JPS61137005A - 表面粗度測定方法 - Google Patents
表面粗度測定方法Info
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- JPS61137005A JPS61137005A JP25882884A JP25882884A JPS61137005A JP S61137005 A JPS61137005 A JP S61137005A JP 25882884 A JP25882884 A JP 25882884A JP 25882884 A JP25882884 A JP 25882884A JP S61137005 A JPS61137005 A JP S61137005A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B1/00—Measuring instruments characterised by the selection of material therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の目的〉
産業上の利用分野
本発明は表面粗度測定方法に係り、詳しくは、機械部品
、金属製品、半製品に限らず、あらゆる物体の表面粗度
を簡易かつ高能率に測定できる表面粗度測定方法に係る
。
、金属製品、半製品に限らず、あらゆる物体の表面粗度
を簡易かつ高能率に測定できる表面粗度測定方法に係る
。
従 来 の 技 術
一般に、ロール、歯車等の機械部品、更に、半製品等の
固体の表面粗度や、粗度プロフィル測定は、触針式測定
器を用い被測定物の測定面を直接走査して行なっている
。この°測定方法は被測定物が大型重量物の場合のよう
に移動できない場合には、振動、粉塵など悪条件で測定
することになり、更に、曲面を有するものや、狭隘部分
を有するもの等では測定が困難であり、とくに、曲面粗
度の測定には、特殊な冶具例えば曲面の曲率に合った治
具を製作する必要があるなどの欠点がある。
固体の表面粗度や、粗度プロフィル測定は、触針式測定
器を用い被測定物の測定面を直接走査して行なっている
。この°測定方法は被測定物が大型重量物の場合のよう
に移動できない場合には、振動、粉塵など悪条件で測定
することになり、更に、曲面を有するものや、狭隘部分
を有するもの等では測定が困難であり、とくに、曲面粗
度の測定には、特殊な冶具例えば曲面の曲率に合った治
具を製作する必要があるなどの欠点がある。
発明が解決しようとする問題点
本発明は上記欠点を解決することを目的とし、具体的に
は、曲面粗度の測定時には、その曲面の曲率に合った測
定器を・作製する必要がなく、しかも、大型重量物等で
あっても、現場できわめて薄いフィルムに転写し、ごれ
を平面に展開して測定できる表面粗度測定方法を提案す
る。
は、曲面粗度の測定時には、その曲面の曲率に合った測
定器を・作製する必要がなく、しかも、大型重量物等で
あっても、現場できわめて薄いフィルムに転写し、ごれ
を平面に展開して測定できる表面粗度測定方法を提案す
る。
〈発明の構成〉
問題点を解決するための
手段ならびにその作用
すなわち、本発明方法は、被測定面に、表面が半溶融状
態に処理された高分子フィルムを接触させてこの高分子
フィルムに前記被測定面の表面形状を転写してから、こ
の高分子フィルムの転写面を触針走査することを特徴と
する。
態に処理された高分子フィルムを接触させてこの高分子
フィルムに前記被測定面の表面形状を転写してから、こ
の高分子フィルムの転写面を触針走査することを特徴と
する。
従って、本発明方法は、例えば、アセチルセルローズフ
ィルム等の高分子フィルムとこのフィルムの表面を半溶
融状態にするわずかの溶剤とを用いるだけで、粗度測定
用レプリカが作製でき、従来例の如くレプリカ作製時に
液体樹脂が流れることはなく、簡単にレプリカが作製で
きる。
ィルム等の高分子フィルムとこのフィルムの表面を半溶
融状態にするわずかの溶剤とを用いるだけで、粗度測定
用レプリカが作製でき、従来例の如くレプリカ作製時に
液体樹脂が流れることはなく、簡単にレプリカが作製で
きる。
また、高分子フィルム表面の硬化時間は０．５〜５分の
如く短く簡便で能率的安価に測定用レプリカが作製でき
る。
如く短く簡便で能率的安価に測定用レプリカが作製でき
る。
そこで、この問題点解決のための手段たる構成ならびに
その作用について更に具体的に示すと、次の通りである
。
その作用について更に具体的に示すと、次の通りである
。
粗度測定用レプリカの作製は樹脂と硬化剤を適發計り混
合した液体樹脂を測定部分に流込んで作製することもあ
るが、その際には測定部分を粘土等で囲う必要があり、
その準備に相当の時間がかかる。この点、本発明法は液
体樹脂を用いずに例えばアセチルセルローズの如き高分
子フィルムを用いる。すなわち、一般に、フィルムはや
わらかいものと考えられ、直接フィルム上を触針して粗
度を測定することはむづかしいと考えられている。しか
し、フィルムのうちでも、高分子フィルム、とくに、７
セチルセルローズ、硬質塩化ビニル、ポリスチロール等
はそれ自体が比較的硬く、これを硬い平面に接着すれば
