JPS61189281U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61189281U JPS61189281U JP7280085U JP7280085U JPS61189281U JP S61189281 U JPS61189281 U JP S61189281U JP 7280085 U JP7280085 U JP 7280085U JP 7280085 U JP7280085 U JP 7280085U JP S61189281 U JPS61189281 U JP S61189281U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- damper
- exhaust port
- intake port
- burn
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示すバーンイン装置
の概略構成図、第２図は従来のバーンイン装置の
構成図、第３図は第２図中のバーンインボードの
斜視図、第４図は第１図の動作を説明するための
バーンイン装置の構成図である。 １０…筐体、１２…チヤンバ、１３…ダクト、
１４…送風機、１５…ヒータ、１７…ダンパ、１
８…吸気口、１９…排気口。
の概略構成図、第２図は従来のバーンイン装置の
構成図、第３図は第２図中のバーンインボードの
斜視図、第４図は第１図の動作を説明するための
バーンイン装置の構成図である。 １０…筐体、１２…チヤンバ、１３…ダクト、
１４…送風機、１５…ヒータ、１７…ダンパ、１
８…吸気口、１９…排気口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体装置６を収納するチヤンバ１２と、加熱
用のヒータ１５と、このヒータ１５で加熱された
空気を循環させる送風機１４とを備え、前記チヤ
ンバ１２内に収納される半導体装置６を高温雰囲
気下で動作試験を行なうようにした半導体装置の
バーンイン装置において、 前記送風機１４で形成される熱風循環流路へ冷
気を導入する吸気口１８と、 前記熱風循環流路を流れる熱風を外部へ排出す
る排気口１９と、 前記吸気口１８及び排気口１９を開閉するダン
パ１７と、 前記半導体装置６の試験終了時に前記ヒータ１
５をオフ状態にすると共に前記ダンパ１７を開状
態に切換え制御する制御装置２０とを設けたこと
を特徴とする半導体装置のバーンイン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7280085U JPS61189281U (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7280085U JPS61189281U (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61189281U true JPS61189281U (ja) | 1986-11-26 |
Family
ID=30611554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7280085U Pending JPS61189281U (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61189281U (ja) |
-
1985
- 1985-05-16 JP JP7280085U patent/JPS61189281U/ja active Pending
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