JPS6118885B2 - - Google Patents
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- JPS6118885B2 JPS6118885B2 JP12524177A JP12524177A JPS6118885B2 JP S6118885 B2 JPS6118885 B2 JP S6118885B2 JP 12524177 A JP12524177 A JP 12524177A JP 12524177 A JP12524177 A JP 12524177A JP S6118885 B2 JPS6118885 B2 JP S6118885B2
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- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄型小型音叉振動片を２枚の透明ケー
スで挾持した薄型小型の圧電振動子に関する。
スで挾持した薄型小型の圧電振動子に関する。
本発明の目的は超小型で、かつ高性能な圧電振
動子を提供することにある。
動子を提供することにある。
近年、水晶発振式電子腕時計の普及にともな
い、時間標準として水晶振動子が使用され、かつ
小型化、高性能、低価格化が急速に進んでいる。
い、時間標準として水晶振動子が使用され、かつ
小型化、高性能、低価格化が急速に進んでいる。
中でも振動片に関してはフオトエツチング技術
を応用した加工方法が低価格、小型化の点ですぐ
れているために一般化しつつある。
を応用した加工方法が低価格、小型化の点ですぐ
れているために一般化しつつある。
従来の薄型、小型の圧電振動子の一例を第１図
第２図に示す。第１図において、Ａは薄型小型音
叉振動子の平面図、ＢはＡのＡ−A′における断
面図である。第２図は第１図の薄型小型音叉振動
子に使用されている音叉型振動片の表側平面図で
ある。第１図において、透明ケース１および８と
振動片３は該振動片と一体で形成された保持枠１
０を共晶材１２を介して気密封止されている。該
振動片の表電極５は振動片３の根元部６を通り、
保持枠１０まで引き出し、透明ケース１を気密封
止する際、共晶材１２を介してケース１に設けて
ある外部電極２へ引き出される。又、裏電極７も
同様に振動片３の根元部１１を通り、透明ケース
８を気密封止する際、共晶材１２を介してケース
８に設けてある外部電極９へ引き出される。この
構成において、振動片３は非常に薄板なるが故に
衝撃に弱く、落下した場合に振動片の自由端４は
透明ケース８に直接あたるため、自由端４にはク
ラツク、カケ等が発生しやすく、又、振動片３の
根元部２６は透明ケース１，８に直接広い面積で
保持されているため、ハンダ材１２等による気密
封止の際、応力が生じ、落下後の周波数の変化を
大きくしている。さらに振動片３の根元部２６を
保持することにより、振動時における振動エネル
ギーの外部への漏洩が大きく、Ｑ値が低下すると
いう欠点を有している。
第２図に示す。第１図において、Ａは薄型小型音
叉振動子の平面図、ＢはＡのＡ−A′における断
面図である。第２図は第１図の薄型小型音叉振動
子に使用されている音叉型振動片の表側平面図で
ある。第１図において、透明ケース１および８と
振動片３は該振動片と一体で形成された保持枠１
０を共晶材１２を介して気密封止されている。該
振動片の表電極５は振動片３の根元部６を通り、
保持枠１０まで引き出し、透明ケース１を気密封
止する際、共晶材１２を介してケース１に設けて
ある外部電極２へ引き出される。又、裏電極７も
同様に振動片３の根元部１１を通り、透明ケース
８を気密封止する際、共晶材１２を介してケース
８に設けてある外部電極９へ引き出される。この
構成において、振動片３は非常に薄板なるが故に
衝撃に弱く、落下した場合に振動片の自由端４は
透明ケース８に直接あたるため、自由端４にはク
ラツク、カケ等が発生しやすく、又、振動片３の
根元部２６は透明ケース１，８に直接広い面積で
保持されているため、ハンダ材１２等による気密
封止の際、応力が生じ、落下後の周波数の変化を
大きくしている。さらに振動片３の根元部２６を
保持することにより、振動時における振動エネル
ギーの外部への漏洩が大きく、Ｑ値が低下すると
いう欠点を有している。
本発明は以上の欠点を除去し、薄型小型振動片
へ一体で支持部を設け、保持することにより、衝
撃時における振動片の変位をケースと略平行にな
らしめることによりカケ、クラツク等を皆無にす
るとともに振動片を直接保持しないため、気密封
止時の応力の影響も少なく、落下後の周波数変化
を非常に少なくしたものである。さらに、振動片
を支持部を介して保持するため、振動エネルギー
の外部への漏洩も少なく振動子の特性を大巾に向
上したものである。
へ一体で支持部を設け、保持することにより、衝
撃時における振動片の変位をケースと略平行にな
らしめることによりカケ、クラツク等を皆無にす
るとともに振動片を直接保持しないため、気密封
止時の応力の影響も少なく、落下後の周波数変化
を非常に少なくしたものである。さらに、振動片
を支持部を介して保持するため、振動エネルギー