むしろ曲面の粗度までも測定できることに着目した。
合した液体樹脂を測定部分に流込んで作製することもあ
るが、その際には測定部分を粘土等で囲う必要があり、
その準備に相当の時間がかかる。この点、本発明法は液
体樹脂を用いずに例えばアセチルセルローズの如き高分
子フィルムを用いる。すなわち、一般に、フィルムはや
わらかいものと考えられ、直接フィルム上を触針して粗
度を測定することはむづかしいと考えられている。しか
し、フィルムのうちでも、高分子フィルム、とくに、７
セチルセルローズ、硬質塩化ビニル、ポリスチロール等
はそれ自体が比較的硬く、これを硬い平面に接着すれば
むしろ曲面の粗度までも測定できることに着目した。
また、これら高分子フィルムは薄くすることにより平面
ばかりでなく曲面の粗度およびプロフィル測定もできる
。また、高分子フィルムの表面はわずかな溶剤を用いれ
ば、容易に半溶融でき、しかも、この表面の乾燥硬化時
間が短く、短時間（５分以下）で測定できる。その上で
、表面を半溶融状態にしておくと、その高分子フィルム
を対象物に接着する効果があり、高分子フィルムは被測
定面に対して直角方向からはり付けることができ、触計
測定時には、高分子フィルムをガラス等の硬い平面に接
着すると、カーリング等によって高分子フィルムがうね
ることなく、正確に測定できる。
ばかりでなく曲面の粗度およびプロフィル測定もできる
。また、高分子フィルムの表面はわずかな溶剤を用いれ
ば、容易に半溶融でき、しかも、この表面の乾燥硬化時
間が短く、短時間（５分以下）で測定できる。その上で
、表面を半溶融状態にしておくと、その高分子フィルム
を対象物に接着する効果があり、高分子フィルムは被測
定面に対して直角方向からはり付けることができ、触計
測定時には、高分子フィルムをガラス等の硬い平面に接
着すると、カーリング等によって高分子フィルムがうね
ることなく、正確に測定できる。
以上の通り、本発明法においては、従来例の如く直接に
被測定面の粗度を測定せずに、その表面粗度は４ｉ＆分
子フィルムによって再現する。
被測定面の粗度を測定せずに、その表面粗度は４ｉ＆分
子フィルムによって再現する。
この高分子フィルムとしてはアセチルセルローズフィル
ムが最適であるが、Ｃれ以外にも適正な硬度を具え、し
かも、薄く、更に、揮発性に優れるものであれば何れの
フィルムでも良く、例えば、硬質塩化ビニル、ポリスチ
ロール等が用いることができる。この高分子フィルムは
その厚みが被測定面に適合させて曲げ等がし易ければと
くに限定する必要がないが、表面粗度の再現性、操作の
容易性から０．０１０ｍｍ 〜０．２００ｍｍが望まし
い。
ムが最適であるが、Ｃれ以外にも適正な硬度を具え、し
かも、薄く、更に、揮発性に優れるものであれば何れの
フィルムでも良く、例えば、硬質塩化ビニル、ポリスチ
ロール等が用いることができる。この高分子フィルムは
その厚みが被測定面に適合させて曲げ等がし易ければと
くに限定する必要がないが、表面粗度の再現性、操作の
容易性から０．０１０ｍｍ 〜０．２００ｍｍが望まし
い。
そこで、このような高分子フィルムを用いて実際に表面
粗度を再現するには、まず、被測定面を脱脂洗浄し、一
方において、高分子フィルムの表面は半溶融状態に処理
する。この処理は高分子フィルムをこれに適した溶剤中
に表面が半溶融状態になるまでひたすことで行なわれ、
溶剤は高分子フィルムの表面が溶解できるものであると
、いかなる有機溶剤であっても用いることができる。例
えば、アセチルセルローズフィルムのときは、通常、酢
酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢酸エステルや
、ジメチルホルムアミドなどが用いられ、とくに、被測
定面温度が４０℃以下のときは酢酸メチル、ロール表面
等の如く被測定面温度が４０℃以上のときは、硬質塩化
ビニルのときは例えばジメチルホルム、ポリスチロール
のときはジメチルホルムアミド。
粗度を再現するには、まず、被測定面を脱脂洗浄し、一
方において、高分子フィルムの表面は半溶融状態に処理
する。この処理は高分子フィルムをこれに適した溶剤中
に表面が半溶融状態になるまでひたすことで行なわれ、
溶剤は高分子フィルムの表面が溶解できるものであると
、いかなる有機溶剤であっても用いることができる。例
えば、アセチルセルローズフィルムのときは、通常、酢
酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢酸エステルや
、ジメチルホルムアミドなどが用いられ、とくに、被測
定面温度が４０℃以下のときは酢酸メチル、ロール表面
等の如く被測定面温度が４０℃以上のときは、硬質塩化
ビニルのときは例えばジメチルホルム、ポリスチロール
のときはジメチルホルムアミド。
ベンゼン、トルエン、酢酸エステルが用いられる。
次に、表面を半溶融状に処理した高分子フィルムを脱脂
洗浄した被測定面にはり付ける。
洗浄した被測定面にはり付ける。
口の状態で、溶剤が完全に揮発したのち、通常、０．５
〜５分おき、被測定面から高分子フィルムを剥離する。
〜５分おき、被測定面から高分子フィルムを剥離する。
