JPS61165005A

JPS61165005A - 流体圧作動機器

Info

Publication number: JPS61165005A
Application number: JP310485A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Osawa; 大沢　重男; Shunji Koyama; 俊二小山; Michinobu Sakata; 坂田　道信; Hidetoshi Kanzaki; 神崎　英敏
Original assignee: KOGANEI SEISAKUSHO KK; Koganei Corp
Current assignee: KOGANEI SEISAKUSHO KK; Koganei Corp
Priority date: 1985-01-11
Filing date: 1985-01-11
Publication date: 1986-07-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明は防塵アダプタおよびそれを用いた流体（背景技
術〕近年、医療分野や半導体製造分野の如く、作業空間に対
して極めて高いクリーン度が要求される分野が拡がって
いる上に、そのクリーン度への要求がますます厳格にな
る傾向にある。

そこで、このような分野では極めて高いクリーン度を維
持するためにクリーンルームを構築し、そのクリーンル
ーム内で所要の作業を実行することが必要となっている
。

したがって、クリーンルーム内で使用されるエアシリン
ダ等の流体圧作動機器もクリーンルーム内に塵芥を持ち
込まないようなものであることが要求されて来ている。

特に、ロッドの摺動部からのリークが生じ易く、リーク
エア中の汚染物質でクリーンルームを汚染するため、こ
れを防止することが要求される。

このような要求を満たすため、エアシリンダのロッドカ
バー自体に排出ボートを設け、この排出ボートを通して
エアシリンダからのニアリークをが考えられる。

しカルながら、このｉ術では、ロッドカバーとして特別
な構造のものを発塵防止シリンダ専用に製作しかつ在庫
品として保管しなければならず、またその製作用の金型
として特別なものを用意しなければならない等の問題が
あることを本発明者は見い出した。

また、エアシリンダのロッドカバー前部に真空室を特別
に設け、この真空室をクリーンルーム外の排気装置に接
続するシリンダ装置が提案されている（特開昭５９−１
６４４０７号公報参照）。

しかし、このシリンダ装置はやはり特別なロッドカバー
加工を必要とする上に、特にクリーンルームの真空度低
下防止を主目的としているために特別な排気装置と組み
合わせて使用することが必須の要求であり、システムの
複雑化、高コスト化を伴うという問題があることが本発
明者によって見い出された。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、通常の標準型ロッドカバーにりに起因
する発塵の防止を図ることのできる防塵アダプタおよび
それを用いた流体圧作動機器を提供することにある。

本発明の他の目的は、特別な真空排気システムを要する
ことなく、低コストで発塵防止を図ることのできる防塵
アダプタおよびそれを用いた流体圧作動機器を提供する
ことにある。

〔実施例１〕第１図は本発明による一実施例である防塵アダプタを取
り付けたエアシリンダの一例を示す半断面図である。

本実施例において、流体圧作動機器の一例としてのエア
シリンダはシリンダ本体（シリンダチューブ）１と、こ
のシリンダチューブ１内でエア流入ボート２または３か
らのエアにより軸方向に摺動するピストン４と、該ピス
トン４の端部から軸方向に延在するピストンロッド５と
、ピストン４側の端部を閉止するヘッドカバー６と、該
ヘッドカバー６とシリンダチューブ１との間をシールす
るガスケット７と、シリンダチューブ１のピストンワン
ド５側の端部を閉止しかつその軸方向中心部を前記ピス
トンロッド５が貫通して外部に突出する通常の標準型の
ロッドカバー８と、該ロッドカバー８とピストンロッド
５およびシリンダチューブｌとの間をそれぞれシールす
るシール９およびガスケット１０とを有している。

また、前記ロッドカバー８の外端（第１図の右端）には
、ガスケット１１を介して防塵アダプタ１２がねじ１３
により着脱可能に取り付けられている。防塵アダプタ１
２の軸方向中心部を前記ピストンロッド５が貫通して外
部に突出し、該防塵アダプタ１２とピストンロッド５と
の間はシール１４によりシールされている。防塵アダプ
タ１２とピストンロッド５との間は摺動による切粉の発
生を防止するよう相互間に隙間が形成されている。

防塵アダプタ１２はロッドカバー８とピストンロッド５
との間から外部にリークするエアが図示しないクリーン
ルーム内に排出されて該エアに含汚染することを防止す
るためのものである。そのため、防塵アダプタ１２の外
周方向には排気ポート１５が形成されており、この排気
ポート１５は該排気ポート１５の突出端外側に嵌装され
る図示しない排気管を介してクリーンルームの外部に連
通している。

