JPS61145476A - 光学的距離測定装置 - Google Patents
光学的距離測定装置Info
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- JPS61145476A JPS61145476A JP59266278A JP26627884A JPS61145476A JP S61145476 A JPS61145476 A JP S61145476A JP 59266278 A JP59266278 A JP 59266278A JP 26627884 A JP26627884 A JP 26627884A JP S61145476 A JPS61145476 A JP S61145476A
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- optical fiber
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- optical path
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
この発明は、例えばレーザ、LEDの光等を用いて測距
を行う光学的距離測定装置に関する。
を行う光学的距離測定装置に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
近年、レーザー光等の光を利用した測距において、光の
変調信号を基準にした所謂変調波テレメトり法による距
離測定装置が提案されている。
変調信号を基準にした所謂変調波テレメトり法による距
離測定装置が提案されている。
この変調波テレメトリ法による距離測定装置の基本原理
は、送受信光の変調信号の位相差を測定し、変調波の波
長を基準として距離を求めるものである。
は、送受信光の変調信号の位相差を測定し、変調波の波
長を基準として距離を求めるものである。
この方法による距離測定装置の基本的構成は、第3図に
示すように、変調信号源21、光源125、受光部12
9、位相差検出部33、及び表示部37を有する光波距
離計101とコーナキューブ5よりなる。この構成によ
る装置の基本的作用は、一方で、変調信号WA21より
発せられる変調信号121によって光源125から変調
光をコーナキューブ5に投光し、反射された光を受光部
129で光電変換して電気信号131として位相差検出
部33に入力し、同時に他方で、変調信号121を位相
差検出部33に入力し、これを基準としてこの2つの入
力信号の位相差を検出することにより、距離を測定する
というものである。
示すように、変調信号源21、光源125、受光部12
9、位相差検出部33、及び表示部37を有する光波距
離計101とコーナキューブ5よりなる。この構成によ
る装置の基本的作用は、一方で、変調信号WA21より
発せられる変調信号121によって光源125から変調
光をコーナキューブ5に投光し、反射された光を受光部
129で光電変換して電気信号131として位相差検出
部33に入力し、同時に他方で、変調信号121を位相
差検出部33に入力し、これを基準としてこの2つの入
力信号の位相差を検出することにより、距離を測定する
というものである。
ここで第3図の構成では、光源125から発せられる光
をチョッパービームスプリッタ123により、測定光路
159と内部参照光、路165とに分岐して、受光部1
29で受光する構成となっている。これは、光源125
として一般に使用されている半導体レーザや受光部12
9の受光素子、増幅器等は、遅れ要素を有しており、測
定光路159にこの遅れ分が含まれるので、前記位相差
にこの遅れ時間が含まれて測距精度が悪くなることが考
えられる。そこで、チョッパービームスプリッタ123
により、時間分割的に測定光路159と内部参照光路1
65とに分岐して、受光部129の出力である両者の位
相差に前記遅れ要素の遅れ時間を含ませないようにして
補償を行っているのである。
をチョッパービームスプリッタ123により、測定光路
159と内部参照光、路165とに分岐して、受光部1
29で受光する構成となっている。これは、光源125
として一般に使用されている半導体レーザや受光部12
9の受光素子、増幅器等は、遅れ要素を有しており、測
定光路159にこの遅れ分が含まれるので、前記位相差
にこの遅れ時間が含まれて測距精度が悪くなることが考
えられる。そこで、チョッパービームスプリッタ123
により、時間分割的に測定光路159と内部参照光路1
65とに分岐して、受光部129の出力である両者の位