の外部への漏洩も少なく振動子の特性を大巾に向
上したものである。
第３図に本発明による圧電振動子の実施例を示
す。第３図Ａは平面図。
す。第３図Ａは平面図。
第３図ＢはＡのＢ−B′における断面図。
第３図Ｃは音叉型振動片の表面の電極配置を示
す。
す。
第３図Ｄは音叉型振動片の裏面の電極配置を示
す。
す。
同図において、本発明の圧電振動子は音叉型振
動片１３と、該音叉型振動片１３の基部１３ａの
両側から先端１３ｂ方向に向つて左右対称で平行
に延びる支持部１４，１５と、該支持部１４，１
５が連結し、該音叉型振動片１３を囲むように形
成される保持枠１７とからなり、該支持部１４，
１５は音叉型振動子片の長手方向に対して平行に
伸びる第１部分と、そこからほぼ直角に伸びる第
２部分とから成り、その第２部分が音叉型振動子
片の長手方向のほぼ中央部で保持枠１７に連組
し、更に音叉型振動片の基部底端部１３ｃと保持
枠１７とが間隙を有して形成されている。この時
の透明ケース１８，１９と音叉型振動片１３の間
隔はハンダ材等の厚みによりできる間隔、もしく
は透明ケースの振動片部分２０をフオトエツチン
グにより凹部を設けることにより任意の間隔を得
ることができる。本方式による音叉型振動片１３
の電極の外部への取り出し方法は以下のとうりで
ある。表電極２１は音叉型振動片１３より一体と
なつた支持部１４を通り、音叉型振動片１３を取
り囲む保持枠１６を経由し、透明ケース１８にあ
らかじめ設けられた外部電極２３にハンダ材２５
等により気密封止と同時に電気的に接続される。
又、裏電極２２についても表電極２１と同様に音
叉型振動片１３より一体となつた支持部１５を通
り、音叉型振動片１３を取り囲む保持枠１６を経
由して、透明ケース１９に設けられた外部電極２
４にハンダ材２５等により電気的に接続される。
動片１３と、該音叉型振動片１３の基部１３ａの
両側から先端１３ｂ方向に向つて左右対称で平行
に延びる支持部１４，１５と、該支持部１４，１
５が連結し、該音叉型振動片１３を囲むように形
成される保持枠１７とからなり、該支持部１４，
１５は音叉型振動子片の長手方向に対して平行に
伸びる第１部分と、そこからほぼ直角に伸びる第
２部分とから成り、その第２部分が音叉型振動子
片の長手方向のほぼ中央部で保持枠１７に連組
し、更に音叉型振動片の基部底端部１３ｃと保持
枠１７とが間隙を有して形成されている。この時
の透明ケース１８，１９と音叉型振動片１３の間
隔はハンダ材等の厚みによりできる間隔、もしく
は透明ケースの振動片部分２０をフオトエツチン
グにより凹部を設けることにより任意の間隔を得
ることができる。本方式による音叉型振動片１３
の電極の外部への取り出し方法は以下のとうりで
ある。表電極２１は音叉型振動片１３より一体と
なつた支持部１４を通り、音叉型振動片１３を取
り囲む保持枠１６を経由し、透明ケース１８にあ
らかじめ設けられた外部電極２３にハンダ材２５
等により気密封止と同時に電気的に接続される。
又、裏電極２２についても表電極２１と同様に音
叉型振動片１３より一体となつた支持部１５を通
り、音叉型振動片１３を取り囲む保持枠１６を経
由して、透明ケース１９に設けられた外部電極２
４にハンダ材２５等により電気的に接続される。
本発明によれば、音叉型振動片とそれを包囲す
る保持枠と、両者を接続する支持部とが一体に形
成され、保持枠の上下面に上ケース、下ケースを
接合する薄型の圧電振動子において、支持部の形
状が音叉型振動片の基部底端近傍の両側から伸長
し、前記音叉型振動片と前記保持枠の間を音叉型
振動片の先端方向に向かつて平行に伸びる第１部
分と、第１部分から直角に伸びる第２部分とを設
け、その第２部分が音叉型振動片の叉部より先端
側で音叉型振動子の長手方向のほぼ中央部で保持
枠と接合するよう形成し、且つ音叉型振動片の基
部底端部と保持枠とが間隔をもつて形成されてい
るので次のような効果を有する。
る保持枠と、両者を接続する支持部とが一体に形
成され、保持枠の上下面に上ケース、下ケースを
接合する薄型の圧電振動子において、支持部の形
状が音叉型振動片の基部底端近傍の両側から伸長
し、前記音叉型振動片と前記保持枠の間を音叉型
振動片の先端方向に向かつて平行に伸びる第１部
分と、第１部分から直角に伸びる第２部分とを設
け、その第２部分が音叉型振動片の叉部より先端
側で音叉型振動子の長手方向のほぼ中央部で保持
枠と接合するよう形成し、且つ音叉型振動片の基
部底端部と保持枠とが間隔をもつて形成されてい
るので次のような効果を有する。
(a) 即ち圧電振動子に衝撃が印加された際に支持
部が撓んで音叉型振動子片が変位するとき、も
つとも破損を生じ易い向きは音叉型振動子片の
平面と垂直な方向にある。もしこのとき音叉振
動子片が大きく傾いて先端がケースと衝突する
とほとんどが破損を惹き起す倶れがある。一
方、本発明では支持部の形状が基部底端部近傍
の両側から先端方向に平行に伸びる第１部分
と、そこから直角に曲がつて保持枠に接合する
第２部分とを有し、しかも第２部分が音叉型振
動子片の長手方向のほぼ中央部で保持枠と接合
しているので上述のような衝撃があつても、音
叉型振動子片は２本の支持部の弾性により片振
