JPS61136558U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61136558U JPS61136558U JP15563385U JP15563385U JPS61136558U JP S61136558 U JPS61136558 U JP S61136558U JP 15563385 U JP15563385 U JP 15563385U JP 15563385 U JP15563385 U JP 15563385U JP S61136558 U JPS61136558 U JP S61136558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- resistance
- strain gauge
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0054—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements integral with a semiconducting diaphragm
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図および第２図はそれぞれ本考案によるス
トレンゲージ付きダイアフラムのそれぞれ異なる
実施例の平面図である。 １……ダイアフラム、２……保持円環、３，３
′……抵抗帯、４，４′……終端片、５，６，７
，８……接続個所、５′，６′，７′，８……接
続導体、９，１０……外側断片、１１，１２……
内側断片、Ｋ１……ダイアフラム取付周縁、Ｋ２
……応力の半径方向成分の極性反転個所。
トレンゲージ付きダイアフラムのそれぞれ異なる
実施例の平面図である。 １……ダイアフラム、２……保持円環、３，３
′……抵抗帯、４，４′……終端片、５，６，７
，８……接続個所、５′，６′，７′，８……接
続導体、９，１０……外側断片、１１，１２……
内側断片、Ｋ１……ダイアフラム取付周縁、Ｋ２
……応力の半径方向成分の極性反転個所。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ダイアフラムの表面上または表面内に配置さ
れて断片的に平行に延びる抵抗帯の形をして４つ
の接続導体により１つのフルブリツジを構成し得
るストレンゲージが設けられている、圧力測定変
換器用の特に半導体材料から成るダイアフラムに
おいて、 ２つの等しい抵抗帯３，３′がダイアフラム１
の１つの直径Ｄに対して、平行かつ鏡像的に延び
るように配置され、かつ弧状の終端片４，４′を
介して接続されており、 接続導体５′６′，７′，８′がダイアフラム
１内の半径方向応力成分の極性の反転する範囲で
抵抗帯３，３′に接続されていることを特徴とす
るストレンゲージ付きダイアフラム。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のダイア
フラムにおいて、抵抗帯３，３′およびそれを接
続する弧状終端片４，４′が同種に構成されてい
ることを特徴とするストレンゲージ付きダイアフ
ラム。 ３ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のダイア
フラムにおいて、接続導体５′，６′，７′，８
′がドーピングにより形成された導体帯であり、
その中心線ａ１―ａ′１，ａ２―ａ′２が抵抗帯
３，３′の中心線と直交していることを特徴とす
るストレンゲージ付きダイアフラム。 ４ 実用新案登録請求の範囲第３項記載のダイア
フラムにおいて、接続導体５′，６′，７′，８
′の導体帯が抵抗帯３，３′と同種であり、ただ
しその抵抗を抵抗帯の抵抗よりも少なくとも１桁
小さくするような広い幅を有することを特徴とす
るストレンゲージ付きダイアフラム。 ５ 実用新案登録請求の範囲第３項または第４項
記載のストレンゲージ付きダイアフラムにおいて
、抵抗帯の縁と導体帯の縁とが接続箇所において
交わる角度が等しいことを特徴とするストレンゲ
ージ付きダイアフラム。 ６ 実用新案登録請求の範囲第１項ないし第５項
のいずれかに記載のダイアフラムにおいて、ダイ
アフラム１がｎ伝導形シリコンから成り、また抵
抗帯３，３′および導体帯５′，６′，７′，８
′が１１１結晶面内にドーピングを行うことによ
りｐ伝導性に形成されていることを特徴とするス
トレンゲージ付きダイアフラム。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19782856708 DE2856708A1 (de) | 1978-12-29 | 1978-12-29 | Messanordnung fuer einen druck-messumformer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61136558U true JPS61136558U (ja) | 1986-08-25 |
Family
ID=6058689
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15869579A Pending JPS5591882A (en) | 1978-12-29 | 1979-12-06 | Diaphragm with strain gauge |
| JP15563385U Pending JPS61136558U (ja) | 1978-12-29 | 1985-10-11 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15869579A Pending JPS5591882A (en) | 1978-12-29 | 1979-12-06 | Diaphragm with strain gauge |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPS5591882A (ja) |
| DE (1) | DE2856708A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128673A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Hitachi Ltd | 半導体感圧装置 |
| JPS60138434A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-23 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体形静電容量式圧力センサの製造方法 |
| DE3543261A1 (de) * | 1985-12-06 | 1987-06-11 | Siemens Ag | Drucksensor |
| US7514285B2 (en) * | 2006-01-17 | 2009-04-07 | Honeywell International Inc. | Isolation scheme for reducing film stress in a MEMS device |
| CN105318830B (zh) * | 2015-12-04 | 2018-03-02 | 浙江工业大学 | 横向偏差六敏感栅全桥混合叉指金属应变片 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53109488A (en) * | 1977-03-05 | 1978-09-25 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Mechanicalltooelectric converter |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3402609A (en) * | 1964-09-29 | 1968-09-24 | Tokota Chuo Kenkyusho Kk | Semiconductor mechanical-to-electrical transducer |
| GB1184109A (en) * | 1966-06-07 | 1970-03-11 | Toyoda Machine Works Ltd | Pressure Sensitive Device Incorporating Semi-Conductor Transducer |
| GB1155286A (en) * | 1966-10-25 | 1969-06-18 | Ether Eng Ltd | Improvements in or relating to Transducer Devices. |
-
1978
- 1978-12-29 DE DE19782856708 patent/DE2856708A1/de not_active Ceased
-
1979
- 1979-12-06 JP JP15869579A patent/JPS5591882A/ja active Pending
-
1985
- 1985-10-11 JP JP15563385U patent/JPS61136558U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53109488A (en) * | 1977-03-05 | 1978-09-25 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Mechanicalltooelectric converter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2856708A1 (de) | 1980-07-10 |
| JPS5591882A (en) | 1980-07-11 |
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