V_p／ｘ ……(2) この(2)式から明らかなように、電極間距離ｘが
一定でなければ、偏向量ｙと制御電圧（電極１，
２の電位差V_p）との直線性が悪くなる。そこで、
電極間距離ｘは、その絶対値はもちろんであるが
特に平行度をより正確に保つ必要がある。ところ
で、従来は電極１，２を図示しない一体の中空円
筒の内部に挿入し、これらを外部からのネジなど
により固定するようになつており、電極１，２間
の平行度の計測管理が難しく、組立調整の再現性
が悪く、このため平行精度は１×10^-2rad程度が
限界であつた。

〔考案の目的〕

本考案の目的は、対をなす偏向電極を、所定の
間隔とより高い平行精度を保つて設置することが
でき、かつ組立、調整が的確に行える電子線用偏
向電極の支持装置を提供するにある。

〔考案の概要〕

かかる目的を達成するための本考案は、対をな
す偏向電極を、縦に分割されて対をなし筒の一部
を形成する形状になされた保持具の内側にそれぞ
れ位置させて固定し、それぞれの偏向電極の対向
面と保持具の対向面を互いに平行に形成し、対を
なす保持具を直接またはスペーサを介して突き合
わることにより、これらにそれぞれ固定されてい
る偏向電極を所定の間隔で互いに平行に対向させ
るようにしたものである。

〔実施例〕

以下本考案の一実施例を示す第２図ないし第４
図について説明する。第２図において、１１，１
２は対をなす偏向電極（以下電極という）で、そ
れぞれの背面側が電気絶縁筒１３，１４を介して
接着剤などにより保持具１５，１６に一体的に固
定されている。保持具１５，１６は第３図に示す
ように、中空円筒体を縦に２つに分割した形状に
なされ、第４図により明瞭に示されているように
（第４図には保持具１５側のみの例を示す）、半割
りの中空円筒状の保持具１５の内側に前記電極１
１を位置させるようになつている。

前記のように一体的に固定された電極１１と保
持具１５（電極１２と保持具１６も同じ）は、例
えば、第４図に示すように、下面Ａに対して所定
の角度をもつて平行（紙面と垂直な方向）に形成
されたＶ形面Ｂ１，Ｂ２を有するＶブロツク２０
上に、図示のように載置され、保持具１５の外周
面を基準にして、保持具１５と電極１１の同図に
おいて上面すなわち対をなす保持具１６と電極１
２との対向面１５ａ，１１ａを互いに平行にして
両者の寸法εが所定の値になるように加工され
る。このとき、保持具１５の対向面１５ａは、保
持具１５の外周面の中心軸上に位置するように加
工される。

前記のように形成された保持具１５，１６は、
第２図および第３図に示すように、外筒１７内に
挿入され、両保持具１５，１６の対向面１５ａ，
１６ａを突き合わせて、図示しないネジなどによ
り該保持具１５，１６を外筒１７に対して固定す
るようになつている。なお、第２図において１
８，１９は給電用の端子である。

第２図に示す装置は、前記のように構成された
電極対１０と同様の電極対２１，２２，２３の合
計４組を外筒１７内に挿入し、下端を段部１７ａ
で受け、上端側を図示しない押え板などにて押圧
するようにしたものであり、中間の電極対２１，
２２は、上下の電極対１０，２３に対して90°位
相をずらせたものである。

本装置は、前述したような保持具１５，１６に
て電極１１，１２を支持するように構成したた
め、第４図に示したように、保持具１５（保持具
１６も同じ）の対向面１５ａの加工および同対向
面１５ａと電極１１の対向面１１ａとの間隔εお
よび平行度を正確に加工しておけば、その後は単
に対をなす保持具１５，１６の対向面１５ａ，１
６ａを突き合わせてセツトするだけでよく、計測
作業や調整作業を行なわずに、電極１１，１２の
対向面１１ａ，１２ａの間隔および平行度を所定
の精度内に納めることが可能になる。

そして、前記第４図に示す対向面１５ａ，１１
ａの加工は、前述したように保持具１５に電極１
１を固定した後に、同一の機械上で行えるので、
間隔εと平行度は非常に高精度にできる。実際
に、この方式で製作した場合、電極１１，１２の
対向面１１ａ，１２ａの平行度を比較的容易に１
×10^-3rad以下に押えることができた。

前述した実施例は、保持具１５，１６として中
空円筒体を縦に半分に分割した形状のものを示し
たが、これらは筒状体を縦に分割したものであれ
ばよく、また、保持具１５，１６の対向面１５
ａ，１６ａの間にスペーサを介在させるようにし
てもよい等、種々変更可能なことは言うまでもな
い。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案によれば、対をなす偏
向電極の間隔、特に対向面の平行度を高精度にで
き、組立て時に電極間の平行度などを計測し調整
する必要がなく、このため組立てが非常に容易に
なると同時に、電極部の油やゴミなどによる汚染
を防止でき、品質を高めることができるなどの効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子線用偏向装置の原理図、第２図は
本考案の一実施例を示す縦断面図、第３図は第２
図の上面図、第４図は電極と保持具の加工の仕方
の一例を説明するための図である。 １，２，１１，１２……偏向電極、１０，２
１，２２，２３……電極対、１３，１４……電気
絶縁筒、１５，１６……保持具、１７……外筒、
１８，１９……端子、２０……Ｖブロツク。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 互いに対をなして対向配置される偏向電極の
   支持装置において、前記偏向電極を縦に分割さ
   れて対をなし筒の一部を形成する形状になされ
   た保持具の内側にそれぞれ位置させて固定し、
   前記それぞれの偏向電極の対向面と保持具の対
   向面を互いに平行に形成し、前記対をなす保持
   具を直接またはスペーサを介して突き合わせる
   ようにしたことを特徴とする電子線用偏向電極
   支持装置。 ２ 保持具の外面が円筒面に形成され、前記円筒
   面に合致する穴を有する外筒内に前記保持具が
   挿入されていることを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項記載の電子線用偏向電極支持
   装置。 ３ 複数組の保持具が、１つの外筒内に挿入され
   て１つのユニツトを構成するようにしたことを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項記載
   の電子線用偏向電極支持装置。