JPS61162941U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61162941U JPS61162941U JP4622985U JP4622985U JPS61162941U JP S61162941 U JPS61162941 U JP S61162941U JP 4622985 U JP4622985 U JP 4622985U JP 4622985 U JP4622985 U JP 4622985U JP S61162941 U JPS61162941 U JP S61162941U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign matter
- vacuum container
- exhaust
- inflow prevention
- matter inflow
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図及
び第３図は第１図の実施例装置のＡ―Ａ′断面図
である。 １：真空容器、２：主排気管、３：油回転ポン
プ、４：異物流入防止用ネツト、４′：溜り部、
５，８：Ｏリング、６：シヤフト、７：回転ノブ
。
び第３図は第１図の実施例装置のＡ―Ａ′断面図
である。 １：真空容器、２：主排気管、３：油回転ポン
プ、４：異物流入防止用ネツト、４′：溜り部、
５，８：Ｏリング、６：シヤフト、７：回転ノブ
。
Claims (1)
- 真空容器が排気ポンプにより排気管を介して排
気される装置において、該真空容器から該排気ポ
ンプに至る排気路に設けられ真空容器側から排気
ポンプ側へ流入する異物を捕捉するための異物流
入防止手段と、該異物流入防止手段による該排気
管の遮蔽量を切換えるため該異物流入防止手段を
大気側より操作する手段を設けたことを特徴とす
る真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4622985U JPS61162941U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4622985U JPS61162941U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61162941U true JPS61162941U (ja) | 1986-10-08 |
Family
ID=30560433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4622985U Pending JPS61162941U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61162941U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63299036A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Tokyo Electron Ltd | 真空装置 |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP4622985U patent/JPS61162941U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63299036A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Tokyo Electron Ltd | 真空装置 |