JPS61187635U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61187635U JPS61187635U JP7387785U JP7387785U JPS61187635U JP S61187635 U JPS61187635 U JP S61187635U JP 7387785 U JP7387785 U JP 7387785U JP 7387785 U JP7387785 U JP 7387785U JP S61187635 U JPS61187635 U JP S61187635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck table
- spring
- rotational force
- rod
- correction mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Machine Tool Units (AREA)
Description
第１図はこの考案のチヤツクテーブル装置の一
例を示す一部横断平面図、第２図は同上の一部切
欠縦断側面図、第３図は従来のフイルム貼着切り
抜き装置の一例を示す一部切欠縦断側面図である
。 ４……薄板、４０……チヤツクテーブル、６０
……受片、６４……微調整棒、６５……バネ、Ａ
……支持手段、Ｂ……角度補正機構。
例を示す一部横断平面図、第２図は同上の一部切
欠縦断側面図、第３図は従来のフイルム貼着切り
抜き装置の一例を示す一部切欠縦断側面図である
。 ４……薄板、４０……チヤツクテーブル、６０
……受片、６４……微調整棒、６５……バネ、Ａ
……支持手段、Ｂ……角度補正機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハのような薄板を上面に固定し
てフイルム貼着などの作業を行なう真空吸引式な
どのチヤツクテーブルにおいて、このテーブルを
適宜の支持手段により回動自在に支承せしめると
ともに、このテーブルを微動回転せしめてその取
付角度を微調整し得る角度補正機構を設けた位置
決めチヤツクテーブル装置。 (2) 上記角度補正機構はチヤツクテーブルに一
方方向の回転力を与えるバネと、チヤツクテーブ
ルの一部に設けた受片を押してバネによる回転力
を受けて進退するネジ送り式の微調整棒とで構成
した実用新案登録請求の範囲第１項記載の位置決
めチヤツクテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7387785U JPS61187635U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7387785U JPS61187635U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61187635U true JPS61187635U (ja) | 1986-11-22 |
Family
ID=30613650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7387785U Pending JPS61187635U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61187635U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006089799A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Daihen Corp | 溶射装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS587111B2 (ja) * | 1980-09-29 | 1983-02-08 | シャープ株式会社 | 髪形選定装置 |
-
1985
- 1985-05-17 JP JP7387785U patent/JPS61187635U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS587111B2 (ja) * | 1980-09-29 | 1983-02-08 | シャープ株式会社 | 髪形選定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006089799A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Daihen Corp | 溶射装置 |
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