JPS61138146A - 分光螢光分析装置 - Google Patents
分光螢光分析装置Info
- Publication number
- JPS61138146A JPS61138146A JP59259163A JP25916384A JPS61138146A JP S61138146 A JPS61138146 A JP S61138146A JP 59259163 A JP59259163 A JP 59259163A JP 25916384 A JP25916384 A JP 25916384A JP S61138146 A JPS61138146 A JP S61138146A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation light
- fluorescence
- sample
- analysis
- transmitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明はＳ／Ｂ比が良く、しかも試料の状態に影響され
ずに分析精度の向上を図ることのできる分光蛍光分析装
置に関するものである。
ずに分析精度の向上を図ることのできる分光蛍光分析装
置に関するものである。
例えば半導体装置のパッケージに使用されるモールドレ
ジンにウランが混入されていると、このモールドレジン
から発せられるα線が半導体素子に影響を及ぼして所謂
ソフトエラーを生じるとになる。このため、近年では半
導体装置に用いる種々の材料の低α化が進められ、これ
ら材料におけるウランの分析検査が要求されている。
ジンにウランが混入されていると、このモールドレジン
から発せられるα線が半導体素子に影響を及ぼして所謂
ソフトエラーを生じるとになる。このため、近年では半
導体装置に用いる種々の材料の低α化が進められ、これ
ら材料におけるウランの分析検査が要求されている。
この種のウランの分析検査として、従来蛍光分析法があ
り、試料（前述の場合にはレジン）に励起光を照射し、
試料から出される蛍光を検出して分析を行なう方法であ
る。そして、この分析に際しては反射法と透過法が利用
される。すなわち。
り、試料（前述の場合にはレジン）に励起光を照射し、
試料から出される蛍光を検出して分析を行なう方法であ
る。そして、この分析に際しては反射法と透過法が利用
される。すなわち。
反射法は第３図に示すように試料１に照射した励起光２
ａの正反射位置に蛍光等を検出する光電管３を設置して
検出を行なうものであり、また透過法は試料１を透過す
る励起光２ａによって発生する蛍光を励起光２ｂの光路
位置から外れた位置に設定した光電管４によって検出す
るものである。
ａの正反射位置に蛍光等を検出する光電管３を設置して
検出を行なうものであり、また透過法は試料１を透過す
る励起光２ａによって発生する蛍光を励起光２ｂの光路
位置から外れた位置に設定した光電管４によって検出す
るものである。
しかしながら、前述した反射法では試料１の厚さのバラ
ツキによる検出誤差は少ないが、励起光の反射光が蛍光
と共に光電管３によって検出されることになるため、こ
れがＢ（バックグランド）となり、第４図（Ａ）に示す
ようにＳ（蛍光）に対するＢの割合、つまりＳ／Ｂ比が
小さくなって高感度な検出が困疋になる。また、試料ｔ
の表面状態にも影響を受ける。一方、透過法では前述の
問題は生じないが、第４図（Ｂ）のように試料の厚さに
よって蛍光を発生せしめる励起光２ｂの強度が変化され
るため、蛍光の値もこれに応じて変化されることになり
、高精度の検出は難がしい。
ツキによる検出誤差は少ないが、励起光の反射光が蛍光
と共に光電管３によって検出されることになるため、こ
れがＢ（バックグランド）となり、第４図（Ａ）に示す
ようにＳ（蛍光）に対するＢの割合、つまりＳ／Ｂ比が
小さくなって高感度な検出が困疋になる。また、試料ｔ
の表面状態にも影響を受ける。一方、透過法では前述の
問題は生じないが、第４図（Ｂ）のように試料の厚さに
よって蛍光を発生せしめる励起光２ｂの強度が変化され
るため、蛍光の値もこれに応じて変化されることになり
、高精度の検出は難がしい。
なお、蛍光分析技術について概説にあるものとしては、
岩波書店発行理化学辞典第３版増補版３８７頁がある。
岩波書店発行理化学辞典第３版増補版３８７頁がある。
本発明の目的は試料の厚さや表面状態のバラツキによっ
ても検査誤差の発生が殆んどなく、試料の蛍光分析を高
精度に行なうことができる分光蛍光分析＃Ａ置を提供す
ることにある。
ても検査誤差の発生が殆んどなく、試料の蛍光分析を高
精度に行なうことができる分光蛍光分析＃Ａ置を提供す
ることにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面がらあきらかになるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面がらあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、試料を透過した励起光と、この励起光によっ
