JPS61173149U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61173149U JPS61173149U JP5656185U JP5656185U JPS61173149U JP S61173149 U JPS61173149 U JP S61173149U JP 5656185 U JP5656185 U JP 5656185U JP 5656185 U JP5656185 U JP 5656185U JP S61173149 U JPS61173149 U JP S61173149U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitivity coefficient
- power input
- assembly
- pressure sensor
- shear type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案の一実施例の構成説明
図で、第１図は側断面図、第２図は平面図、第３
図は第２図の要部構成説明図、第４図は第１図の
動作説明図である。 １……支持台、２……ダイアフラム、２１……
基準室、３……せん断形ゲージ、３１，３２……
電源入力端子、３３，３４……出力端子。
図で、第１図は側断面図、第２図は平面図、第３
図は第２図の要部構成説明図、第４図は第１図の
動作説明図である。 １……支持台、２……ダイアフラム、２１……
基準室、３……せん断形ゲージ、３１，３２……
電源入力端子、３３，３４……出力端子。
Claims (1)
- 液晶面が１００の面方向を有する半導体単結晶
からなるダイアフラムと、該ダイアフラムに形成
され二個の電源入力端子と二個の出力端子とを備
える剪断形ゲージとを具備する半導体圧力センサ
において、前記剪断形ゲージの組立に対する感度
係数をａ、圧力に対する感度係数をＫ、組立接合
等による応力をσｃ、位置ずれに対する感度係数
をｂとした場合に、前記電源入力端子を結ぶ線分
の二等分線よりの前記出力端子の一方のずれ量を
ｌ′とすれば、ｌ′＝−（ａ／ｂ）Ｋσｃを満足
するように構成されたことを特長とする半導体圧
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5656185U JPS61173149U (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5656185U JPS61173149U (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61173149U true JPS61173149U (ja) | 1986-10-28 |
Family
ID=30580274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5656185U Pending JPS61173149U (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61173149U (ja) |
-
1985
- 1985-04-16 JP JP5656185U patent/JPS61173149U/ja active Pending