JPS61190841U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61190841U JPS61190841U JP7584285U JP7584285U JPS61190841U JP S61190841 U JPS61190841 U JP S61190841U JP 7584285 U JP7584285 U JP 7584285U JP 7584285 U JP7584285 U JP 7584285U JP S61190841 U JPS61190841 U JP S61190841U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gauge
- shear type
- temperature
- pressure
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は第１図の装置のゲージ配置図、第３図は第２
図のゲージの回路図、第４図は第２図のゲージの
動作説明図、第５図は本考案の他の実施例を示す
ゲージ配置図、第６図は従来装置の構成図である
。 ２……ゲージチツプ、ＧＰＴ……せん断形ゲー
ジ、ＧＪ……発熱抵抗体。
図は第１図の装置のゲージ配置図、第３図は第２
図のゲージの回路図、第４図は第２図のゲージの
動作説明図、第５図は本考案の他の実施例を示す
ゲージ配置図、第６図は従来装置の構成図である
。 ２……ゲージチツプ、ＧＰＴ……せん断形ゲー
ジ、ＧＪ……発熱抵抗体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 結晶面が１００の面方向の半導体単結晶の
ゲージチツプ上にＰ形で形成されたせん断形ゲー
ジを有する半導体圧力変換器において、前記せん
断形ゲージの結晶軸が〈１００〉方向に前記ゲー
ジチツプ上に形成され前記せん断形ゲージの入力
端に定電流が供給されて被測定圧力に応答する電
圧ＥＰを出力端より得ると同時に前記ゲージチツ
プの温度変化に応答する電圧ＥＴを前記入力端よ
り得る圧力温度ゲージと、前記せん断形ゲージに
近接して平行に形成され前記せん断形ゲージをジ
ユール熱によつて加熱する発熱抵抗体とを具備す
るとともに、前記発熱抵抗体の発熱量を周期的に
変化させて、第１の温度ｔ１と第２の温度ｔ２で
圧力温度ゲージの電圧ＥＰ及びＥＴをそれぞれ検
出し、所定の演算を行なつて測定圧力を知るよう
にしたことを特徴とする半導体圧力変換器。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載の半導
体圧力変換器において、前記所定の演算は、 を含むことを特徴とする半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7584285U JPS61190841U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7584285U JPS61190841U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190841U true JPS61190841U (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=30617437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7584285U Pending JPS61190841U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190841U (ja) |
-
1985
- 1985-05-22 JP JP7584285U patent/JPS61190841U/ja active Pending
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