JPS61188979A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61188979A JPS61188979A JP2829285A JP2829285A JPS61188979A JP S61188979 A JPS61188979 A JP S61188979A JP 2829285 A JP2829285 A JP 2829285A JP 2829285 A JP2829285 A JP 2829285A JP S61188979 A JPS61188979 A JP S61188979A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- laser
- gas
- cathode
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は横方向放電ガスレーザ装置に係り、特に、エキ
シマレーザ装置に好適な放電電極構成とガス流循環装置
に関する。
シマレーザ装置に好適な放電電極構成とガス流循環装置
に関する。
従来のエキシマレーザ装置の電極構成およびガス流構成
は、レーザ研究： ＶｏＬ１２Ｎｏ８Ｐ２４〜の高効率
自動予備電離放電励起ｘａｃｔレーザーおよび、レーザ
ビーム：最新レーザ技術資料集Ｐ３０〜に論じられてい
る。
は、レーザ研究： ＶｏＬ１２Ｎｏ８Ｐ２４〜の高効率
自動予備電離放電励起ｘａｃｔレーザーおよび、レーザ
ビーム：最新レーザ技術資料集Ｐ３０〜に論じられてい
る。
しかし、ここに示された電極構造は、大口径放電を得る
念めの配慮がされていなかった。
念めの配慮がされていなかった。
本発明の目的は、放電断面積が大きく、レーザビーム径
が大きいエキシマ−レーザ装置を提供することにある。
が大きいエキシマ−レーザ装置を提供することにある。
本発明は、従来の電極では、平等電界電極を用いても、
電極間を流れる大きな放電電流によって、磁界が発生し
、その磁力によって放電が電極中央に集中してしまうこ
とに着目し、カソード、もしくは、アノードを光軸方向
に複数個に分割してその間にレーザガスを流すことで電
極間の放電を分散させる。
電極間を流れる大きな放電電流によって、磁界が発生し
、その磁力によって放電が電極中央に集中してしまうこ
とに着目し、カソード、もしくは、アノードを光軸方向
に複数個に分割してその間にレーザガスを流すことで電
極間の放電を分散させる。
以下、本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図にはエキシマ−レーザの構成を示す。電極部は、
板状の陰極４と、それと向い合った二個の陽極５ａ、５
ｂから構成され、Ｎｅ、ＨＣｔｌｘｅ又は、Ｈｅ 、
Ｆ ｚ ｈ Ｋ ｒなどで構成されるエキシマ−レーザ
ガスは、ガス流６として、二個の陽極間を通ってガス流
６ａ、６ｂと二分割され電極間を通過するようになって
いる。直流電圧電源より充電抵抗ＦＬヲ介して充電コン
デンサーＣ１１に直流高電圧を充電しておき、パルスト
ランスＴｒにトリガーパルスを印加すれば、スパークギ
ャップが放電し、ＣｓＫ薯積されていた電荷は、スパー
クギャップを介して移行し、陰極４と陽極５ａ。
板状の陰極４と、それと向い合った二個の陽極５ａ、５
ｂから構成され、Ｎｅ、ＨＣｔｌｘｅ又は、Ｈｅ 、
Ｆ ｚ ｈ Ｋ ｒなどで構成されるエキシマ−レーザ
ガスは、ガス流６として、二個の陽極間を通ってガス流
６ａ、６ｂと二分割され電極間を通過するようになって
いる。直流電圧電源より充電抵抗ＦＬヲ介して充電コン
デンサーＣ１１に直流高電圧を充電しておき、パルスト
ランスＴｒにトリガーパルスを印加すれば、スパークギ
ャップが放電し、ＣｓＫ薯積されていた電荷は、スパー
クギャップを介して移行し、陰極４と陽極５ａ。
５ｂ間にそれぞれ設けた主放電用コンデンサＣ３を充電
する。このとき、陰極４と陽極５ａ、５ｂＣ２の充電電
圧がピーク値になると、陰ａ４と陽極５ａ、５ｂ間で放
心を開始し、ガス流６ａ。
する。このとき、陰極４と陽極５ａ、５ｂＣ２の充電電
圧がピーク値になると、陰ａ４と陽極５ａ、５ｂ間で放
心を開始し、ガス流６ａ。
６ｂで電極間に入ったレーザガスを励起する。励起され
たレーザガスは光を放出して、安定な状態にもどる。こ
の放出された光は、全反射鏡ｌと、出力ｆｉ２で構成さ
れる光共振器によシ増幅されて、出力鏡２側よりレーザ
光３として外部に取９出される。
たレーザガスは光を放出して、安定な状態にもどる。こ
の放出された光は、全反射鏡ｌと、出力ｆｉ２で構成さ
れる光共振器によシ増幅されて、出力鏡２側よりレーザ
光３として外部に取９出される。
本発明によれば、陽極をレーザ光軸方向で二分割した陽
極５ａ、５ｂを設け、レーザガス流６を二分割された陽
極５ａ、５ｂの間を流す。
極５ａ、５ｂを設け、レーザガス流６を二分割された陽
極５ａ、５ｂの間を流す。
この様にガスを流した場合の放電の違いを従来例と比較
して第２図に示す。第２図（ａ）は、陰極４と一個の陽
極７で電極を構成し、ガス流６は電極の横方向よυ流入
する従来例でめり、この時の放電状態は、電極の中央部
に集中し、放電状態８のようになり、電極間全体にわた
る放ｔ’を得ることが困難であった。第２図Φ）のよう
に陰極を５ａ。
して第２図に示す。第２図（ａ）は、陰極４と一個の陽
極７で電極を構成し、ガス流６は電極の横方向よυ流入
する従来例でめり、この時の放電状態は、電極の中央部
に集中し、放電状態８のようになり、電極間全体にわた
る放ｔ’を得ることが困難であった。第２図Φ）のよう
に陰極を５ａ。
５ｂと分割し、ガス流６を横方向より流した場合には、
放電状態は９のようになシ、陽極側で幅の広い放電状態
を得ることが出来る。さらに、ガス流６を第２図（Ｃ）
の様に陽極５ａ、５ｂの間を流し、放電部よりガス流を
５ａ、６ｂと分流することにより、陰極４側の放電はガ
スｉ６ａ、６ｂによって外側に流され、放電状ａｌＯの
様に陽極５ａ。
放電状態は９のようになシ、陽極側で幅の広い放電状態
を得ることが出来る。さらに、ガス流６を第２図（Ｃ）
の様に陽極５ａ、５ｂの間を流し、放電部よりガス流を
