JPH0135099Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、例えば半導体製造工程において使用
される塩素ガス等が流れる配管を開閉する開閉弁
に関し、さらに詳しくはこの開閉弁の弁軸と弁座
との間を通つてリークするガスを吸引し、捕集す
るリークガス吸引装置の改良に関する。

考案の技術的背景ならびにその問題点 半導体、記録材料、電子部品などを製造するに
際しては、人体に有害な腐蝕性のあるガスが取扱
われる場合がある。

特に、半導体などの精密部品を製造する工程で
用いられる塩素ガス等は、微量のリークも許され
ず、このようなガスが流通する配管に設けられる
開閉弁もシールが完全なものが要求されている。

そこで、従来から開閉弁の弁体の外周にＯリン
グを設け、シールの完全化を図つている。このＯ
リングは円盤状弁体の外周に形成した凹部内に嵌
着されているが、この弁体は比較的に薄肉の円盤
状をしており、この円盤状弁体の中心を通るよう
に取付けられた弁軸を中心に回動して流路を開閉
するため、この弁体を開閉作動させるときに、こ
の弁体の外周面に設けたＯリングは全周にわたり
均一な力で弁座と当接せず、偏つた力がかかるこ
とがある。

したがつて、このＯリングは一部において歪み
が生じ、弁座との間に〓間が生じ、この〓間を通
つてガスがリークする恐れがある。

このため最近では、このリーク現象を防止する
次善の策として、リークするガスを真空ポンプ等
を用いて積極的に吸引し、捕集するようにしてい
る。

第４，５図は、従来から行なわれている半導体
製造工程で使用される開閉弁にリークガス吸引装
置を取付けた状態を示す断面図と、その要部拡大
断面図である。

この開閉弁１は、流路２が形成されたガス配管
３，３間に弁座４を介装し、この弁座４に弁体５
を設け、この弁体５にはビス６により弁軸７を取
付けたもので、この弁軸７の一端は弁座４の凹部
４ａ内に嵌挿され、この弁軸７の他端は段部７ａ
により弁座４に係合保持されるように構成してい
る。そしてこの弁軸７はさらに弁座４の外部まで
伸延され、駆動部８に連結され、その駆動部８と
前記弁体５との中間位置にはシール部材９が設け
られている。

このシール部材９は第５図に詳述するように一
対のＯリング１０，１０と、グランドパツキン１
１とからなり、前記弁座４に穿設した空間部１２
内に設けられている。この空間部１２には前記弁
軸７の軸線に直交するように開設された通孔１３
が連通され、この通孔１３にユニオン継手１４を
介して真空配管１５の一端が気密に連結されてい
る。

したがつて、この真空配管１５の他端に取付け
られた真空源（図示せず）を作動させると、前記
空間部１２内の気体を吸引することになり前記弁
体５のＯリング１６においてリークし、弁座４と
弁軸７との間を通つて空間部１２内に流入して来
たガスは、通孔１３、ユニオン継手１４及び真空
配管１５を通つて吸引され、捕集されることにな
る。

しかしこのように弁座４の側部に、真空引きす
るための真空配管１５等が存在すると、弁開閉作
業あるいは保守点検作業等を行う場合の邪魔にな
り、また弁座４を薄形化し、開閉弁を小形化する
場合の一つの障害にもなつている。

考案の目的 本考案は、上述した従来技術に伴う問題点を解
決しようとするものであつて、弁体からリークす
るガスを吸引し、捕集するためのリークガス吸引
装置のコンパクト化、簡素化を目的とするもので
ある。

考案の概要 本考案は、上記目的を達成するために、弁軸の
軸線に沿うように連通路を形成し、この連通路の
一端はシール部材を設置するために形成した空間
部に連通し、他端は真空源側とロータリジヨイン
トを介して連通したことを特徴とするものであ
る。

このように構成すれば弁座の側方に真空配管が
突出せず弁軸の軸線を延長した方向に真空配管は
伸延されることになるので、開閉弁の周辺の配管
構造等が簡素化されることになる。

考案の具体的説明 以下、本考案の一実施例を図面を参照しつつ説
明する。

第１図は、本考案に係る開閉弁のリースガス吸
引装置の一例を示す断面図、第２図は第１図の要
部拡大断面図、第３図はロータリジヨイントの断
面図であり、第４、５図に示す部材と同一部材に
は同一符号を付している。

まず開閉弁１は、従来の第４図に示すものと同
様に、流路２が形成されたガス配管３，３間に弁
座４を介装してあり、この弁座４内には弁体５が
設けられている。この弁体５にはビス６によつて
弁軸７が取付けられているが、この弁軸７の一端
は弁座４の凹部４ａ内に嵌挿され、この弁軸７の
他端は段部７ａにより弁座４に係合保持されるよ
うに構成した後に、弁座の外部にまで伸延され、
駆動部８に連結されている。この駆動部８は、前
記弁軸７にキー２０を介して連結されたピニオン
２１と、このピニオン２１と噛合するラツク２２
と、このラツク２２を摺動可能に支持するシリン
ダ２３とを有し、このラツク２２をサーボモータ
（図示せず）等により作動するように構成したも
のである。なお図中２３ａは軸受、２４はカラ
ー、２５はボルト挿通孔である。

