JPS61173010U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61173010U JPS61173010U JP5571985U JP5571985U JPS61173010U JP S61173010 U JPS61173010 U JP S61173010U JP 5571985 U JP5571985 U JP 5571985U JP 5571985 U JP5571985 U JP 5571985U JP S61173010 U JPS61173010 U JP S61173010U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical micro
- beam spot
- reflected light
- cylindrical pins
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000399 optical microscopy Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の光マイクロ走行ビーム精度チ
エツク装置の側面図、第２図はその正面図、第３
図は従来の光マイクロによる無接触形状検出装置
の側面図、第４図はその正面図である。 １……光マイクロ、２，２ａ……ガイド棒、３
……光マイクロ取付台、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ
……円筒ピン、１６……台。
エツク装置の側面図、第２図はその正面図、第３
図は従来の光マイクロによる無接触形状検出装置
の側面図、第４図はその正面図である。 １……光マイクロ、２，２ａ……ガイド棒、３
……光マイクロ取付台、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ
……円筒ピン、１６……台。
Claims (1)
- 走査ガイドに沿つて移動する光マイクロ装置か
らレーザ光線を被測定物に発射し、その反射光を
前記光マイクロ装置で受光して入射光と反射光の
角度差から被測定物の表面形状を測定する光マイ
クロによる無接触形状検出装置において、光ビー
ムスポツトと同程度の断面を有し、ビームスポツ
トの移動方向の任意のチエツク点に一列に配置さ
れた複数の円筒ピンと、該複数の円筒ピンを固定
して取付ける台とを具備してビームスポツトの通
過を調べてビームのずれを検出することを特徴と
する光マイクロ走行ビーム精度チエツク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5571985U JPS61173010U (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5571985U JPS61173010U (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61173010U true JPS61173010U (ja) | 1986-10-28 |
Family
ID=30578657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5571985U Pending JPS61173010U (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61173010U (ja) |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP5571985U patent/JPS61173010U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2618377B2 (ja) | 無接触測定用のｆ−シータ補正されたテレセントリツク系対物鏡を有する装置 | |
| CN209803168U (zh) | 一种超长高速运动工件测速装置 | |
| JPS57199909A (en) | Distance measuring device | |
| JPS6317405U (ja) | ||
| JP2584630B2 (ja) | 側面形状計測用光触針の構成 | |
| JPH0285310U (ja) | ||
| JPS62140313U (ja) | ||
| JPH0710465A (ja) | コイル位置測定方法 | |
| SU370462A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ от ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА | |
| JPH01144809U (ja) | ||
| JPS6267246U (ja) | ||
| JPH0328404U (ja) | ||
| SU1620829A1 (ru) | Фотометрический способ измерени угла конуса детали | |
| JPS6237709U (ja) | ||
| JPS6310445U (ja) | ||
| JPH03110304U (ja) | ||
| JPS63193316U (ja) | ||
| JPH0210230A (ja) | 光強度測定装置 | |
| JPH0365953U (ja) | ||
| JPH0178938U (ja) | ||
| JPH0243638U (ja) | ||
| JPH01104507U (ja) | ||
| JPS6433012U (ja) | ||
| JPS63135106U (ja) | ||
| JPS63187005U (ja) |