なお、高分子フィルムに付着物がある場合は、その付着
物がなくなるまで高分子フィルムのはり付け、剥離等の
処理をくり返して行なう。
物がなくなるまで高分子フィルムのはり付け、剥離等の
処理をくり返して行なう。
続いて、剥離した高分子フィルムの表面粗度転写面を表
とし、裏面を例えば両面接着テープ等によって平滑なガ
ラス板にはり付け、この試料を粗度計で触針走査するこ
とにより測定し、この際、１段レプリカである故に、得
られる粗度プロフィルの凹凸を逆転して粗度を測定する
。
とし、裏面を例えば両面接着テープ等によって平滑なガ
ラス板にはり付け、この試料を粗度計で触針走査するこ
とにより測定し、この際、１段レプリカである故に、得
られる粗度プロフィルの凹凸を逆転して粗度を測定する
。
実施例
次に、実施例について説明する。
実施例１゜
粗さの異なった試料を１０個用意して、各試料について
同じ被測定面を従来例の如く、直接粗度計で測定した場
合と本発明法により測定した場合とを対比して示すと、
第１図に示す通りの結果が得られた（なお、第１図で実
線が回帰直線、点線が完全に一致した場合を示す。）。
同じ被測定面を従来例の如く、直接粗度計で測定した場
合と本発明法により測定した場合とを対比して示すと、
第１図に示す通りの結果が得られた（なお、第１図で実
線が回帰直線、点線が完全に一致した場合を示す。）。
なお、本発明法では、フィルムとしてアセチルセルロー
ズフィルム（厚さ０．０３４ｍ１を用い、これを酢酸メ
チル中に２〜３秒浸漬して表面を予め溶融させ、これを
被測定面に２分間はり付けて剥離してレプリカを作製し
、これを従来例と同じ粗度計でその粗度プロフィルを逆
転して測定したちのである。
ズフィルム（厚さ０．０３４ｍ１を用い、これを酢酸メ
チル中に２〜３秒浸漬して表面を予め溶融させ、これを
被測定面に２分間はり付けて剥離してレプリカを作製し
、これを従来例と同じ粗度計でその粗度プロフィルを逆
転して測定したちのである。
第１図において縦軸で示される本発明法によ 。
る粗度（Ｒａｔと横軸で示される従来例による粗度（Ｒ
ａ’ ）を比較すると、両者がよく一致かつ整合
−していることがわかる。
ａ’ ）を比較すると、両者がよく一致かつ整合
−していることがわかる。
実施例２゜
６８０φＸ ２０００の熱間圧延仕上前後ワークロール
の粗度プロフィルの圧延進行に伴う変化を本発明法によ
って測定したところ、第２図に示す通りの結果が得られ
た。第２図において縦の０．１．５．１０．２５％４０
．７１．１００は圧延進行度合を示す本数であり、横の
符号（イ）はロール軸方向の表面粗度、（ロ）はロール
周方向の表面粗度を示す。なお、この場合も、実施例１
に示すところと同様に測定したが、使用したアセチルセ
ルローズフィルムの厚みは０．０８ｍであり、酢酸メチ
ルへの浸漬時間は２〜３秒であり、更に、第２図で目盛
Ｗ、は５μ−１Ｗ２は５００μ■である。
の粗度プロフィルの圧延進行に伴う変化を本発明法によ
って測定したところ、第２図に示す通りの結果が得られ
た。第２図において縦の０．１．５．１０．２５％４０
．７１．１００は圧延進行度合を示す本数であり、横の
符号（イ）はロール軸方向の表面粗度、（ロ）はロール
周方向の表面粗度を示す。なお、この場合も、実施例１
に示すところと同様に測定したが、使用したアセチルセ
ルローズフィルムの厚みは０．０８ｍであり、酢酸メチ
ルへの浸漬時間は２〜３秒であり、更に、第２図で目盛
Ｗ、は５μ−１Ｗ２は５００μ■である。
第２図から明らかな如く、従来例ではロール周方向の表
面粗度が得られないが、本発明法によると、転写したレ
プリカからロール周方向の表面粗度も得られる。
面粗度が得られないが、本発明法によると、転写したレ
プリカからロール周方向の表面粗度も得られる。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明した通り、本発明法は、被測定面に表面
が半溶融された高分子フィルムをはり付けて被測定面の
表面性状を高分子フィルム上に転写し、この高分子フィ
ルム転写面を触針して表面粗度を測定する方法である。
が半溶融された高分子フィルムをはり付けて被測定面の
表面性状を高分子フィルム上に転写し、この高分子フィ
ルム転写面を触針して表面粗度を測定する方法である。
従って、従来例の如く、被測定面の表面粗度を直接触針
して測定するものでなく、しかも、フィルム転写による
レプリカの作製がきわめて簡便でかつ短時間であるため
、きわめて苛酷な条件下でも測定でき、わずかの隙間し
かなく直接測定が困難なところでも粗度測定ができる。
して測定するものでなく、しかも、フィルム転写による
レプリカの作製がきわめて簡便でかつ短時間であるため
、きわめて苛酷な条件下でも測定でき、わずかの隙間し
かなく直接測定が困難なところでも粗度測定ができる。
高分子フィルムとしてはきわめて薄いものを用いてレプ
リカが作製できるので、例えば、曲面の如く被測定面が
いかなる形状であっても、これは転写でき、とくに、測
定時には平面に展開できるため、通常、用いられている
平面用の粗度計で曲面粗度を測定できる。
リカが作製できるので、例えば、曲面の如く被測定面が