次に、本実施例の作用について説明する。

本実施例のエアシリンダを作動させる場合、エア流入ボ
ート２または３からシリンダチューブ１内のピストン４
の左右のシリンダ室内にエアを供給することにより、ピ
ストン４およびピストンロッド５は右または左方向に摺
動する。

その際、ピストンロッド５の摺動により、シリンダチュ
ーブ１内のエアがピストンロッド５とロッドカバー８と
の間から外方にリークすることがある。

その場合、本実施例では、ロッドカバー８の外端側に防
塵アダプタ１２が取り付けられているので、ロッドカバ
ー８の外方に漏れ出たエアは通路ら図示しない排気管を
介してクリーンルーム外に排出される。

したがって、本実施例によれば、エアシリンダのロッド
カバー８からリークしたエアに含まれる塵芥等の汚染物
質によりクリーンルーム内が汚染されることを確実に防
止することができる。

〔実施例２〕第２図は本発明の他の実施例によるエアシリンダを示す
半断面図である。

本実施例２においても、エアシリンダの通常の標準型ロ
ッドカバー８の外端側には、防塵アダプタ１２かねじ１
３により着脱自在に取り付けられている。

したがって、本実施例２でも、エアシリンダのロッドカ
バー８外にリークするエアは防塵アダプタ１２の排気ポ
ート１５に螺入接続される排気管（図示せず）を介して
クリーンルーム外に導かれて排出され、クリーンルーム
内を汚染することを防止できる。

〔実施例３〕シリンダの半断面図である。

本実施例３においても、エアシリンダのロッドカバー８
の外端（第３図では左端）には、防塵アダプタ１２かね
じ１３で着脱可能に取り付けられ、口７ドカバ−８の外
方にリークするエアを該防塵アダプタ１２の排気ポート
１５からクリーンルーム外に排出できるようになってい
る。

〔実施例４〕第４図は本発明の他の実施例であるエアシリンダの断面
図である。

本実施例４においては、防塵アダプタ１２は外端部の外
周にねじ部１７を有する通常の標準型ロッドカバー８の
該ねじ部１７に螺合方式で着脱可能に取り付けられてい
る点が前記実施例とは異なるが、この防塵アダプタ１２
により、ロッドカバー８の外方にリークするエアをクリ
ーンルーム内に持ち込むことなく外部に導いて排出でき
る。

なお、符号１８はロッドカバー８と防塵アダプタ１２と
の間からのエアのリークを防止するガスケットである。

〔実施例５〕第５図は本発明によるさらに他の実施例であるハイドロ
チェッカの断面図である。

本実施例５では、流体圧作動機器の他の一例としてのハ
イドロチェッカは、外筒２０と、制動油２１を内蔵した
内筒２２と、該内筒２２内で摺動するピストン２３と、
該ピストン２３の端部から延在するロッド２４と、チェ
ック弁２５と、調整弁２６と、調節ノブ２７と、外筒２
０とロッド２４に連続された伸縮可能なダイヤフラム２
８と、ダイヤフラムガイド２９と、エア室３０と、エア
ポート３１と、ばね３２と、ロッドカバー（軸受）３３
と、ダストシール３４とを備えている。なお、コンド２
４等は半分が突出状態、半分が後退位置で示されている
。

本実施例５においても、図示しない配管を通ってエアポ
ート３１からエア室３０に供給されるエアがロッドカバ
ー３３の外方にリークしてクリ−１ｔ　＋＋、　　ｒ　
ｌ−１−Ｉ？−よ洗ナツサＬ　？−熟、Ｌ十フＪ−俵　
いドカバ−３３の外端には防塵アダプタ１２がねじ１３
で着脱可能に取り付けられている。

したがって、エア室３０からロッドカバー２３外にリー
クするエアは防塵アダプタ１２の排気ポート１５から排
気管（図示せず）を介してクリーンルーム外に導いて排
出できる。

〔実施例６〕第６図は本発明のさらに他の実施例である緩衝器の断面
図である。

本実施例６においては、流体圧作動機器のさらに他の一
例としての緩衝器は、シリンダチューブ４０と、遊動ピ
ストン４１と、固定ピストン４２と、該固定ピストン４
２の端部から延在するピストンロッド４３と、固定ピス
トン４２の両側の制動油室４４．４５と、チェック弁４
６と、封止ねじ４７と、止めボール４８と、遊動ピスト
ン４１のリターン用のエアを入れるエア室４９と、エア
ポート５０と、このエアポート５０を形成されたロッド
カバー５１とを備えている。

この実施例６においても、ロッドカバー５１の外端には
、防塵アダプタ１２がねじ１３で着脱可能に取り付けら
れ、この防塵アダプタ１２の軸方向中心開口部をピスト
ンロッド４３が摺動可能に貫通している。

