JPS63156041U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63156041U JPS63156041U JP4883887U JP4883887U JPS63156041U JP S63156041 U JPS63156041 U JP S63156041U JP 4883887 U JP4883887 U JP 4883887U JP 4883887 U JP4883887 U JP 4883887U JP S63156041 U JPS63156041 U JP S63156041U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- receiving plate
- pressure receiving
- substrate
- electrode
- convex portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す圧力センサの
断面図である。第２図ａ，ｂ，ｃは同センサの作
動を示す断面図である。第３図は従来例を示す圧
力センサの断面図である。 １……基板、２……受圧プレート、３……基板
電極、４……プレート電極、５……真空層、６…
…凸部、７……接触部。
断面図である。第２図ａ，ｂ，ｃは同センサの作
動を示す断面図である。第３図は従来例を示す圧
力センサの断面図である。 １……基板、２……受圧プレート、３……基板
電極、４……プレート電極、５……真空層、６…
…凸部、７……接触部。
Claims (1)
- 上面に電極を有する基板と、下面に電極を有す
る受圧プレートとを真空層を挾んで対峙させると
ともに、前記基板又は前記受圧プレートに、この
受圧プレートのたわみを規制する凸部を設けてな
ることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4883887U JPS63156041U (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4883887U JPS63156041U (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63156041U true JPS63156041U (ja) | 1988-10-13 |
Family
ID=30870744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4883887U Pending JPS63156041U (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63156041U (ja) |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP4883887U patent/JPS63156041U/ja active Pending