JPS61190841A - Ｘ線像表示装置 - Google Patents
Ｘ線像表示装置Info
- Publication number
- JPS61190841A JPS61190841A JP60032443A JP3244385A JPS61190841A JP S61190841 A JPS61190841 A JP S61190841A JP 60032443 A JP60032443 A JP 60032443A JP 3244385 A JP3244385 A JP 3244385A JP S61190841 A JPS61190841 A JP S61190841A
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- JP
- Japan
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- rays
- image display
- ray
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、試料の形状や微細構造の観察時に用いられる
Ｘ線のＸ線計数値マイクロアナライザにおけるＸ線のＸ
線計数値像表示装置に関する。
Ｘ線のＸ線計数値マイクロアナライザにおけるＸ線のＸ
線計数値像表示装置に関する。
（従来の技術）
Ｘａマイクロアナライザは、極めて細く絞った電子線束
を試料表面に照射し、そこから放射される特性Ｘ線（試
料を構成する元素に固有の波長をもつＸ線）を測定し・
、試料に含まれている元素を定性的或いは定口的に測定
することにより、試料の構造を解明するための分析装置
である。
を試料表面に照射し、そこから放射される特性Ｘ線（試
料を構成する元素に固有の波長をもつＸ線）を測定し・
、試料に含まれている元素を定性的或いは定口的に測定
することにより、試料の構造を解明するための分析装置
である。
第４図は、このようなＸ線マイクロアナライザにおいて
、電子線束又は、試料を載置した試料ステージを二次元
的に走査し、そこからの特性Ｘ線のＸ線計数値を計数し
てこれを像として表示する場合のｘｓｉｉ計数値のヒス
トグラムを示す図である。このヒストグラムは経験上知
られているものであって、平均計数値付近がピークとな
っている。 ゛得られたＸ＊＊は、ＣＲＴ等の濃淡画
像表示装置に表示されるが、この場合、２Ｎ（分解能Ｎ
ビット）のＤ／Ａ変換、器を使用して２Ｎｌｌｉｌｌを
実現する。
、電子線束又は、試料を載置した試料ステージを二次元
的に走査し、そこからの特性Ｘ線のＸ線計数値を計数し
てこれを像として表示する場合のｘｓｉｉ計数値のヒス
トグラムを示す図である。このヒストグラムは経験上知
られているものであって、平均計数値付近がピークとな
っている。 ゛得られたＸ＊＊は、ＣＲＴ等の濃淡画
像表示装置に表示されるが、この場合、２Ｎ（分解能Ｎ
ビット）のＤ／Ａ変換、器を使用して２Ｎｌｌｉｌｌを
実現する。
（発明が解決しようとする問題点）
従来のこの種の装置において、Ｘ線像を濃淡画像表示装
置に表示する場合、最大計数値−２Ｎ −１として規
格化して表示しようとすると、第５図に示ずような・ピ
ークが低域にかたよったヒストグラムとなり、全体とし
て暗い像となり、且つコントラストの少ない平板的な像
となってしまうという問題があった。それ故に従来装置
においては、第５図のヒストグラムを別途グラフィック
表示装置に表示して、オペレータが判断して定数Ｋを決
め、ＸＳ＋計数値をＫで割った値Ｐが２ １より小さく
なるように（Ｐ≦２’−１＞演算しく ２Ｎ−１より大
きくなった画素は２Ｎ −１に置換する）画像表示装置
に表示していた。
置に表示する場合、最大計数値−２Ｎ −１として規
格化して表示しようとすると、第５図に示ずような・ピ
ークが低域にかたよったヒストグラムとなり、全体とし
て暗い像となり、且つコントラストの少ない平板的な像
となってしまうという問題があった。それ故に従来装置
においては、第５図のヒストグラムを別途グラフィック
表示装置に表示して、オペレータが判断して定数Ｋを決
め、ＸＳ＋計数値をＫで割った値Ｐが２ １より小さく
なるように（Ｐ≦２’−１＞演算しく ２Ｎ−１より大
きくなった画素は２Ｎ −１に置換する）画像表示装置
に表示していた。
しかしながら、このような手法は、ヒストグラムを演算
９表示するため、グラフィック表示装置が別に必要なう
えに、演算時間がかかるという問題点がある。又、定数
Ｋをオペレータがその都度判断するために、表示される
Ｘｔａ像にバラツキが生じるという問題点がある。
９表示するため、グラフィック表示装置が別に必要なう
えに、演算時間がかかるという問題点がある。又、定数
Ｋをオペレータがその都度判断するために、表示される
Ｘｔａ像にバラツキが生じるという問題点がある。
本発明は、従来の手法におけるこのような問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、オペレータの判
断を不要とし、常に一定の基準に従った良質のＸ線像を
簡単な構成で、且つ短時間で得ることのできるＸ！Ｑ像
表示装置を提供しようとするものである。
てなされたものであって、その目的は、オペレータの判
断を不要とし、常に一定の基準に従った良質のＸ線像を
簡単な構成で、且つ短時間で得ることのできるＸ！Ｑ像
表示装置を提供しようとするものである。
（問題点を解決するための手段）