相差に前記遅れ要素の遅れ時間を含ませないようにして
補償を行っているのである。
ところで、測定環境等の理由から装置を測定場所に設置
できない場合には、遠隔測定を行うこととなるが、この
ような場合、距離測定装置は、例えば第4図に示すよう
に、光波距離計101より投光受光光学系103を分離
して、投光用光ファイバ107及び受光用光ファイバ1
11によって接続するような構成が考えられる。しかし
ながら、この光ファイバの光路長は一定ではなく、光フ
ァイバを包むシリコン樹脂やナイロン被覆等の温度変化
が原因で、例えば光路長が百メートル程度の光ファイバ
の場合、数十度の温度変化により、数十ミリメートルの
光路長変化が生じる。このため、前記チョッパビームス
プリッタによってこの光路長変化を補償する場合には、
投光受光光学系103にチョッパビームスプリッタを置
いて、測定光路と内部参照光路とが投光用光ファイバ1
07と受光用光ファイバ111を介する光路となるよう
にして、両者の位相差を検出することにより距離を求め
、光ファイバの光路長変化を補償することとなる。
できない場合には、遠隔測定を行うこととなるが、この
ような場合、距離測定装置は、例えば第4図に示すよう
に、光波距離計101より投光受光光学系103を分離
して、投光用光ファイバ107及び受光用光ファイバ1
11によって接続するような構成が考えられる。しかし
ながら、この光ファイバの光路長は一定ではなく、光フ
ァイバを包むシリコン樹脂やナイロン被覆等の温度変化
が原因で、例えば光路長が百メートル程度の光ファイバ
の場合、数十度の温度変化により、数十ミリメートルの
光路長変化が生じる。このため、前記チョッパビームス
プリッタによってこの光路長変化を補償する場合には、
投光受光光学系103にチョッパビームスプリッタを置
いて、測定光路と内部参照光路とが投光用光ファイバ1
07と受光用光ファイバ111を介する光路となるよう
にして、両者の位相差を検出することにより距離を求め
、光ファイバの光路長変化を補償することとなる。
ところが、このチョッパービームスプリッタは機械的機
構で且つ電源等の電気的エネルギーを有しているため、
装置としては比較的規模の大きい乙のとなり、被測定場
所の物理的制約等によりチョッパービームスプリッタを
設置できない場合が生じる。また、特に被測定場所の環
境が電気的エネルギーを好まない場合、例えば爆発性の
ガス雰囲気中等の場合には、投光受光光学系103にチ
ョッパービームスプリッタを設置できない。このため、
光ファイバの光路長変化を補償することができず、結果
として、高精度な測定ができないという問題があった。
構で且つ電源等の電気的エネルギーを有しているため、
装置としては比較的規模の大きい乙のとなり、被測定場
所の物理的制約等によりチョッパービームスプリッタを
設置できない場合が生じる。また、特に被測定場所の環
境が電気的エネルギーを好まない場合、例えば爆発性の
ガス雰囲気中等の場合には、投光受光光学系103にチ
ョッパービームスプリッタを設置できない。このため、
光ファイバの光路長変化を補償することができず、結果
として、高精度な測定ができないという問題があった。
[発明の目的コ
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的と
しては、Vl置の遅れ要素の遅れ時間や光路長の変化を
適確に補償することができ、更に該補償を被測距場所の
環境に関係なくすることのできる光学的距離測定装置を
提供することにある。
しては、Vl置の遅れ要素の遅れ時間や光路長の変化を
適確に補償することができ、更に該補償を被測距場所の
環境に関係なくすることのできる光学的距離測定装置を
提供することにある。
[発明の概要]
この発明は、上記目的を達成するため、光出力から反射
体による反射光の受光までの伝播遅延時間に基づき、当
該反射体までの距離を測定する装置において、時間分割
して光を出力する発光部と、発光部より時間分割して出
力された光の夫々に対して被測定系を介し不伝播する測
定光路と被測定系を介さずに伝播する内部参照光路とに
分岐する分岐手段と、前記測定光路及び内部参照光路を
介した光を交互に受けて所定の信号を出力する第1及び
第2の受光部と、測定光路を介して第1の受光手段にて
受光した光と内部参照光路を介して第2の受光手段にて
受光した光との伝播遅延時間差、及び測定光路を介して
第2の受光手段にて受光した光と内部参照光路を介して
第1の受光手段にて受光した光との伝播遅延時間差を交
互に算−出する時間差算出手段と、該時間差算出手段で
