JPS61195048U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61195048U JPS61195048U JP1985077558U JP7755885U JPS61195048U JP S61195048 U JPS61195048 U JP S61195048U JP 1985077558 U JP1985077558 U JP 1985077558U JP 7755885 U JP7755885 U JP 7755885U JP S61195048 U JPS61195048 U JP S61195048U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- shielding case
- wall
- stator
- shields
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図〜第４図は従来装置の構成を示す断面図である
。１……電動機、２……動力伝達機構、３……カ
ツプリング、４……入力伝達軸、５……介設金具
、６……出力伝達軸、７……保持ケース、８……
軸穴、９……ベローズ、１０……スリーブケース
、１１……伝達軸、１２……エラストマ材、１３
……遮蔽ケース、１４……回転子、１５……マグ
ネツト、１６……回転ケース、１７……遮蔽ケー
ス、１８ａ，１８ｂ……軸受、１９……回転子、
１９ａ……回転軸、２０……固定子、２１……壁
部、２２……パツキン、２３……止め輪。
図〜第４図は従来装置の構成を示す断面図である
。１……電動機、２……動力伝達機構、３……カ
ツプリング、４……入力伝達軸、５……介設金具
、６……出力伝達軸、７……保持ケース、８……
軸穴、９……ベローズ、１０……スリーブケース
、１１……伝達軸、１２……エラストマ材、１３
……遮蔽ケース、１４……回転子、１５……マグ
ネツト、１６……回転ケース、１７……遮蔽ケー
ス、１８ａ，１８ｂ……軸受、１９……回転子、
１９ａ……回転軸、２０……固定子、２１……壁
部、２２……パツキン、２３……止め輪。
Claims (1)
- 真空室の壁部に気密に装着され外気を遮蔽する
遮蔽ケースと、この遮蔽ケース内に回転自在に軸
支された回転子と、この回転子に対向させて前記
遮蔽ケースの壁面に周設され回転磁界により回転
子に回転力を与える固定子とを有することを特徴
とする真空装置の回転動力入力装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985077558U JPH058674Y2 (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985077558U JPH058674Y2 (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61195048U true JPS61195048U (ja) | 1986-12-04 |
| JPH058674Y2 JPH058674Y2 (ja) | 1993-03-04 |
Family
ID=30620732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985077558U Expired - Lifetime JPH058674Y2 (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH058674Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0341249U (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-19 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5741374A (en) * | 1980-08-25 | 1982-03-08 | Hitachi Ltd | Sample mounting and dismounting device in plasma etching device or resembling device |
-
1985
- 1985-05-24 JP JP1985077558U patent/JPH058674Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5741374A (en) * | 1980-08-25 | 1982-03-08 | Hitachi Ltd | Sample mounting and dismounting device in plasma etching device or resembling device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0341249U (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058674Y2 (ja) | 1993-03-04 |