次にリークガス吸引装置２６は、流路２を通る
ガスがＯリング１６に生じた〓間から漏れ、弁座
４と弁軸９の間を通り空間部１２に至つたものを
吸引するもので、前記弁体５と駆動部８との間の
弁軸７を囲むように設けられたシール部材９を接
する空間部１２に一端が連結されている。すなわ
ち弁体５に取付けたＯリング１６と、弁軸７に設
けたＯリング１０，１０との二重シール構造とな
つているにも拘ずリークしたガスが外部に逃げる
のを防止するために設けられたものである。

このシール部材９は第２図に詳示されているよ
うに一対のＯリング１０，１０と、グランドパツ
キン１１とを有し、このグランドパツキン１１に
は中央部分に通孔２７が開設され、リークして来
たガスを、弁軸７の軸直角方向に開設した通孔２
８内に導き易いように構成してある。

特に、本実施例では、この弁軸７に開設された
通孔２８に、この弁軸７の軸線に沿うように開設
した連通路２９の一端を連通せしめ、この連通路
２９の他端は、第３図に示すロータリジヨイント
３０及び真空配管１５を介して真空源Ｓと連通し
ている。

ここにロータリジヨイント３０は前記弁軸７に
螺着された第１ジヨイント３１と、この第１ジヨ
イント３１と真空配管１５とを連通する第２ジヨ
イト３２と、この第２ジヨイント３２と第１ジヨ
イント３１とを連結するための袋ナツト３３、ロ
ツクナツト３４及び止め輪３５と、この第２ジヨ
イント３２に螺合し、前記真空配管１５のフラン
ジ部１５ａを第２ジヨイント３２側に押圧する第
３ジヨイント３６とからなつており、Ｏリング３
７，３７によりシールしている。

次に作用を説明する。

図示しないサーボモータ等を作動し、ラツク２
２、ピニオン２１、キー２０及び弁軸７を介して
弁体５を閉動させ、弁体５が第１図に示すような
状態になり、弁座４との間をシールしたとする。

しかし、Ｏリング１６の一部が歪み、流路２内
を流通しているガスがリークし、第２図に示す弁
座４と弁軸７との間の〓間G₁（第２図は誇張して
示しており、この〓間G₁は実際より広い）を通
つて、シール部材９にまで流れ、さらにその一部
がこのシール部材９を構成するＯリング１０及び
グランドパツキン１１のシール力に逆らつて、空
間部１２の中央まで至つたとする。

ところが、前記弁体５の閉動とともに真空源Ｓ
を作動させれば、前記空間部１２内のガスはグラ
ンドパツキン１１の通孔１２、弁軸７に開設した
通孔２８を通つて連通路２９内に吸引され、さら
にロータリジヨイント３０の第１、第２、第３ジ
ヨイント３１，３２，３６内に形成された通路３
８及び真空配管１５を通つて所定のガス貯溜タン
ク（例えばアキユムレータ等）内に捕集されるこ
とになる。

このように、本実施例では弁体においてリーク
したガスを弁軸７中を通つて吸引し、捕集するよ
うにしたので、従来のように弁座４の側方へ真空
配管１５等が突出することはなく、開閉弁集辺の
構成がきわめて簡素化され、例えば弁体５に取付
けたＯリング１６等を交換する作業を行う場合
も、この真空配管１５等に邪魔されることなく容
易に行うことができることになる。

考案の効果 以上の説明により明らかなように、本考案によ
れば、弁軸の軸線に沿うように連通路を形成し、
この連通路の一端はシール部材を設置するために
形成した空間部に連通し、他端は真空源側とロー
タリジヨイントを介して連通したため、開閉弁周
辺の構成が簡素化され、しかも弁座の薄形化も可
能となり装置全体のコンパクト化が達成でき、装
置製作時のコストを低減することもできる。また
この開閉弁周辺の簡素化に伴い、弁の開閉作業並
びに保守点検作業も容易にできることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す断面図、第
２図は、第１図の要部拡大断面図、第３図は、ロ
ータリジヨイントの断面図、第４図は、従来装置
の一例を示す断面図、第５図は、第４図の要部拡
大断面図である。 １……開閉弁、２……流路、４……弁座、５…
…弁体、７……弁軸、８……駆動部、９……シー
ル部材、１２……空間部、１５……真空配管、１
６……Ｏリング、２６……リークガス吸引装置、
２７，２８……通孔、２９……連通路、３０……
ロータリジヨイント、Ｓ……真空源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ガスが流通する流路２を開閉する弁体５の外周
   にＯリング１６を嵌着し、このＯリング１６によ
   り弁体５と弁座４との間をシールする開閉弁１で
   あつて、前記弁座４と、この弁座４を挿通する弁
   軸７との間をシールするシール部材９を有し、こ
   のシール部材９を設置するために形成した空間部
   １２内のガスを真空源Ｓにより吸引するようにし
   たリークガス吸引装置において、前記弁軸７の軸
   線に沿うようにこの弁軸７内に連通路２９を形成
   し、この連通路２９の一端を前記空間部１２に、
   他端をロータリジヨイント３０を介して真空源Ｓ
   に連通するように構成した間閉弁のリークガス吸
   引装置。