交互に算出された伝播遅延時間差の夫々の差を演算して
伝播遅延時間を求める演算手段とを有すること、更に、
前記分岐手段が、非電気的且つ非機械的要素から成るこ
とを要旨とする。
体による反射光の受光までの伝播遅延時間に基づき、当
該反射体までの距離を測定する装置において、時間分割
して光を出力する発光部と、発光部より時間分割して出
力された光の夫々に対して被測定系を介し不伝播する測
定光路と被測定系を介さずに伝播する内部参照光路とに
分岐する分岐手段と、前記測定光路及び内部参照光路を
介した光を交互に受けて所定の信号を出力する第1及び
第2の受光部と、測定光路を介して第1の受光手段にて
受光した光と内部参照光路を介して第2の受光手段にて
受光した光との伝播遅延時間差、及び測定光路を介して
第2の受光手段にて受光した光と内部参照光路を介して
第1の受光手段にて受光した光との伝播遅延時間差を交
互に算−出する時間差算出手段と、該時間差算出手段で
交互に算出された伝播遅延時間差の夫々の差を演算して
伝播遅延時間を求める演算手段とを有すること、更に、
前記分岐手段が、非電気的且つ非機械的要素から成るこ
とを要旨とする。
[発明の実施例j
以下、図面を用いてこの発明の詳細な説明する。
第1図はこの発明の一実論例に係る光学的距離測定装置
の構成図である。同図における構成は遠隔測定を想定し
ており、その概要は、光波距離計1とこの光波距離計1
に対し遠隔に設置される投光受光光学系3とを、光ファ
イバ(1)7、光ファイバ(2)9、光ファイバ(3)
11、光ファイバ(4)13によって接続し、被測定系
には、投光受光光学系3から投光された光を反射して返
すコーナキューブ5を有する構成となっている。
の構成図である。同図における構成は遠隔測定を想定し
ており、その概要は、光波距離計1とこの光波距離計1
に対し遠隔に設置される投光受光光学系3とを、光ファ
イバ(1)7、光ファイバ(2)9、光ファイバ(3)
11、光ファイバ(4)13によって接続し、被測定系
には、投光受光光学系3から投光された光を反射して返
すコーナキューブ5を有する構成となっている。
光波距離計1は、発光系として、変調信号をスイッチ2
3を介して発光部(1)25及び発光部(2>27に、
又位相差検出部33に、夫々出力する変調信号源21と
、前記変調信号を入力して変調光を光ファイバく1)7
に出力する発光部(1)25と、前記変調信号を入力し
て変調光を光ファイバ(2)9に出力する発光部(2)
27とを有する。また、受光系として、光ファイバ(3
)11にて伝送された変調光を入力して、電気信号に変
換して出力する受光部(1)29と、光ファイバ(4)
13にて伝送された変調光を入力して、電気信号に変換
して出ノjする受光部(2)31とを有する。更に、処
理系として、前記2つの受光部29.31からの電気信
号の位相差を前記変調信号を基準として検出して記憶演
算処理部35に出力する位相差検出部33と、この検出
結果を一時記憶し、演算処理を行い結束を表示部37に
出力する記憶演算処理部35と、この処理結果を測定結
果として表示する表示部37とを有する。
3を介して発光部(1)25及び発光部(2>27に、
又位相差検出部33に、夫々出力する変調信号源21と
、前記変調信号を入力して変調光を光ファイバく1)7
に出力する発光部(1)25と、前記変調信号を入力し
て変調光を光ファイバ(2)9に出力する発光部(2)
27とを有する。また、受光系として、光ファイバ(3
)11にて伝送された変調光を入力して、電気信号に変
換して出力する受光部(1)29と、光ファイバ(4)
13にて伝送された変調光を入力して、電気信号に変換
して出ノjする受光部(2)31とを有する。更に、処
理系として、前記2つの受光部29.31からの電気信
号の位相差を前記変調信号を基準として検出して記憶演
算処理部35に出力する位相差検出部33と、この検出
結果を一時記憶し、演算処理を行い結束を表示部37に
出力する記憶演算処理部35と、この処理結果を測定結
果として表示する表示部37とを有する。
投光受光光学系3は、光伝送系統における方向性結合器
としての4個のカブラ(41乃至47)と、光を反射さ
ぜる1個のミラー49と、光を伝送する10本の光フア
イバ51乃至69により構成され、何ら電気的なものは
有していないので、その被測定場所の環境に関係なく設
置できる。
としての4個のカブラ(41乃至47)と、光を反射さ
ぜる1個のミラー49と、光を伝送する10本の光フア
イバ51乃至69により構成され、何ら電気的なものは
有していないので、その被測定場所の環境に関係なく設
