JPS61199060U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61199060U JPS61199060U JP8350385U JP8350385U JPS61199060U JP S61199060 U JPS61199060 U JP S61199060U JP 8350385 U JP8350385 U JP 8350385U JP 8350385 U JP8350385 U JP 8350385U JP S61199060 U JPS61199060 U JP S61199060U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type
- gauge
- coefficients
- crystal axis
- shear
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図、第２図、第３図は、本考案の一実施例
の構成説明図で、第１図は平面図、第２図は側面
図、第３図は要部詳細図である。 １……ダイアフラム、２……ｎ形剪断形ゲージ
、３……ｐ形剪断形ゲージ、４……演算回路、５
……可変抵抗器、５１……可変刷子。
の構成説明図で、第１図は平面図、第２図は側面
図、第３図は要部詳細図である。 １……ダイアフラム、２……ｎ形剪断形ゲージ
、３……ｐ形剪断形ゲージ、４……演算回路、５
……可変抵抗器、５１……可変刷子。
Claims (1)
- 測定圧を受圧し結晶軸が（１００）の面方向の
半導体単結晶からなるダイアフラムと、該ダイア
フラムに設けられ結晶軸が＜１１０＞方向に形成
されたｎ形剪断形ゲージと、前記ダイアフラムに
設けられ結晶軸が＜１００＞方向に形成されたｐ
形剪断形ゲージと該ｐ形剪断形ゲージの出力と前
記ｎ形剪断形ゲージの出力の差を演算する演算回
路とを具備し、前記ｐ形、ｎ形剪断形ゲージへの
入力電流をｉｐ，ｉｎ、ゲージ抵抗をＲｐ，Ｒｎ
、感度係数をａｐ，ａｎ、ピエゾ抵抗係数をπｐ
，πｎ、抵抗温度係数をαｐ，αｎ、該ピエゾ抵
抗係数πｐ，πｎの温度係数をβｐ，βｎとした
場合に、ｉｐ＝｛Ｒｎａｎπｎ（αｎ＋βｎ）｝
／｛Ｒｐａｐπｐ（αｐ＋βｐ）｝なるように構
成されてなる半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8350385U JPH0526775Y2 (ja) | 1985-06-03 | 1985-06-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8350385U JPH0526775Y2 (ja) | 1985-06-03 | 1985-06-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61199060U true JPS61199060U (ja) | 1986-12-12 |
| JPH0526775Y2 JPH0526775Y2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=30632192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8350385U Expired - Lifetime JPH0526775Y2 (ja) | 1985-06-03 | 1985-06-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526775Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-06-03 JP JP8350385U patent/JPH0526775Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0526775Y2 (ja) | 1993-07-07 |