JPH01144809U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01144809U JPH01144809U JP4111188U JP4111188U JPH01144809U JP H01144809 U JPH01144809 U JP H01144809U JP 4111188 U JP4111188 U JP 4111188U JP 4111188 U JP4111188 U JP 4111188U JP H01144809 U JPH01144809 U JP H01144809U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- receiving surface
- displacement
- measuring device
- measurement object
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は同実施例の構成を示す模式的斜視図、第３図
は同実施例においてガラス面とＡｕ面とを連続し
て測定した結果を示すグラフ、第４図ａは同実施
例における測定点付近の測定面を示す平面図で、
光検出素子の像を示した図、同図ｂは同図ａにお
けるスポツトのＹ―Ｙ方向の断面の強度分布図、
同図ｃはスリツトがない場合におけるスポツトの
Ｙ―Ｙ方向の断面の強度分布図、第５図は従来技
術における測定点付近の測定面を示す平面図で、
光検出素子の像を示した図、第６図は従来の変位
測定装置の構成を示す模式的斜視図、第７図は同
従来例の装置におけるＡｕ面及びガラス面の変位
測定方法を示す斜視図、第８図は第７図の測定に
よつて得られた変位測定の結果を示すグラフであ
る。 ３……測定対象、５……光検出素子、１１……
反射率が低い領域としてのガラス面、１２……反
射率が高い領域としてのＡｕ蒸着面（Ａｕ面）、
３０……結像点としてのスポツト、５０……変位
測定装置、５１……スリツト。
図は同実施例の構成を示す模式的斜視図、第３図
は同実施例においてガラス面とＡｕ面とを連続し
て測定した結果を示すグラフ、第４図ａは同実施
例における測定点付近の測定面を示す平面図で、
光検出素子の像を示した図、同図ｂは同図ａにお
けるスポツトのＹ―Ｙ方向の断面の強度分布図、
同図ｃはスリツトがない場合におけるスポツトの
Ｙ―Ｙ方向の断面の強度分布図、第５図は従来技
術における測定点付近の測定面を示す平面図で、
光検出素子の像を示した図、第６図は従来の変位
測定装置の構成を示す模式的斜視図、第７図は同
従来例の装置におけるＡｕ面及びガラス面の変位
測定方法を示す斜視図、第８図は第７図の測定に
よつて得られた変位測定の結果を示すグラフであ
る。 ３……測定対象、５……光検出素子、１１……
反射率が低い領域としてのガラス面、１２……反
射率が高い領域としてのＡｕ蒸着面（Ａｕ面）、
３０……結像点としてのスポツト、５０……変位
測定装置、５１……スリツト。
Claims (1)
- 測定対象の表面に照射したレーザ光の反射・散
乱光を光検出素子の受光面上に結像させ、前記測
定対象の表面の変位を、前記受光面における結像
点の移動に対応した光検出素子の出力電気信号と
して測定する変位測定装置において、受光面にお
ける結像点の移動方向に沿つたスリツトを光検出
素子の前方に設け、反射率が低い領域を測定する
際に反射率が高い領域から受光面に入射してくる
周辺不要光を遮るように溝成したことを特徴とす
る変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988041111U JPH0729452Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988041111U JPH0729452Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01144809U true JPH01144809U (ja) | 1989-10-04 |
| JPH0729452Y2 JPH0729452Y2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=31267562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988041111U Expired - Lifetime JPH0729452Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729452Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11245816A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | East Japan Railway Co | レール変位量測定装置 |
| JP2005134391A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Agilent Technol Inc | 反射型画像符号化装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5540942A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-22 | Nec Corp | Range finder |
| JPS5582903A (en) * | 1978-12-14 | 1980-06-23 | Bosch Gmbh Robert | Distance measuring apparatus |
| JPS58191915A (ja) * | 1982-05-04 | 1983-11-09 | Minolta Camera Co Ltd | 光位置センサ |
| JPS60135714A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 距離センサ |
| JPS62299716A (ja) * | 1986-06-19 | 1987-12-26 | Nikon Corp | 表面変位検出装置 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP1988041111U patent/JPH0729452Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5540942A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-22 | Nec Corp | Range finder |
| JPS5582903A (en) * | 1978-12-14 | 1980-06-23 | Bosch Gmbh Robert | Distance measuring apparatus |
| JPS58191915A (ja) * | 1982-05-04 | 1983-11-09 | Minolta Camera Co Ltd | 光位置センサ |
| JPS60135714A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 距離センサ |
| JPS62299716A (ja) * | 1986-06-19 | 1987-12-26 | Nikon Corp | 表面変位検出装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11245816A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | East Japan Railway Co | レール変位量測定装置 |
| JP2005134391A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Agilent Technol Inc | 反射型画像符号化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0729452Y2 (ja) | 1995-07-05 |