置できる。
ここで、前記4個のカブラの機能を説明する。
カブラ(1)41(2X2の方向性結合器)は、光ファ
イバ(1)7及び光ファイバ(5)51を介して入力し
た発光部(1)25からの光を光ファイバ(11)63
及び光ファイバ(12> 65に出力し、他方、光ファ
イバ(11)63を介して入力した光を光ファイバ(9
)59に出力する。
イバ(1)7及び光ファイバ(5)51を介して入力し
た発光部(1)25からの光を光ファイバ(11)63
及び光ファイバ(12> 65に出力し、他方、光ファ
イバ(11)63を介して入力した光を光ファイバ(9
)59に出力する。
カブラ(2)43 (2X2の方向性結合器)は、光フ
ァイバ(2)9及び光ファイバ(6)53を介して入力
した発光部(2>27からの光を光ファイバ(13)6
7及び光ファイバ(14)69に出力し、他方、光ファ
イバ(13)67を介して入力した光を光ファイバ(1
0)61に出力する。カブラ(3)45 (2X1の方
向性結合器)は、光ファイバ(10)61を介して入力
した光並びに光ファイバ(14)69を介して入力した
光を光ファイバ(7)55に出力し、光ファイバ(3)
11を介して受光部(1)29に伝送する。
ァイバ(2)9及び光ファイバ(6)53を介して入力
した発光部(2>27からの光を光ファイバ(13)6
7及び光ファイバ(14)69に出力し、他方、光ファ
イバ(13)67を介して入力した光を光ファイバ(1
0)61に出力する。カブラ(3)45 (2X1の方
向性結合器)は、光ファイバ(10)61を介して入力
した光並びに光ファイバ(14)69を介して入力した
光を光ファイバ(7)55に出力し、光ファイバ(3)
11を介して受光部(1)29に伝送する。
カップ(4)47(2X1の方向性結合器)は、光ファ
イバ(9)59を介して伝送した光並びに光ファイバ(
12)65を介して伝送した光を光ファイバ(8)57
に出力し、光ファイバ(4)13を介して受光部(2)
31に伝送する。
イバ(9)59を介して伝送した光並びに光ファイバ(
12)65を介して伝送した光を光ファイバ(8)57
に出力し、光ファイバ(4)13を介して受光部(2)
31に伝送する。
次に、本実施例の作用を説明する。
この距離測定装置では、スイッチ23の切換えにより変
調信号が発光部(1)25又は発光部(2)27に与え
られ、各発光部から時間分割して変調光が出力されてい
る。
調信号が発光部(1)25又は発光部(2)27に与え
られ、各発光部から時間分割して変調光が出力されてい
る。
まず、発光部(1)25から出力される変調光は、光フ
ァイバ(1)7及び光ファイバ(5)51を介して伝送
され、カブラ(1)41に至る。
ァイバ(1)7及び光ファイバ(5)51を介して伝送
され、カブラ(1)41に至る。
この変調光はカブラ(1)41により分岐されて受光部
(1)29及び受光部(2)31に至る。
(1)29及び受光部(2)31に至る。
即ち、光ファイバ(11)63→ミラー49による反射
→コーナキューブ5による反射→ミラー49による反射
→光ファイバ(13)67→カプラ(2)43→光フア
イバ(10)61→カブラ(3)45→光フアイバ(7
)55→光ファイバ(3)11→受光部(1)29とい
う測定光路と、光ファイバ(12)65→カブラ(4ン
47→光フアイバ(8)57→光フ?イバ(4)13→
受光部(2)31という内部参照光路とに分岐されるの
である。
→コーナキューブ5による反射→ミラー49による反射
→光ファイバ(13)67→カプラ(2)43→光フア
イバ(10)61→カブラ(3)45→光フアイバ(7
)55→光ファイバ(3)11→受光部(1)29とい
う測定光路と、光ファイバ(12)65→カブラ(4ン
47→光フアイバ(8)57→光フ?イバ(4)13→
受光部(2)31という内部参照光路とに分岐されるの
である。
他方、発光部(2>27から出力される変調光は、光)
?イバ(2)9及び光ファイバ(6)53を介して伝送
され、カブラ(2>43に至る。
?イバ(2)9及び光ファイバ(6)53を介して伝送
され、カブラ(2>43に至る。
この変調光はカプラ(2)43により分岐されて受光部
(1)29及び受光部(2)31に至る。
(1)29及び受光部(2)31に至る。
即ち、光ファイバ(13)67→ミラー49による反射
→コーナキューブ5による反射→ミラー49による反射
→光ファイバ(11)63→カブラ(1)41→光フア
イバ(9)59→カプラ(4)47→光フアイバ(8)
57→光フアイバ(4)13→受光部(2)31という