りすることなくほぼ平行に変位することにな
り、先端のみが衝突することを防止できるの
で、破損を著しく減少させることができる。
部が撓んで音叉型振動子片が変位するとき、も
つとも破損を生じ易い向きは音叉型振動子片の
平面と垂直な方向にある。もしこのとき音叉振
動子片が大きく傾いて先端がケースと衝突する
とほとんどが破損を惹き起す倶れがある。一
方、本発明では支持部の形状が基部底端部近傍
の両側から先端方向に平行に伸びる第１部分
と、そこから直角に曲がつて保持枠に接合する
第２部分とを有し、しかも第２部分が音叉型振
動子片の長手方向のほぼ中央部で保持枠と接合
しているので上述のような衝撃があつても、音
叉型振動子片は２本の支持部の弾性により片振
りすることなくほぼ平行に変位することにな
り、先端のみが衝突することを防止できるの
で、破損を著しく減少させることができる。
(b) 音叉型振動子片の基部底端部と保持枠とが隙
を有して形成されているので、保持枠とケース
を接合する気密封止時に発生する応力も支持部
にて緩衝され振動片には直接影響をおよぼさな
いため、落下衝撃による周波数変化を非常に少
なくできる。
を有して形成されているので、保持枠とケース
を接合する気密封止時に発生する応力も支持部
にて緩衝され振動片には直接影響をおよぼさな
いため、落下衝撃による周波数変化を非常に少
なくできる。
第１図は従来の薄型小型音叉型振動子で第１Ａ
図は平面図、第１Ｂ図はＡのＡ−A′における断
面図。第２図は従来の音叉型振動片の平面図であ
る。第３図は本発明の実施例を示し、第３Ａ図は
平面図、第３Ｂ図はＡのＢ−B′における断面図、
第３Ｃ図は振動片表面の電極配置図、第３Ｄ図は
振動片裏面の電極配置図である。 １，８は透明ケース、２，９は外部電極、３は
振動片、４は振動片の自由端、５は表電極、６は
根元部、７は裏電極、１０は保持枠、１１は裏電
極の根元部、１２は共晶材、１３は音叉型振動
片、１４，１５は支持部、１６は保持枠、１８，
１９は透明ケース、２０は透明ケースの振動片部
分、２１は表電極、２２は裏電極、２３，２４は
外部電極、２５はハンダ材等、２６は振動片の根
元部。
図は平面図、第１Ｂ図はＡのＡ−A′における断
面図。第２図は従来の音叉型振動片の平面図であ
る。第３図は本発明の実施例を示し、第３Ａ図は
平面図、第３Ｂ図はＡのＢ−B′における断面図、
第３Ｃ図は振動片表面の電極配置図、第３Ｄ図は
振動片裏面の電極配置図である。 １，８は透明ケース、２，９は外部電極、３は
振動片、４は振動片の自由端、５は表電極、６は
根元部、７は裏電極、１０は保持枠、１１は裏電
極の根元部、１２は共晶材、１３は音叉型振動
片、１４，１５は支持部、１６は保持枠、１８，
１９は透明ケース、２０は透明ケースの振動片部
分、２１は表電極、２２は裏電極、２３，２４は
外部電極、２５はハンダ材等、２６は振動片の根
元部。
Claims (1)
- １ 音叉型振動片と、前記音叉型振動片を包囲す
るように配置された保持枠と、前記音叉型振動片
に前記保持枠を接続する支持部とが一体に形成さ
れ、前記保持枠の上下面に上ケースと下ケースが
各々接合される圧電振動子において、前記支持部
は前記基部底端部の両側から伸長し、前記音叉型
振動片と前記保持枠の間を前記音叉型振動片の先
端に向つて平行に伸びる第１部分と前記第１部分
に対してほぼ直角の方向に伸びて前記保持枠に接
続する第２部分とを有しており、且つ前記音叉型
振動片の基部底端部と前記保持枠とが間隙を有し
て形成されるとともに、前記支持部の第２部分は
前記圧電振動子への衝撃時に前記音叉型振動片が
略平行に変位するように前記音叉型振動片の叉部
より先端側で音叉型振動子の長手方向のほぼ中央
部にて前記保持枠に接続してなることを特徴とす
る圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12524177A JPS5458395A (en) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Piezooelectric vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12524177A JPS5458395A (en) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Piezooelectric vibrator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5458395A JPS5458395A (en) | 1979-05-11 |
| JPS6118885B2 true JPS6118885B2 (ja) | 1986-05-14 |
Family