前記した問題点を解決する本発明は、電子線束を試料表
面に照射すると共に、前記電子線束又は試料を走査し、
前記試料から放射されるＸＩ！を計数し、これをＸＷＡ
像としてＩｌｌ両画像表示装置表示するｘｌｌＡ＠表示
装置において、前記試料から放射されるＸｓ！のｘ１ｍ
計数値の平均計数値を、前記濃淡画像表示装置の中心濃
度値に規格化して表示するように構成したことを特徴と
するものである。
面に照射すると共に、前記電子線束又は試料を走査し、
前記試料から放射されるＸＩ！を計数し、これをＸＷＡ
像としてＩｌｌ両画像表示装置表示するｘｌｌＡ＠表示
装置において、前記試料から放射されるＸｓ！のｘ１ｍ
計数値の平均計数値を、前記濃淡画像表示装置の中心濃
度値に規格化して表示するように構成したことを特徴と
するものである。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成ブロック図であ
る。図において、１は細く絞った電子線束を出射する電
子線束（１！ｉ子ビーム）発生手段で、電子銃や１１１
！！レンズ等を含んでいる。２は電子線を走査する走査
コイルのような走査手段で、電子線走査回路２１からの
信号が印加される。３は試料、４はこの試料３が載置さ
れた試料台で、試料走査回路４１からの信号によって走
査される。５は試料３から放射されるＸｔａを検出する
Ｘ線検出器、５１はＸ線検出器５からの信号を計数する
Ｘ線計数回路、５２は基準となる周期の信号（クロック
信号）をＸ線計数回路５１に出力するタイマー回路であ
る。
る。図において、１は細く絞った電子線束を出射する電
子線束（１！ｉ子ビーム）発生手段で、電子銃や１１１
！！レンズ等を含んでいる。２は電子線を走査する走査
コイルのような走査手段で、電子線走査回路２１からの
信号が印加される。３は試料、４はこの試料３が載置さ
れた試料台で、試料走査回路４１からの信号によって走
査される。５は試料３から放射されるＸｔａを検出する
Ｘ線検出器、５１はＸ線検出器５からの信号を計数する
Ｘ線計数回路、５２は基準となる周期の信号（クロック
信号）をＸ線計数回路５１に出力するタイマー回路であ
る。
６は演算制御回路で、Ｘ線計数回路５１、タイマ、−回
路５２からの信号を入力し、所定の演算を行い画像表示
のための信号を作ると共に、電子線走査回路２１、試料
走査回路４１にそれぞれ走査制御信号を出力する。この
演算制御回路６にお−い、て、６１はＸ線計数回路５１
からのＸ線計数値の平均計数値を求め、この平均計数値
を濃淡画像表示Ｍ＆の中心濃度値に規格化する手段を機
能ブロックとして示したものである。
路５２からの信号を入力し、所定の演算を行い画像表示
のための信号を作ると共に、電子線走査回路２１、試料
走査回路４１にそれぞれ走査制御信号を出力する。この
演算制御回路６にお−い、て、６１はＸ線計数回路５１
からのＸ線計数値の平均計数値を求め、この平均計数値
を濃淡画像表示Ｍ＆の中心濃度値に規格化する手段を機
能ブロックとして示したものである。
７は演算制御回路６から出力される規格化された濃淡画
像゛信号を表示する濃淡画像表示装置、８は演算制御回
路６に結合し各種のデータを記憶するデータ記憶回路で
ある。
像゛信号を表示する濃淡画像表示装置、８は演算制御回
路６に結合し各種のデータを記憶するデータ記憶回路で
ある。
このように構成された装置の動作を第２図のフローチャ
ートを参照しながら説明すれば、以下のとおりである。
ートを参照しながら説明すれば、以下のとおりである。
はじめに、演ＩＩｔＩ１３ｒｎ回路６は、電子線走査回
路２１或いは試料走査回路４１に制御信号を出力し、電
子線束或いは試料台４を走査する（ステップ１）。又、
走査状態におけるＸ線のＸ線計数値計数値をＸ線検出器
５、Ｘ線のＸ線計数値計数回路５１を介して収集する（
ステップ２）。ここでのＸ線計数値の収集は、最大値と
累積加算値を同時に演算している。次に、累積和＊ｍを
総画素数で除算演算する〈ステップ３）。
路２１或いは試料走査回路４１に制御信号を出力し、電
子線束或いは試料台４を走査する（ステップ１）。又、
走査状態におけるＸ線のＸ線計数値計数値をＸ線検出器
５、Ｘ線のＸ線計数値計数回路５１を介して収集する（
ステップ２）。ここでのＸ線計数値の収集は、最大値と
累積加算値を同時に演算している。次に、累積和＊ｍを
総画素数で除算演算する〈ステップ３）。
これによって、平均計数値を算出する。次に、平均計数
値が（２）／２になるように（ここでＮはＤ／Ａ変換器
の分解能Ｎビットを示す）、即ち、濃淡画像表示装置７
の中心濃度値となるように規格化する（ステップ４）。
値が（２）／２になるように（ここでＮはＤ／Ａ変換器
の分解能Ｎビットを示す）、即ち、濃淡画像表示装置７
の中心濃度値となるように規格化する（ステップ４）。
この際、規格化された計数値が２Ｎ−１より大きくなる
画素は、２Ｎ −１に置換する。続いて、規格化され
た信号を画像表示装Ｗ１７に出力する（ステップ５）。
画素は、２Ｎ −１に置換する。続いて、規格化され
た信号を画像表示装Ｗ１７に出力する（ステップ５）。
第３図は、このような処理をした結果得られた信号のヒ
ストグラムを示す図である。第４図に示すヒストグラム
に似た特性となっており、良質のＸ線像を画像表示装置
７に表示させることができる。
ストグラムを示す図である。第４図に示すヒストグラム
に似た特性となっており、良質のＸ線像を画像表示装置