測定光路と、光ファイバ(14)69→カブラ(3)4
5→光フアイバ(7)55→光フアイバ(3)11→受
光部(1)29という内部参照光路とに分岐されるので
ある。
→コーナキューブ5による反射→ミラー49による反射
→光ファイバ(11)63→カブラ(1)41→光フア
イバ(9)59→カプラ(4)47→光フアイバ(8)
57→光フアイバ(4)13→受光部(2)31という
測定光路と、光ファイバ(14)69→カブラ(3)4
5→光フアイバ(7)55→光フアイバ(3)11→受
光部(1)29という内部参照光路とに分岐されるので
ある。
次に、光波距離計1の処理系の作用を説明する。
まず、スイッチ23がa側接点にある時には、受光部(
1)29からは測定光路を経た発光部<1)25より発
せられた変調光が光電変換されて出力され、受光部(2
)31からは内部参照光路を経た発光部(1)25より
発せられた変調光が光電変換されて出力される。位相差
検出部33は、これら2つの電気信号の位相差を変調信
号源21より出力される変調信号を基準として検出し記
憶演算処理部35へ出力する。記憶演算処理部35はこ
れを一時記憶する。次に、時間分割してスイッチ23が
b側接点に切換えられた時には、受光部(1)29から
は内部参照光路を経た発光部(2>27より発せられた
変調光が光電変換されで出力され、受光部(2)31か
らは測定光路を経た発光部(2>27より発せられた変
調光が光電変換されて出力される。同様に、位相差検出
部33は、これら2つの電気信号の位相差を検出し、記
憶演算処理部35へ出力する。記憶演算処理部35はこ
れを一時記憶し、この位相差と前に一時記憶した位相差
との減算を行い、この結果を後述する所定の補正を行っ
て表示部37に出力する。表示部37はこの値を測定結
果として表示する。
1)29からは測定光路を経た発光部<1)25より発
せられた変調光が光電変換されて出力され、受光部(2
)31からは内部参照光路を経た発光部(1)25より
発せられた変調光が光電変換されて出力される。位相差
検出部33は、これら2つの電気信号の位相差を変調信
号源21より出力される変調信号を基準として検出し記
憶演算処理部35へ出力する。記憶演算処理部35はこ
れを一時記憶する。次に、時間分割してスイッチ23が
b側接点に切換えられた時には、受光部(1)29から
は内部参照光路を経た発光部(2>27より発せられた
変調光が光電変換されで出力され、受光部(2)31か
らは測定光路を経た発光部(2>27より発せられた変
調光が光電変換されて出力される。同様に、位相差検出
部33は、これら2つの電気信号の位相差を検出し、記
憶演算処理部35へ出力する。記憶演算処理部35はこ
れを一時記憶し、この位相差と前に一時記憶した位相差
との減算を行い、この結果を後述する所定の補正を行っ
て表示部37に出力する。表示部37はこの値を測定結
果として表示する。
次に、第2図を用いて、前述の一連の処理を定量的に説
明する。
明する。
第2図は第1図の作用原理を説明するための図である。
ここで、発光部の遅れ要素による遅延時間を△φs+(
+=+、z)受光部の遅れ要素による遅延時間をΔφP
i(i=+、2)光ファイバ(1)7乃至(4)13の
遅延時間を△Tj (j=I〜4)、被測定系の片道
の遅延時間を△TXとしている。即ち、以下の如くであ
る。
+=+、z)受光部の遅れ要素による遅延時間をΔφP
i(i=+、2)光ファイバ(1)7乃至(4)13の
遅延時間を△Tj (j=I〜4)、被測定系の片道
の遅延時間を△TXとしている。即ち、以下の如くであ
る。
発光部(1)25の遅延時間・・・Δφ6Iφ光部(2
)27の遅延時間・・・△φs2φ光部(1)29の遅
延時間・・・Δφ唱受光部(2>31の遅延時間・・・
Δφ龍先光ファイバ1)7の遅延時間・・・△T1光フ
ァイバ(2)9の遅延時間・・・ΔT2T2光フアイバ
)11の遅延時間・・・へT3光ファイバ(4)13の
遅延時間・・・Δ丁4被測定系の遅延時間(片道)・・
・△TX尚、投光受光光学系3内の光ファイバ(5)5
1乃至(14)69については、光路長が光ファイバ(
1)7乃至(4)13のものと比べて非常に短く、光路
長の変化は無視できるため、この光路長を予め測定して
おき定数として取扱い、最終的な測定結果を補正すれば
よく、ここでは考慮しないものとする。
)27の遅延時間・・・△φs2φ光部(1)29の遅
延時間・・・Δφ唱受光部(2>31の遅延時間・・・
Δφ龍先光ファイバ1)7の遅延時間・・・△T1光フ
ァイバ(2)9の遅延時間・・・ΔT2T2光フアイバ
