JPS61145937U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61145937U JPS61145937U JP2878785U JP2878785U JPS61145937U JP S61145937 U JPS61145937 U JP S61145937U JP 2878785 U JP2878785 U JP 2878785U JP 2878785 U JP2878785 U JP 2878785U JP S61145937 U JPS61145937 U JP S61145937U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- copy
- seal member
- master
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案に係る露光装置の一実施例を示
す断面図、第２図はコピーホルダーの平面図、第
３図は基板サイズを変更した場合の断面図、第４
図は本考案の他の実施例を示すコピーホルダーの
要部断面図、第５図は従来装置の一例を示す断面
図、第６図は第５図底面図、第７図は基板サイズ
を変更した場合の断面図である。 １……マスターホルダー、２……上側本体、４
……マスター基板、５……第１真空室、７……コ
ピーホルダー、８……下側本体、１０……コピー
基板、１１……第２真空室、１３……Ｏリング（
シール部材）、１５……第３真空室、２１，２２
，２３……シール部材嵌合用溝、２４ａ〜２４ｍ
……排気孔、２５ａ〜２５ｃ……排気孔。
す断面図、第２図はコピーホルダーの平面図、第
３図は基板サイズを変更した場合の断面図、第４
図は本考案の他の実施例を示すコピーホルダーの
要部断面図、第５図は従来装置の一例を示す断面
図、第６図は第５図底面図、第７図は基板サイズ
を変更した場合の断面図である。 １……マスターホルダー、２……上側本体、４
……マスター基板、５……第１真空室、７……コ
ピーホルダー、８……下側本体、１０……コピー
基板、１１……第２真空室、１３……Ｏリング（
シール部材）、１５……第３真空室、２１，２２
，２３……シール部材嵌合用溝、２４ａ〜２４ｍ
……排気孔、２５ａ〜２５ｃ……排気孔。
Claims (1)
- マスター基板が吸着されるマスターホルダーと
近接もしくは接触しコピー基板が吸着されるコピ
ーホルダーの表面に基板サイズに対応して複数個
のシール部材嵌合用溝を形成し、これら嵌合用溝
のうち前記基板サイジに対応する溝にシール部材
を配設して前記マスターホルダーと該コピーホル
ダーとの間をシールし、また前記コピーホルダー
に該ホルダーをそれぞれ貫通しかつ隣接する前記
シール部材嵌合用溝間に位置するかもしくは各溝
に連通する複数の排気孔を形成し、前記マスター
ホルダーと前記コピーホルダーと前記シール部材
とで囲まれた空間を排気するようにしたことを特
徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2878785U JPS61145937U (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2878785U JPS61145937U (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61145937U true JPS61145937U (ja) | 1986-09-09 |
Family
ID=30526994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2878785U Pending JPS61145937U (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61145937U (ja) |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP2878785U patent/JPS61145937U/ja active Pending
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