JPS61161712A

JPS61161712A - 半導体製造装置

Info

Publication number: JPS61161712A
Application number: JP60002928A
Authority: JP
Inventors: Isao Hishikari; 功菱刈; Yasushi Sakaino; 境野　靖
Original assignee: Chino Works Ltd
Current assignee: Chino Corp
Priority date: 1985-01-11
Filing date: 1985-01-11
Publication date: 1986-07-22
Also published as: JPH0311088B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野Ｊこの発明は、半導体を製造する装置の改良に関するもの
である。

し従来の技術］半導体製造装置として、たとえば、縦形炉に材料を入れ
た反応管を吊り下げ、回転させつつ反応管内に半導体を
合成製造するものがある。

［発明が解決しようとする問題点］しかしながら、反応管を炉内に挿入する際、炉芯管にあ
たったり、取り付けの際、吊り下げワイヤから炉芯管が
落下したりする事故が生じやすい問題点があった。

この発明の目的は、以上の点に鑑み、操作の容易化、安
全性の向上等を図った半導体製造ｉ置を提供することで
ある。

Ｅ問題点を解決するための手段］この発明は、半導体を製造するための加熱炉と、この加
熱炉に反応管を挿入する前に反応管の振れ状態を確認す
るため反応管を案内保持する保￥１装置とを備えるよう
にした半導体製造装置である。

［実施例］第１図は、この発明の一実施例を示す正面説明図、第２
図は、一部所面側面説明図である。

図において、１は、加熱炉、２は、昇降装置である。加
熱炉１は、適当な箱体１１内に、炉芯管１２を上下方向
に設け、その周囲に加熱ヒータ１３、底部に断熱材１４
を設け、また、炉芯管１２の上方の開口１５から反応管
３が吊り下げ挿入され、炉芯管１２内は図示しない制御
手段により所定の温度とされる。昇降装置２は、反応管
３を吊り下げるワイヤ等よりなる吊り下げ具４を支持装
置２１に支持させ、駆動軸２１０を自動または手動ハン
ドル２１１で駆動して支持装置２１を上下に昇降させる
とともに、適当な回転手段により吊り下げ具４を介して
反応管３を回転させる構成となっている。

また、昇降装置２には、上下方向に２本の指示軸５１．
５２、この指示軸５１．５２を上下にスライドするスラ
イド板５３．５４、下部に反応管３の落下防止板５５等
よりなる保持装置が設けられている。

スライド板５３．５４は、第３図で示すように、反応！
！３が上下に十分挿通できる開口５３０，５４０、吊り
下げ具４のワイヤ等が水平方向に挿通できるスリット５
３１．５３２が形成されている。

なお、第４図で示すように、ガイド板５３．５４の代わ
りに、指示軸５０を中心に水平方向に回転可能な保持ア
ーム５６の把持部５６０に反応管３を挟持して炉芯管１
２の開口１５上に位置させるようにしてもよい。この把
持部５６０は、固定アーム５６１、回動アーム５６２を
有し、回動アーム５６２は軸５６３を中心にクリック５
６４により、開、閉、および図示のように保持管３の確
定位置に一時保持される。なお、底部には、軸５６３を
中心に回動する底板５６５が設けられ、落下防止を図っ
ている。また、２個の固定アーム５６１の中間に１個の
回動アーム５６２を設けるようにしてもよい。

また、落下防止板５５は、たとえば、第５図で示すよう
に、反応管３が上下に挿通できる開口を有する下板５５
１と、水平方向にスライドする反応管３の底部を位置決
めする穴を有する上板５５２よりなるものである。なお
、第６図で示すように、上板として左右に開く開閉板５
５３．５５４を用てもよい。

第７図は、反応管３と吊り下げ具４との接続構成を示し
、反応管３のアーム３０に、１本のワイヤ４０を２つ折
りにした折り曲げ部をかけ、円悠上の第１のガイド板４
１の中心孔４１０に挿通する。この第１のガイド板４１
の中央円柱部４１１には、反応管３の内径部と接する比
較的やわらかい材質の第２のガイド板４２が挿通され、
止具４３により扱は止めされている。円柱部４１１とガ
イド板４２、止具４３と接する部分はネジ山とするとよ
い。このように、反応管３の心出しを行い反応管３の回
転振れを少くしている。

さらにワイヤ４０は、案内管４４に案内され、第８図で
示すように、その上部は、案内Ｗ４４の上部のネジ部４
４１の上下方向に２箇所形成された切溝に引き込まれ、
その外部を固定具４５でネジ込んでワイヤ＋０は固定さ
れる。固定具４５は、さらに、ストップボール４６、バ
ネ４７、リング４８を含むチャック部４９により支持さ
れるようになっている。

つまり、反応管３を、加熱炉１に挿入する前に、吊り下
げ具４により、第７図、第８図で示すような状態に吊り
下げ、落下防止板５５上にその底部をのせ、第３図で示
すガイド板５３．５４の開口５３０．５４０に通す。次
いで、反応管３を少しもち上げ、回転させ、振れ状態を
確認する。そして、落下防止板５５の第５図、第６図の
上板５５２．５５３．５５４、をスライド、回転させて
開口をつくり、反応管３を加熱炉１の炉芯管１２の所定
位置に降下させる。この反応管３の加熱炉１内の設置位
置として最適位置があり、この位置決めは、スケール２
２および支持装置２１、スライド板５３．５４のインデ
ックス２３．２４．２５により確認することができる。

そして、反応管３を回転させつつ加熱炉１内で徐々に下
降させ、半導体を合成製造し、製造終了後は、反応管３
を上昇させ、取り出すことができる。

［発明の効果１以上述べたように、この発明は、加熱炉内に反応管を挿
入する前に保持装置にセットして反応管の撮れ状態を確
認して炉内に挿入することができるので、装置の操作の
容易化、安全性の向上が図れ、精度も向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図、第４図は、第５図、第６図、
第７図、第８図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。１・・・加熱炉、　２・・・昇降装置、　３・・・反応
管、４・・・吊り下げ具、　５１〜５５・・・保持装置
特許出願人　　株式会社　千野製作所キ３０章５０ｊ／　　　　　タｌｆ３／　　　　　還を４０５１７・■　　　　５Ｚ、℃ 竿ｂ０

Claims

【特許請求の範囲】１、半導体を製造するための加熱炉と、この加熱炉に反
応管を挿入する前に反応管の振れ状態を確認するため反
応管を案内保持する保持装置とを備えたことを特徴とす
る半導体製造装置。２、前記保持装置として、上下にスライドするスライド
板または水平方向に移動可能な保持アームを含むものを
用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の半
導体製造装置。３、前記保持装置として、反応管の落下防止具を含むも
のを用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項記載の半導体製造装置。４、前記保持装置の近くに、反応管の加熱炉内挿入位置
を知るためのスケールを上下方向に設けたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項から第３項記載の半導体製造
装置。