)11の遅延時間・・・へT3光ファイバ(4)13の
遅延時間・・・Δ丁4被測定系の遅延時間(片道)・・
・△TX尚、投光受光光学系3内の光ファイバ(5)5
1乃至(14)69については、光路長が光ファイバ(
1)7乃至(4)13のものと比べて非常に短く、光路
長の変化は無視できるため、この光路長を予め測定して
おき定数として取扱い、最終的な測定結果を補正すれば
よく、ここでは考慮しないものとする。
さて発光部(1)25が変調光を出力した時の受光部(
1)29の出力信号V l5−1の全遅延時間△T 1
.−1は、第2図(1)で示ず如く、次式のようになる
。
1)29の出力信号V l5−1の全遅延時間△T 1
.−1は、第2図(1)で示ず如く、次式のようになる
。
Δ1’+、+ =△φs1 +△T1十△T3 士△φ
IF1ヤ2△T× ・・・■その時の
受光部(2>31の出力信号v2呵の全遅延時間△T2
4−1 は、次式のようになる。
IF1ヤ2△T× ・・・■その時の
受光部(2>31の出力信号v2呵の全遅延時間△T2
4−1 は、次式のようになる。
△T2.+=△φg++△T1+八T4+Δφれ・・・
■ ■、■式より、両者の遅延時間差φVl−Vlは次式で
求められる。
■ ■、■式より、両者の遅延時間差φVl−Vlは次式で
求められる。
φ易v、=ΔT3十△φ9+−ΔT4−△φ彎1+2△
TX =△L十2△Tx ・・・■ここで、
ΔL−△T3+Δφ10−△T4−Δφ究1同様に、発
光部(2)27が変調光を出力した時の受光部(1)2
9の出力信号V14−2の全避延時間へT+、−2、受
光部(2>31の出力信号V2←2の全遅延時門へr
24−2は、第2図(2)で示す如く、次式のようにな
る。
TX =△L十2△Tx ・・・■ここで、
ΔL−△T3+Δφ10−△T4−Δφ究1同様に、発
光部(2)27が変調光を出力した時の受光部(1)2
9の出力信号V14−2の全避延時間へT+、−2、受
光部(2>31の出力信号V2←2の全遅延時門へr
24−2は、第2図(2)で示す如く、次式のようにな
る。
ΔT1.2−Δφs2+ΔT2+Δr3+Δφg−・・
・■ △T2.2−Δφ話+ΔT2+△T4+Δφ9L+2Δ
7x ・・・■■、0式より、両者
の遅延時間差φV+ −Vlは次式で求められる。
・■ △T2.2−Δφ話+ΔT2+△T4+Δφ9L+2Δ
7x ・・・■■、0式より、両者
の遅延時間差φV+ −Vlは次式で求められる。
φV、−Vb−ΔT3+Δφl11−ΔT4−ΔφW1
−2ΔTx −へL−2ΔTx ・・・■ ここで
求めたφV+ −Vh及びφ% −Vlは前記位相差検
出部33の出力であり、各々の値は前記記憶演算処理部
35に一時記憶され、次の演算が行われる。即ち次式に
示される減算である。
−2ΔTx −へL−2ΔTx ・・・■ ここで
求めたφV+ −Vh及びφ% −Vlは前記位相差検
出部33の出力であり、各々の値は前記記憶演算処理部
35に一時記憶され、次の演算が行われる。即ち次式に
示される減算である。
(す
φV+−Vm−φV+−Vh−4Δ7 x
−=■更に、これに刻して前記補正及び所定の
演算処理を行って、測定結果として表示部37にて表示
する。
−=■更に、これに刻して前記補正及び所定の
演算処理を行って、測定結果として表示部37にて表示
する。
したがって、この装置の測距によれば、発光部、受光部
、及び光ファイバの遅延時間が測定結果に表われず、発
光部、受光部の遅れ要素、及び光ファイバの光路長の温
度変化を補償することができる。
、及び光ファイバの遅延時間が測定結果に表われず、発
光部、受光部の遅れ要素、及び光ファイバの光路長の温
度変化を補償することができる。
[発明の効果コ
以上説明したように、この発明によれば、光学的距離測
定装置において、発光手段から時間分割して光を出力し
、該光を分岐手段により夫々測定光路と内部参照光路に
分岐し、測定光路を介して第1の受光手段にて受光した
光と内部参照光路を介して第2の受光手段にて受光した
光との伝播遅延時間差、及び測定光路を介して第2の受
光手段にて受光した光と内部参照光路を介して第1の受
光手段にて受光した光との伝播遅延時間差を夫々算出し
、更に夫々の差を演算してこの差により測定距離を求め
ることとしたので、装置の遅れ要素や光路長の変化を補
償することができ、また更に前記分光手段に時間分割制
御の機能を持たせることなく、即ち機械的機構及び電気
的エネルギーを有することなく、また、これにより装置
として比較的小規模で実現可能としたので、被測距場所
の環境に関係なく補償することができ、結果として、高
精度な測距が可能となる。