ID=14905273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12524177A Granted JPS5458395A (en) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Piezooelectric vibrator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5458395A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0189187U (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-13 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH629358GA3 (en) * | 1979-05-17 | 1982-04-30 | Piezoelectric resonator | |
| JP3951058B2 (ja) | 2003-08-19 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片 |
| WO2007125612A1 (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 振動ジャイロ |
| JP4816273B2 (ja) * | 2006-06-12 | 2011-11-16 | 株式会社デンソー | ジャイロセンサ |
| JP2009165006A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
| JP4838873B2 (ja) * | 2008-07-22 | 2011-12-14 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP4685910B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2011-05-18 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
| JP5155275B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2013-03-06 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片、圧電フレーム及び圧電デバイス |
| JP4934125B2 (ja) | 2008-12-02 | 2012-05-16 | 日本電波工業株式会社 | 圧電フレームおよび圧電デバイス |
| JP4864962B2 (ja) * | 2008-12-17 | 2012-02-01 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
| JP2010147953A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電フレーム及び圧電デバイス |
| JP5584500B2 (ja) * | 2009-05-01 | 2014-09-03 | 日本電波工業株式会社 | 圧電フレーム及び圧電デバイス |
| JP5500736B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2014-05-21 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
| JP6468350B2 (ja) | 2015-04-27 | 2019-02-13 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| JP6548149B2 (ja) | 2015-04-27 | 2019-07-24 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| CN107534432B (zh) * | 2015-04-28 | 2020-06-05 | 株式会社村田制作所 | 谐振子以及谐振装置 |
| JP6536685B2 (ja) | 2015-10-13 | 2019-07-03 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| US10812046B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-10-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Micromechanical resonator having reduced size |
-
1977
- 1977-10-19 JP JP12524177A patent/JPS5458395A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0189187U (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5458395A (en) | 1979-05-11 |
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