７に表示させることができる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、ＸＷＡ計数値の
平均値を表示装置の中心濃度値に規格化するように構成
することにより、オペレータの判断が介在することがな
く、又、画調を判断するためのヒストグラム算出や表示
を行う必要がないことから、常に一定の基準に従った良
質のｘＩ！画像を、簡単な構成で、且つ短時間に表示さ
せることができる。
平均値を表示装置の中心濃度値に規格化するように構成
することにより、オペレータの判断が介在することがな
く、又、画調を判断するためのヒストグラム算出や表示
を行う必要がないことから、常に一定の基準に従った良
質のｘＩ！画像を、簡単な構成で、且つ短時間に表示さ
せることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成ブロック図、第２
図はその動作の一例を示すフローチャート、第３図は第
１図装置において画像表示装置から出力される信号のヒ
ストグラムを示す図、第４図はＸＩ計！！！値のヒスト
グラムを示す図、第５図は従来技術を説明するためのヒ
ストグラムを示す図である。 １・・・電子線束発生手段 ２・・・走査手段３・・・
試料 ５・・・Ｘ線検出器６・・・演算制
御回路 ７・・・画像表示装置８・・・データ記憶
回路 特許出願人 日本電子株式会社 代 理 人 弁理士 井島膝治 外１名 凧４図 凧５図
図はその動作の一例を示すフローチャート、第３図は第
１図装置において画像表示装置から出力される信号のヒ
ストグラムを示す図、第４図はＸＩ計！！！値のヒスト
グラムを示す図、第５図は従来技術を説明するためのヒ
ストグラムを示す図である。 １・・・電子線束発生手段 ２・・・走査手段３・・・
試料 ５・・・Ｘ線検出器６・・・演算制
御回路 ７・・・画像表示装置８・・・データ記憶
回路 特許出願人 日本電子株式会社 代 理 人 弁理士 井島膝治 外１名 凧４図 凧５図
Claims (1)
- 電子線束を試料表面に照射すると共に、前記電子線束又
は試料を走査し、前記試料から放射されるＸ線を計数し
、これをＸ線像として濃淡画像表示装置に表示するＸ線
像表示装置において、前記試料から放射されるＸ線のＸ
線計数値の平均計数値を、前記濃淡画像表示装置の中心
濃度値に規格化して表示するように構成したことを特徴
とするＸ線像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60032443A JPS61190841A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | Ｘ線像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60032443A JPS61190841A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | Ｘ線像表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190841A true JPS61190841A (ja) | 1986-08-25 |
Family
ID=12359104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60032443A Pending JPS61190841A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | Ｘ線像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190841A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002365247A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-18 | Shimadzu Corp | 観察像制御装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104049A (en) * | 1976-02-27 | 1977-09-01 | Hitachi Ltd | Scanning type electronic microscope and similar device |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP60032443A patent/JPS61190841A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104049A (en) * | 1976-02-27 | 1977-09-01 | Hitachi Ltd | Scanning type electronic microscope and similar device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002365247A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-18 | Shimadzu Corp | 観察像制御装置 |
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