したがって、本実施例においても、エア室４９からロフ
トカバー５１外にリークするエアは防塵アダプタ１２の
排気ポート１５からクリーンルーム（図示せず）の外部
に導かれるので、リークエアに含まれる塵芥等の汚染物
質によってクリーンルーム内が汚染されることを防止し
、クリーン度を良好に保つことができる。

なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
他の様々な変形が可能である。

たとえば、防塵アダプタの構造およびその着脱可能な取
付方式等は前記実施例以外のものを用いてもよい。

また、防塵アダプタを取り付ける流体圧作動機器は前記
したエアシリンダ、ハイドロチェッカ、緩衝器以外のも
のも含むものである。

〔効果〕

の開口部に連通ずる排気ポートを備えてなる防塵アダプ
タを提供することにより、この防塵アダプタを通常の標
準型ロッドカバーに取り付けるだけで流体圧作動機器の
ニアリークに起因する発塵を防止することができる。

（２）、前記（１）により、流体圧作動機器からの発塵
によるクリーンルーム等のクリーンスペースの汚染を防
止することができる。

（３）、ロッドカバーとして通常の標準型のものを利用
でき、互換性を持たせることができるので、特別な専用
ロッドカバーを製作、保管する必要がなく、特別なロッ
ドカバー加工が不要となり、また特別な金型が不要とな
る。

（４）、特別な真空排気システムを要することなく、簡
単な構造により低コストで発塵防止を実現することがで
きる。

（５）、防塵アダプタに防塵用の真空排気力を作用させ
ないので、防塵アダプタを樹脂の如き安価な材料で作る
こともできる。

（６）、ロッドカバー自体に排気ポートを設けないので
、高価なロッドカバー材料の無駄がなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例である防塵アダプタを取
り付けたエアシリンダの一例を示す半断面図、第２図は
本発明の他の実施例によるエアシリンダを示す半断面図
、第３図は本発明のさらに他の実施例によるエアシリン
ダの半断面図、第４図は本発明の他の実施例であるエア
シリンダの断面図、第５図は本発明によるさらに他の実
施例であるハイドロチェッカの断面図、第６図は本発明
のさらに他の実施例である緩衝器の断面図である。１・・・シリンダ本体（シリンダチューブ）、２．３・
・・エア流入ポート、４・・・ピストン、５・・・ピス
トンロッド、６・・・ヘンドカバー、７・・・ガスケッ
ト、８・・・ロッドカバー、９・・・シール、１０．１
１・・・ガスケット、１２・・・防塵アダプタ、１３・
・・ねじ、１４・・・シール、１５・・・排気ポート、
１６・・・二１１玖　　１７．、、妬１’：ａＲ−Ｉ　
　Ｉｌ＋　　・　・　・ガスか・ノド−２０・・・外筒
、２１・・・制動油、２２・・・内筒、２３・・・ピス
トン、２４・・・ロッド、２５・・・チェック弁、２６
・・・調整弁、２７・・・調節ノブ、２８・・・ダイヤ
フラム、２９・・・ダイヤフラムガイド、３０・・・エ
ア室、３１・・・エアポート、３２・・・ばね、３３・
・・ロッドカバー（軸受）、３４・・・ダストシール、
４０・・・シリンダチューブ、４１・・・遊動ピストン
、４２・・・固定ピストン、４３・・・ピストンロッド
、４４．４５・・・制動油室、４６・・・チェック弁、
４７・・・封止ねじ、４８・・・止めポール、４９・・
・エア室、５０・・・エアポート、５１・・・ロッドカ
バー。特許出願人　　株式会社　小金井製作所代理人　弁理士
　　筒　井　大　和手続主甫正書帽発）１．事件の表示昭和６０年　特許願　第３１０４号２、発明の名称防塵アダプタおよびそれを用いた流体圧作動機器３、補正をする者事件との関係　　特許出願人住　所　　東京都千代田区丸の内３丁目２番３号名　称
　　株式会社　小金井製作所代表者　安岡静長４、代理人　〒１６０住　所　　東京都新宿区西新宿７丁目１８番１８号新宿
税理士ビル別館４１２号

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、被取付面側に開口する開口部を有し、かつこの
開口部に連通する排気ポートを備えてなる防塵アダプタ
。
（２）、流体圧によりロッドカバーに対して軸方向に移
動するロッドを有する流体圧作動機器であって、この流
体圧作動機器の前記ロッドカバーの取付面側に開口する
開口部を有しかつこの開口部に連通する排気ポートを備
えてなる防塵アダプタを前記ロッドカバーの前記取付面
に着脱可能に取り付け、前記ロッドが前記防塵アダプタ
の前記開口部を貫通するよう構成した流体圧作動機器。