て発生される蛍光とを夫々検出する手段を設け、励起光
の検出値に基づいて蛍光の検出値を補正し得るよう構成
することにより、試料の厚さのバラツキに伴なって変化
される透過励起光および蛍光に対し、常に透過励起光が
一定となるように又は一定と仮定することができ、これ
から正確な蛍光値を直接に又は演算によって求めること
ができ、高精度な分光蛍光分析を達成するものである。
て発生される蛍光とを夫々検出する手段を設け、励起光
の検出値に基づいて蛍光の検出値を補正し得るよう構成
することにより、試料の厚さのバラツキに伴なって変化
される透過励起光および蛍光に対し、常に透過励起光が
一定となるように又は一定と仮定することができ、これ
から正確な蛍光値を直接に又は演算によって求めること
ができ、高精度な分光蛍光分析を達成するものである。
〔実施例１〕
第１図は本発明の分光蛍光分析装置の一実施例を示して
おり、試料１［には半導体装置のパッケージ用のモール
ドレジンを使用しており、このモールドレジンをフッ化
ナトリウム溶融剤と−共に７００℃で加熱して１ウラン
を溶融させたものを再び固化して板状に形成している。
おり、試料１［には半導体装置のパッケージ用のモール
ドレジンを使用しており、このモールドレジンをフッ化
ナトリウム溶融剤と−共に７００℃で加熱して１ウラン
を溶融させたものを再び固化して板状に形成している。
図において、１２は励起光源であり、Ｘｅランプ、Ｄ２
（重水）ランプ、Ｈｇランプ等が利用される。
（重水）ランプ、Ｈｇランプ等が利用される。
そして、この光源からの励起光は１回折格７−Ｗ成の分
光器１３にて所定の波長成分（約２９０ｎｍ）を選択さ
せ、ミラー１４にて反射させた上でスリット１５を通し
て前記試料１１に照射させる。試料１１の背後には試料
１１を透過した透過励起光Ｉ６を検出する光電管Ｉ７を
設置している。また、試料１１の裏面に対して４５″の
角度位置には前述と同様の分光器１８を設置し、この分
光器【８から反射されるスペクトル光をミラー１９で反
射゛した上で検出する光電管２０を設置している。そし
て、前記各光電管１７と２０は演算回路２１に接続し、
ここでは透過励起光１６である光電管１７の出力を基準
として蛍光２２の強度である光電管２０の出力の比を算
出し、これを出力している。
光器１３にて所定の波長成分（約２９０ｎｍ）を選択さ
せ、ミラー１４にて反射させた上でスリット１５を通し
て前記試料１１に照射させる。試料１１の背後には試料
１１を透過した透過励起光Ｉ６を検出する光電管Ｉ７を
設置している。また、試料１１の裏面に対して４５″の
角度位置には前述と同様の分光器１８を設置し、この分
光器【８から反射されるスペクトル光をミラー１９で反
射゛した上で検出する光電管２０を設置している。そし
て、前記各光電管１７と２０は演算回路２１に接続し、
ここでは透過励起光１６である光電管１７の出力を基準
として蛍光２２の強度である光電管２０の出力の比を算
出し、これを出力している。
以上の構成によれば、励起光源１２の光は分光器１３に
よって所要の波長光が選択され、これが励起光２３とな
って試料１１に照射される。そして、試料１１を真直に
透過した透過励起光１６は光電管１７によって検出され
る。一方、透過励起光２３によって試料１１の裏面にお
いて発生された蛍光（その一部）２２は分光器１８によ
ってスペクトル分光された上で光電管２０によって検出
される。そして、これら両光電管１７．２０の出力から
演算回路２１において両者の比を求めることにより、蛍
光の分光分析結果を求めることができる。
よって所要の波長光が選択され、これが励起光２３とな
って試料１１に照射される。そして、試料１１を真直に
透過した透過励起光１６は光電管１７によって検出され
る。一方、透過励起光２３によって試料１１の裏面にお
いて発生された蛍光（その一部）２２は分光器１８によ
ってスペクトル分光された上で光電管２０によって検出
される。そして、これら両光電管１７．２０の出力から
演算回路２１において両者の比を求めることにより、蛍
光の分光分析結果を求めることができる。
この分析によれば、透過励起光１６の強度を基ン曽にし
て蛍光２２の強度を求めているので、試料１１の組成や
厚さにバラツキが存在して蛍光２２を発生させる透過励
起光１６の強度が変化されていても１両者の比を求める
ことにより透過励起光１６が常に一定状態のときと同様
の蛍光強度を求めることができる。したがって、試料１
１の厚さや組成のバラツキに拘らず高精度な分析を行な
うことができる。なお、本例は所謂透過法による分析で
あるから、試料表面状態の影響が少ないことはいうまで
もない。
て蛍光２２の強度を求めているので、試料１１の組成や
厚さにバラツキが存在して蛍光２２を発生させる透過励
起光１６の強度が変化されていても１両者の比を求める
ことにより透過励起光１６が常に一定状態のときと同様
の蛍光強度を求めることができる。したがって、試料１
１の厚さや組成のバラツキに拘らず高精度な分析を行な