５ａ、６ｂと分流することにより、陰極４側の放電はガ
スｉ６ａ、６ｂによって外側に流され、放電状ａｌＯの
様に陽極５ａ。
５ｂ側および陰極４側の放電状態も幅広くすることがで
きる。
きる。
第３図には予備電離電極１１．１２ａ、１２ｂを用いた
本発明の他の実施例を示す。レーザガスは第２図（Ｃ）
と同様に陽極５ａ、５ｂの間を通過して６ａ、６ｂの様
に流れている。主放電用コンデンサＣ２への充電は、陽
極５ａ、５ｂの間の、レーザ光軸方向に複数個配置され
たピン状の予備電離電極１１．１２ａ、１２ｂの微小間
隙でアーク放電を牛って行なわれる。本実施例によれば
、陽極間を通過するレーザガスは、予備電離電極１１゜
１２ａ、１２ｂで起っているアーク放電によって発生す
る紫外線で電離され、陽極５ａ、５ｂと陰極４の間に流
れていき、陽極と陰極で構成される放電空間全体を電離
されたレーザガスで満すことができる。その後、主放電
用コンデンサーＣ２の充電が完了し、陽極５ａ、５ｂと
陰極４間で主放電が起ると、放電空間全体に電離された
レーザガスがあるので、放電空間に一様な放電を行なわ
せることかできる。
本発明の他の実施例を示す。レーザガスは第２図（Ｃ）
と同様に陽極５ａ、５ｂの間を通過して６ａ、６ｂの様
に流れている。主放電用コンデンサＣ２への充電は、陽
極５ａ、５ｂの間の、レーザ光軸方向に複数個配置され
たピン状の予備電離電極１１．１２ａ、１２ｂの微小間
隙でアーク放電を牛って行なわれる。本実施例によれば
、陽極間を通過するレーザガスは、予備電離電極１１゜
１２ａ、１２ｂで起っているアーク放電によって発生す
る紫外線で電離され、陽極５ａ、５ｂと陰極４の間に流
れていき、陽極と陰極で構成される放電空間全体を電離
されたレーザガスで満すことができる。その後、主放電
用コンデンサーＣ２の充電が完了し、陽極５ａ、５ｂと
陰極４間で主放電が起ると、放電空間全体に電離された
レーザガスがあるので、放電空間に一様な放電を行なわ
せることかできる。
本発明によれば、放電空間全体に放電を行なうことがで
きるので、大口径のレーザ光を得ることが出来る。
きるので、大口径のレーザ光を得ることが出来る。
第１図は本発明の一実施例である横方向放電エキシマ−
レーザの構成を示す斜視図、ｌ／ｃ２図はレーザ光軸方
向から見た正面図で本発明による放電状態を示した図、
第３図は本発明の一実施例をレーザ光軸方向から見た正
面図である。 ４・・・＃ｃ４ｉ！！、５ａ、５ｂ・・・陽極、６．６
ａ、６ｂ・−・ガス流、ｌｉｅ １２ａ、１２ｂ・・
・予備電離電極。
レーザの構成を示す斜視図、ｌ／ｃ２図はレーザ光軸方
向から見た正面図で本発明による放電状態を示した図、
第３図は本発明の一実施例をレーザ光軸方向から見た正
面図である。 ４・・・＃ｃ４ｉ！！、５ａ、５ｂ・・・陽極、６．６
ａ、６ｂ・−・ガス流、ｌｉｅ １２ａ、１２ｂ・・
・予備電離電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、対向する陽極電極と陰極電極との間にパルス放電を
発生させ、パルスレーザ発振を行なう横方向放電パルス
レーザ装置において、 前記陽極電極もしくは、前記陰極を複数個設け、その複
数の前記陽極電極間又は前記陰極電極間を放電方向と同
一方向にレーザガスが流れるように構成したことを特徴
とするガスレーザ装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、さらに前記陽極電
極又は前記陽極電極の間に予備電離電極を設けたことを
特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2829285A JPS61188979A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2829285A JPS61188979A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61188979A true JPS61188979A (ja) | 1986-08-22 |
Family
ID=12244535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2829285A Pending JPS61188979A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61188979A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6473445B1 (en) | 1999-08-05 | 2002-10-29 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Gas laser |
| EP2712036A1 (en) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | Excico France | A gas circulation loop for a laser gas discharge tube |
-
1985
- 1985-02-18 JP JP2829285A patent/JPS61188979A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6473445B1 (en) | 1999-08-05 | 2002-10-29 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Gas laser |
| EP2712036A1 (en) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | Excico France | A gas circulation loop for a laser gas discharge tube |
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