定装置において、発光手段から時間分割して光を出力し
、該光を分岐手段により夫々測定光路と内部参照光路に
分岐し、測定光路を介して第1の受光手段にて受光した
光と内部参照光路を介して第2の受光手段にて受光した
光との伝播遅延時間差、及び測定光路を介して第2の受
光手段にて受光した光と内部参照光路を介して第1の受
光手段にて受光した光との伝播遅延時間差を夫々算出し
、更に夫々の差を演算してこの差により測定距離を求め
ることとしたので、装置の遅れ要素や光路長の変化を補
償することができ、また更に前記分光手段に時間分割制
御の機能を持たせることなく、即ち機械的機構及び電気
的エネルギーを有することなく、また、これにより装置
として比較的小規模で実現可能としたので、被測距場所
の環境に関係なく補償することができ、結果として、高
精度な測距が可能となる。
第1図はこの発明の一実施例に係る光学的距離測定装置
の構成図、第2図は第1図の作用原理を説明するための
図、第3図は従来の光学釣用1111を測定装置の構成
図、第4図は遠隔測定を行う場合の光学的距離測定装置
のブロック図の一例を示す。 21・・・変調信号源 23・・・スイッチ25・・
・発光部(1) 27・・・発光部(2)29・・・
受光部(1) 31・・・受光部(2)33・・・位
相差検出部 35・・・記憶演算処理部37・・・表示
部 41・・・カブラ(1)43・・・カプラ(
2)
の構成図、第2図は第1図の作用原理を説明するための
図、第3図は従来の光学釣用1111を測定装置の構成
図、第4図は遠隔測定を行う場合の光学的距離測定装置
のブロック図の一例を示す。 21・・・変調信号源 23・・・スイッチ25・・
・発光部(1) 27・・・発光部(2)29・・・
受光部(1) 31・・・受光部(2)33・・・位
相差検出部 35・・・記憶演算処理部37・・・表示
部 41・・・カブラ(1)43・・・カプラ(
2)
Claims (2)
- (1)光出力から反射体による反射光の受光までの伝搬
遅延時間に基づき、当該反射体までの距離を測定する装
置において、時間分割して光を出力する発光部と、発光
部より時間分割して出力された光の夫々に対して被測定
系を介して伝播する測定光路と被測定系を介さずに伝播
する内部参照光路とに分岐する分岐手段と、前記測定光
路及び内部参照光路を介した光を交互に受けて所定の信
号を出力する第1及び第2の受光部と、測定光路を介し
て第1の受光手段にて受光した光と内部参照光路を介し
て第2の受光手段にて受光した光との伝播遅延時間差、
及び測定光路を介して第2の受光手段にて受光した光と
内部参照光路を介して第1の受光手段にて受光した光と
の伝播遅延時間差を交互に算出する時間差算出手段と、
該時間差算出手段で交互に算出された伝播遅延時間差の
夫々の差を演算して伝播遅延時間を求める演算手段とを
有することを特徴とする光学的距離測定装置。 - (2)前記分岐手段が、非電気的且つ機械的要素から成
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の光学
的距離測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59266278A JPS61145476A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 光学的距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59266278A JPS61145476A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 光学的距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61145476A true JPS61145476A (ja) | 1986-07-03 |
| JPH0550710B2 JPH0550710B2 (ja) | 1993-07-29 |
Family
ID=17428736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59266278A Granted JPS61145476A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 光学的距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61145476A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0325182U (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-14 | ||