うことができる。なお、本例は所謂透過法による分析で
あるから、試料表面状態の影響が少ないことはいうまで
もない。
〔実施例２〕
第２図は本発明の他の実施例である分光蛍光分析装置を
示す全体構成図である。第［図と同一部分には同一符号
を付して詳細な説明は省略する。
示す全体構成図である。第［図と同一部分には同一符号
を付して詳細な説明は省略する。
本例では、試料１１を透過した透過励起光１６を検出す
る光電管１７の出力をフィードバック回路２４に送出し
、このフィードバック回路２４では透過励起光１６が常
に一定となるように励起光源１２の発光強度をフィード
バック制御している。
る光電管１７の出力をフィードバック回路２４に送出し
、このフィードバック回路２４では透過励起光１６が常
に一定となるように励起光源１２の発光強度をフィード
バック制御している。
一方、蛍光２２を検出する光電管２０の出力が入力され
る演算回路２１は単に光電管２０の出力を信号処理する
のみであり、実施例１で説明したような比を求める機能
は要しない。
る演算回路２１は単に光電管２０の出力を信号処理する
のみであり、実施例１で説明したような比を求める機能
は要しない。
したがって、本例ではフィードバック回路２４のフィー
ドバック制御により、試料！１にもとずく透過励起光が
小さいときには励起光源１２の発光強度を大とし、逆に
薄いときには発光強度を小さくする等して透過励起光］
６の強度を常に一定に保っているので、光電管により検
出される蛍光２２の強度はそのまま分析出力として利用
できる。
ドバック制御により、試料！１にもとずく透過励起光が
小さいときには励起光源１２の発光強度を大とし、逆に
薄いときには発光強度を小さくする等して透過励起光］
６の強度を常に一定に保っているので、光電管により検
出される蛍光２２の強度はそのまま分析出力として利用
できる。
これにより、試料１１の厚さのバラツキに拘らず高精度
な分光蛍光分析を行なうことができる。
な分光蛍光分析を行なうことができる。
（１）試料を透過した透過励起光を検出する手段と、こ
の透過励起光によって発光される蛍光を検出する手段と
を設れ、透過励起光の強度に基づいて蛍光の検出値を補
正し得るように構成しているので、試料の厚さや組成の
バラツキに拘らずほぼ同一条件での蛍光検出値を得るこ
とができ、高精度な蛍光分析を行なうことができる。
の透過励起光によって発光される蛍光を検出する手段と
を設れ、透過励起光の強度に基づいて蛍光の検出値を補
正し得るように構成しているので、試料の厚さや組成の
バラツキに拘らずほぼ同一条件での蛍光検出値を得るこ
とができ、高精度な蛍光分析を行なうことができる。
（２）蛍光検出値と透過励起光検出値との比を求めて蛍
光の検出を行なうので、試料の厚さのバラツキによって
透過励起光の強度が変化されても。
光の検出を行なうので、試料の厚さのバラツキによって
透過励起光の強度が変化されても。
演算によって同一強度の透過励起光とほぼ同じ条件下で
の蛍光検出を行なうことができ、蛍光分析の精度を向上
できる。
の蛍光検出を行なうことができ、蛍光分析の精度を向上
できる。
（３）透過励起光が常に一定となるように励起光源をコ
ントロールしているので、試料の厚さや組成のバラツキ
に拘らず常に同一条件下での一蛍光分析を高精度に行な
うことができる。
ントロールしているので、試料の厚さや組成のバラツキ
に拘らず常に同一条件下での一蛍光分析を高精度に行な
うことができる。
（４）所謂透過法による蛍光分析であるので、Ｓ／Ｂ比
が良好であり、かつ試料の表面状態の影響が少ないので
分析の高精度化を助長する。
が良好であり、かつ試料の表面状態の影響が少ないので
分析の高精度化を助長する。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、分光器に代
えてフィルタを使用してもよく、また各部品の配置を代
えることもでき場合によってミラーを不要にできる。更
に光電管は半導体やその外のセンサを利用してもよい。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、分光器に代
えてフィルタを使用してもよく、また各部品の配置を代
えることもでき場合によってミラーを不要にできる。更
に光電管は半導体やその外のセンサを利用してもよい。
本発明は、蛍光Ｘ線分析やＶ、子蛍光分析と区別できる
分光蛍光分析技術に関するものであって、種々の態様の
分光蛍光分析技術に適用できる。
分光蛍光分析技術に関するものであって、種々の態様の
分光蛍光分析技術に適用できる。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置のモール
ドレジンの蛍光分析に適用した場合について説明したが
、それに限定されるものではなく、種々の試料の蛍光分
析に適用でき、また試料は液体、気体であってもよい。
をその背景となった利用分野である半導体装置のモール
ドレジンの蛍光分析に適用した場合について説明したが
