JPS61152575A - 写真原板収納容器 - Google Patents
写真原板収納容器Info
- Publication number
- JPS61152575A JPS61152575A JP59265269A JP26526984A JPS61152575A JP S61152575 A JPS61152575 A JP S61152575A JP 59265269 A JP59265269 A JP 59265269A JP 26526984 A JP26526984 A JP 26526984A JP S61152575 A JPS61152575 A JP S61152575A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- original
- storage container
- container
- original plate
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する分野］
本発明は、半導体露光装置において用いられるマスクや
レチクル等の写真原板を収納するための容器に関し、特
に、容器の一部または全部を透明にして容器外部から容
器内の写真原板の原板番号や識別マーク等の原板情報を
確認可能とした写真原板収納容器に関する。
レチクル等の写真原板を収納するための容器に関し、特
に、容器の一部または全部を透明にして容器外部から容
器内の写真原板の原板番号や識別マーク等の原板情報を
確認可能とした写真原板収納容器に関する。
［従来技術の説明］
ＩＣ，ＬＳ １．ＶＬＳ ＩＪ（７）半Ｌ（［１（７）
Ｉｎに用いられる写真原板（マスクまたはレチクル）に
は、一般に、その写真原板を識別するための原板番号や
識別マーク等の原板情報が付されている。
Ｉｎに用いられる写真原板（マスクまたはレチクル）に
は、一般に、その写真原板を識別するための原板番号や
識別マーク等の原板情報が付されている。
このような写真原板（以下、原板という）は、その上に
形成されているパターンが微細であり、僅かのゴミでも
付着すれば、その原板を用いて製造した半導体装置の性
能に重大な影響を及ぼすため、不使用時すなわち運搬お
よび保管等の際、容器に収納するのが通常である。
形成されているパターンが微細であり、僅かのゴミでも
付着すれば、その原板を用いて製造した半導体装置の性
能に重大な影響を及ぼすため、不使用時すなわち運搬お
よび保管等の際、容器に収納するのが通常である。
ところで、従来の写真原板収納容器は、不透明な材質で
形成されていたため、容器内に収納した原板を識別する
ためには収納容器の蓋を取るか、原板を容器から取出し
て原板に付された原板番号や識別マーク等の原板情報を
確認する必要があった。すなわち、従来は原板の識別に
手間が掛るとともに、確認時原板を外気にさらすためゴ
ミが付着する機会が増えるという不都合があった。そこ
で、このような場合の対策として、保管棚や容器に保管
すべき原板の番号や識別マークを付したラベルを貼付す
ることも行なわれているが、このようなラベルは汚れた
り、はがれたりすることも多く、また棚や容器を誤って
原板を収納した場合は、見付かるまで多数の容器内の原
板を確認しなければならず、やはり、手間が掛るととも
にこの際原板にゴミ付着の機会が発生する可能性があっ
た。
形成されていたため、容器内に収納した原板を識別する
ためには収納容器の蓋を取るか、原板を容器から取出し
て原板に付された原板番号や識別マーク等の原板情報を
確認する必要があった。すなわち、従来は原板の識別に
手間が掛るとともに、確認時原板を外気にさらすためゴ
ミが付着する機会が増えるという不都合があった。そこ
で、このような場合の対策として、保管棚や容器に保管
すべき原板の番号や識別マークを付したラベルを貼付す
ることも行なわれているが、このようなラベルは汚れた
り、はがれたりすることも多く、また棚や容器を誤って
原板を収納した場合は、見付かるまで多数の容器内の原
板を確認しなければならず、やはり、手間が掛るととも
にこの際原板にゴミ付着の機会が発生する可能性があっ
た。
［発明の目的］
本発明は写真原板例えばマスクが収納容器内にあっても
マスクの情報が確認でき、また、ゴミがマスクに付着す
る機会を極力小さくし、さらにマスクチェンジャーに誤
ったマスクを装着することを未然に防ぐようにしたマス
ク収納容器を提供することを目的とする。
マスクの情報が確認でき、また、ゴミがマスクに付着す
る機会を極力小さくし、さらにマスクチェンジャーに誤
ったマスクを装着することを未然に防ぐようにしたマス
ク収納容器を提供することを目的とする。
［発明の構成および作用１
本発明を図面により説明すると、収納容器１を樹脂やガ
ラス等透明な材料で形成し、中に原板番号または識別マ
ーク３等の原板情報を有する写真原板２を収納する。
ラス等透明な材料で形成し、中に原板番号または識別マ
ーク３等の原板情報を有する写真原板２を収納する。
従って写真原板２は収納容器１に収納した場合であって
も原板情報３を容器１外から透視して確認することがで
きる。
も原板情報３を容器１外から透視して確認することがで
きる。
なお、本発明の収納容器は、全部を透明にすることは必
ずしも必要ではなく、容器外から写真原板の原板番号も
しくは識別マークを確認できるように一部のみを透明に
すれば足りるものである。
ずしも必要ではなく、容器外から写真原板の原板番号も
しくは識別マークを確認できるように一部のみを透明に
すれば足りるものである。
例えば原板情報３の真上に窓を開け、この窓をガラスま
たは透明プラスチックで塞ぐようにすればよい。
たは透明プラスチックで塞ぐようにすればよい。
［発明の効果］
以上のように本発明においては、写真原板例えばマスク
の収納容器に透明な透視窓を設けるがまたは収納容器全
体を透視可能な材質で作るようにしたため、マスクの確
認作業が簡便となり、マスクにゴミが付着する機会を極
力少なくし、かつ誤ったマスクをマスクチェンジャーに
装置することを未然に防ぐ効果がある。
の収納容器に透明な透視窓を設けるがまたは収納容器全
体を透視可能な材質で作るようにしたため、マスクの確
認作業が簡便となり、マスクにゴミが付着する機会を極
力少なくし、かつ誤ったマスクをマスクチェンジャーに
装置することを未然に防ぐ効果がある。
第１図は本発明の一実施例に係る原板収納容器に写真原
板を収納した状態を示す斜視図である。 １；収納容器、２：写真原板、 ３：原板情報マーク。
板を収納した状態を示す斜視図である。 １；収納容器、２：写真原板、 ３：原板情報マーク。
Claims (1)
- 原板情報を付された写真原板の収納容器であって、該容
器の一部または全部を透明な材質で形成し、上記原板情
報を収納容器外から透視して確認することができるよう
にしたことを特徴とする写真原板収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59265269A JPS61152575A (ja) | 1984-12-18 | 1984-12-18 | 写真原板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59265269A JPS61152575A (ja) | 1984-12-18 | 1984-12-18 | 写真原板収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61152575A true JPS61152575A (ja) | 1986-07-11 |
Family
ID=17414879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59265269A Pending JPS61152575A (ja) | 1984-12-18 | 1984-12-18 | 写真原板収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61152575A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153899A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Nikon Corp | レチクル保護部材、レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法。 |
-
1984
- 1984-12-18 JP JP59265269A patent/JPS61152575A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153899A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Nikon Corp | レチクル保護部材、レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法。 |
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