| EP0603826A1 (en) * | 1992-12-21 | 1994-06-29 | Kabushiki Kaisha Topcon | Optical distance meter |
| WO2007020856A1 (ja) * | 2005-08-17 | 2007-02-22 | Hitachi, Ltd. | 変位計測方法及びその装置、ステージ装置並びにプローブ顕微鏡 |
| JP2007127541A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Sokkia Co Ltd | 光波距離計 |
| WO2013084616A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 株式会社日立製作所 | 距離計測方法および装置とそれを搭載した形状計測装置 |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP59266278A patent/JPS61145476A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0325182U (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-14 | ||
| EP0603826A1 (en) * | 1992-12-21 | 1994-06-29 | Kabushiki Kaisha Topcon | Optical distance meter |
| WO2007020856A1 (ja) * | 2005-08-17 | 2007-02-22 | Hitachi, Ltd. | 変位計測方法及びその装置、ステージ装置並びにプローブ顕微鏡 |
| JP2007051900A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Hitachi Ltd | 変位計測方法及びその装置、ステージ装置並びにプローブ顕微鏡 |
| US20090210971A1 (en) * | 2005-08-17 | 2009-08-20 | Toshihiko Nakata | Displacement Measurement Method and Apparatus Thereof, Stage Apparatus, and Probe Microscope |
| US8284406B2 (en) | 2005-08-17 | 2012-10-09 | Hitachi, Ltd. | Displacement measurement method and apparatus thereof, stage apparatus, and probe microscope |
| US20120327429A1 (en) * | 2005-08-17 | 2012-12-27 | Toshihiko Nakata | Displacement Measurement Method and Apparatus Thereof, Stage Apparatus, and Probe Microscope |
| US8629985B2 (en) | 2005-08-17 | 2014-01-14 | Hitachi, Ltd. | Displacement measurement method and apparatus thereof, stage apparatus, and probe microscope |
| JP2007127541A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Sokkia Co Ltd | 光波距離計 |
| WO2013084616A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 株式会社日立製作所 | 距離計測方法および装置とそれを搭載した形状計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0550710B2 (ja) | 1993-07-29 |
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