いかなる形状であっても、これは転写でき、とくに、測
定時には平面に展開できるため、通常、用いられている
平面用の粗度計で曲面粗度を測定できる。
また、高分子フィルムとしては安価なアセチルセルロー
ズフィルム等で十分であり、溶剤の必要量も少なく、こ
のため、非常に安価に粗度測定用レプリカを作製できる
。更に、表面を半溶融するために用いた溶剤は高分子フ
ィルムを被測定面に接着する働きをし、液体樹脂のよう
に流れることはないため、被測定面が鉛直方向に指向し
ていても、被測定面の角度を問わず測定できる。
ズフィルム等で十分であり、溶剤の必要量も少なく、こ
のため、非常に安価に粗度測定用レプリカを作製できる
。更に、表面を半溶融するために用いた溶剤は高分子フ
ィルムを被測定面に接着する働きをし、液体樹脂のよう
に流れることはないため、被測定面が鉛直方向に指向し
ていても、被測定面の角度を問わず測定できる。
第１図は従来例により表面粗度を直接測定した場合と、
本発明法によって表面粗度を測定した場合とを比較して
示すグラフ、第２図は熱間圧延仕上げ前段ワークロール
の粗さプロフィルの圧延進行にともなっての変化を本発
明法によって測定したグラフである。 符号Ｗ、、Ｗ２・・・・・・縦横の目盛特許出願人 川
崎製鉄株式゛会社 代 理 人 弁理士 松 下 義 勝 弁護士副島文雄 ＠１図
本発明法によって表面粗度を測定した場合とを比較して
示すグラフ、第２図は熱間圧延仕上げ前段ワークロール
の粗さプロフィルの圧延進行にともなっての変化を本発
明法によって測定したグラフである。 符号Ｗ、、Ｗ２・・・・・・縦横の目盛特許出願人 川
崎製鉄株式゛会社 代 理 人 弁理士 松 下 義 勝 弁護士副島文雄 ＠１図
Claims (1)
- 被測定面に、表面が半溶融状態に処理された高分子フィ
ルムを接触させてこの高分子フィルムに前記被測定面の
表面形状を転写してから、この高分子フィルムの転写面
を触針走査することを特徴とする表面粗度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25882884A JPS61137005A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 表面粗度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25882884A JPS61137005A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 表面粗度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61137005A true JPS61137005A (ja) | 1986-06-24 |
| JPH0332002B2 JPH0332002B2 (ja) | 1991-05-09 |
Family
ID=17325591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25882884A Granted JPS61137005A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 表面粗度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61137005A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174950A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | クラック測定器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5442634A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-04 | Hitachi Ltd | Protective relay inspection circuit |
-
1984
- 1984-12-06 JP JP25882884A patent/JPS61137005A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5442634A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-04 | Hitachi Ltd | Protective relay inspection circuit |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174950A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | クラック測定器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0332002B2 (ja) | 1991-05-09 |
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