、それに限定されるものではなく、種々の試料の蛍光分
析に適用でき、また試料は液体、気体であってもよい。
第１図は本発明の一実施例の全体構成図、′第２図は他
の実施例の全体構成図、 第３図は反射法、透過法を説明するための図、１１・・
・試料、１２・・・励起光源、１３・・分光器、１４・
・・ミラー、１５・・・スリット、１６・・・透過励起
光、１７・・・光電管、＋８・・・分光器、１９・・ミ
ラー。 ２０・・・光電管、２１・・・７ｉ１．Ｗ回路、２２・
・・蛍光。 ２３・・励起光、２４・・・フィードバック回路。 第 １ 図 第 ２ 図
の実施例の全体構成図、 第３図は反射法、透過法を説明するための図、１１・・
・試料、１２・・・励起光源、１３・・分光器、１４・
・・ミラー、１５・・・スリット、１６・・・透過励起
光、１７・・・光電管、＋８・・・分光器、１９・・ミ
ラー。 ２０・・・光電管、２１・・・７ｉ１．Ｗ回路、２２・
・・蛍光。 ２３・・励起光、２４・・・フィードバック回路。 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料に励起光を照射し、試料からの蛍光を検出して
試料の分析を行なう装置であって、前記試料を透過した
励起光を検出する手段と、透過側の蛍光を検出する手段
とを設け、前記励起検出手段と蛍光検出手段を相互に関
連させ、励起光検出値に基づいて蛍光検出値を補正し得
るよう構成したことを特徴とする分光蛍光分析装置。 ２、励起光検出手段の検出値に基づいて蛍光検出手段の
検出値を補正演算する演算回路を備えてなる特許請求の
範囲第１項記載の分光蛍光分析装置。 ３、励起光検出手段の検出値に基づいてこの値が一定に
なるように励起光源を制御するフィードバック回路を設
けてなる特許請求の範囲第１項記載の分光蛍光分析装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59259163A JPS61138146A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 分光螢光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59259163A JPS61138146A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 分光螢光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61138146A true JPS61138146A (ja) | 1986-06-25 |
Family
ID=17330220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59259163A Pending JPS61138146A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 分光螢光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61138146A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0324444A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-02-01 | Shimadzu Corp | 光化学反応装置 |
| WO1999037999A1 (en) * | 1998-01-27 | 1999-07-29 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Signal enhancement for fluorescence microscopy |
| US6687000B1 (en) | 2000-06-26 | 2004-02-03 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Photon-sorting spectroscopic microscope system |
-
1984
- 1984-12-10 JP JP59259163A patent/JPS61138146A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0324444A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-02-01 | Shimadzu Corp | 光化学反応装置 |
| WO1999037999A1 (en) * | 1998-01-27 | 1999-07-29 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Signal enhancement for fluorescence microscopy |
| GB2349033A (en) * | 1998-01-27 | 2000-10-18 | Wisconsin Alumni Res Found | Signal enhancement for fluorescence microscopy |
| US6169289B1 (en) | 1998-01-27 | 2001-01-02 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Signal enhancement for fluorescence microscopy |
| AU744136B2 (en) * | 1998-01-27 | 2002-02-14 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Signal enhancement for fluorescence microscopy |
| GB2349033B (en) * | 1998-01-27 | 2002-06-26 | Wisconsin Alumni Res Found | Signal enhancement for fluorescence microscopy |
| US6687000B1 (en) | 2000-06-26 | 2004-02-03 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Photon-sorting spectroscopic microscope system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7411685B2 (en) | Spectrometric measuring instrument | |
| US20080309930A1 (en) | Calibration for Spectroscopic Analysis | |
| CN1890555A (zh) | 利用腔环降光谱法的微量气体分析设备和方法 | |
| WO2005038436A2 (en) | System and method for cavity ring-down spectroscopy using continuously varying continuous wave excitation | |
| CN110824080A (zh) | 分光检测器 | |
| US5155545A (en) | Method and apparatus for the spectroscopic concentration measurement of components in a gas mixture | |
| KR102195132B1 (ko) | 편광자 연속 회전 광량 측정 방법 | |
| JPS61138146A (ja) | 分光螢光分析装置 | |
| WO1998052020A1 (en) | Self normalizing radiant energy monitor and apparatus for gain independent material quantity measurements | |
| US4166697A (en) | Spectrophotometer employing magneto-optic effect | |
| KR102194321B1 (ko) | 연속 측정 가능한 분광 타원계 | |
| KR100403440B1 (ko) | 분광분석장치 | |
| JPH0781840B2 (ja) | 光学式膜厚測定装置 | |
| US20050128478A1 (en) | Optical unit and measuring apparatus having the same | |
| US5528648A (en) | Method and apparatus for analyzing contaminative element concentrations | |
| JPH08122246A (ja) | 分光分析装置 | |
| Steinhaus et al. | Precision Computer Measurement of Spectra | |
| CN115427788A (zh) | 确定通过比色皿的光程长度的方法 | |
| JPH1038688A (ja) | 分光光度計 | |
| SU1619015A1 (ru) | Способ контрол толщины материала | |
| US4388389A (en) | Photo resist spectral matching technique | |
| JPH01182707A (ja) | 格子周期測定装置 | |
| JPH07218434A (ja) | 赤外線ガス分析計 | |
| JPS6051644B2 (ja) | 測深機付き分析装置 | |
| JPH04262239A (ja) | フーリエ変換赤外分光計を用いた定量分析方法 |