JPS6120145B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6120145B2 JPS6120145B2 JP52094818A JP9481877A JPS6120145B2 JP S6120145 B2 JPS6120145 B2 JP S6120145B2 JP 52094818 A JP52094818 A JP 52094818A JP 9481877 A JP9481877 A JP 9481877A JP S6120145 B2 JPS6120145 B2 JP S6120145B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling body
- aluminum
- base material
- metal
- body base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属被覆されたアルミニウム製鋳造
冷却体の製造方法の改良に関する。
冷却体の製造方法の改良に関する。
従来法により金属被覆されたアルミニウム製鋳
造冷却体は、長期使用していると、ふくれまたは
剥離等の欠陥のため、電気並びに熱の接触抵抗が
増大し、電気並びに熱の伝導性が劣化する欠点を
有してした。
造冷却体は、長期使用していると、ふくれまたは
剥離等の欠陥のため、電気並びに熱の接触抵抗が
増大し、電気並びに熱の伝導性が劣化する欠点を
有してした。
本発明は、上記欠点を除去して経時変化を受け
ない金属被覆アルミニウム製鋳造冷却体を製造す
る方法を提供しようとしてなされたもので、その
要旨とするところは図面においてアルミニウム製
鋳造冷却体母材１の半導体素子の熱伝導部品（多
くは銅製である）と接触する面２を押圧加工して
表層部３に塑性変形を与えた後その下層部を残し
て切削加工を施し、更にその後に該押圧加工効果
の残存する前記下層部表面に金属被覆せしめてア
ルミニウム製鋳造冷却体を得ることを特徴とする
ものである。
ない金属被覆アルミニウム製鋳造冷却体を製造す
る方法を提供しようとしてなされたもので、その
要旨とするところは図面においてアルミニウム製
鋳造冷却体母材１の半導体素子の熱伝導部品（多
くは銅製である）と接触する面２を押圧加工して
表層部３に塑性変形を与えた後その下層部を残し
て切削加工を施し、更にその後に該押圧加工効果
の残存する前記下層部表面に金属被覆せしめてア
ルミニウム製鋳造冷却体を得ることを特徴とする
ものである。
本発明に使用するアルミニウムには、
JISH4180〜A1060、A6063等の純アルミニウム又
はこれに類するアルミニウム合金を含み、電気並
びに熱の伝導率の悪い高合金アルミニウムは含ま
れない。アルミニウムの鋳造は、通常の鋳造方法
で行う。
JISH4180〜A1060、A6063等の純アルミニウム又
はこれに類するアルミニウム合金を含み、電気並
びに熱の伝導率の悪い高合金アルミニウムは含ま
れない。アルミニウムの鋳造は、通常の鋳造方法
で行う。
表層部３に塑性変形を与える押圧加工は、プラ
スト処理（サンドプラスト処理、スチールシヨツ
トプラスト法、アルミニウム粒子をプラストする
方法等）、ハンマー、プレス加工等で行う。これ
によつて半導体素子の熱伝導部品と接触する面２
に鋳造によつて生じたブローホール等が潰された
後、その下層部を残して切削加工を施し更にその
後に該押圧加工効果の残存する前記下層部表面に
金属被覆を施し、長期間冷却体１としても押圧加
工でブローホール等が潰された下層部表面（従来
の押出品表面と同等な表面状態の所）に金属被覆
されるため、ただの鋳物品の切削面に金属被覆し
た如く、ふくれまたは剥離等が生ずることなく、
電気並びに熱の接触抵抗を増大することがなく、
電気並びに熱の伝導性を劣化することがない。
スト処理（サンドプラスト処理、スチールシヨツ
トプラスト法、アルミニウム粒子をプラストする
方法等）、ハンマー、プレス加工等で行う。これ
によつて半導体素子の熱伝導部品と接触する面２
に鋳造によつて生じたブローホール等が潰された
後、その下層部を残して切削加工を施し更にその
後に該押圧加工効果の残存する前記下層部表面に
金属被覆を施し、長期間冷却体１としても押圧加
工でブローホール等が潰された下層部表面（従来
の押出品表面と同等な表面状態の所）に金属被覆
されるため、ただの鋳物品の切削面に金属被覆し
た如く、ふくれまたは剥離等が生ずることなく、
電気並びに熱の接触抵抗を増大することがなく、
電気並びに熱の伝導性を劣化することがない。
押圧加工後の切削加工は、半導体素子の熱伝導
部品との接触面２を平坦に仕上げる上で不可欠の
加工であり、かつ押圧加工で潰されたブローホー
ル等の層を残存させるように薄く切削する必要が
あり、切削加工は一般に知られた方法が採られ
る。
部品との接触面２を平坦に仕上げる上で不可欠の
加工であり、かつ押圧加工で潰されたブローホー
ル等の層を残存させるように薄く切削する必要が
あり、切削加工は一般に知られた方法が採られ
る。
切削加工後に施される金属被覆は、電気メツ
キ、金属の拡散浸透（特許第527777号所謂カツパ
ライジング法、その他）、蒸着等でなされる。
キ、金属の拡散浸透（特許第527777号所謂カツパ
ライジング法、その他）、蒸着等でなされる。
この場合、冷却体母材１のアルミニウムと半導
体素子の熱伝導部品の金属の双方に親和性があ
り、かつ熱伝導率のよい金属、例えば、銅、銀、
錫等が被覆される。又は冷却体母材１のアルミニ
ウムと親和性のある金属被覆を下地として、半導
体素子の熱伝導部品の金属にも親和性のある仕上
げメツキ、例えば銅、銀、錫等の被覆をすること
により、被覆層が厚くなり、ふくれ又は剥離等の
欠陥が生じにくくなるという結果が得られる。
体素子の熱伝導部品の金属の双方に親和性があ
り、かつ熱伝導率のよい金属、例えば、銅、銀、
錫等が被覆される。又は冷却体母材１のアルミニ
ウムと親和性のある金属被覆を下地として、半導
体素子の熱伝導部品の金属にも親和性のある仕上
げメツキ、例えば銅、銀、錫等の被覆をすること
により、被覆層が厚くなり、ふくれ又は剥離等の
欠陥が生じにくくなるという結果が得られる。
上記の如くにして製造された冷却体１は、耐食
性及び密着性が優れていて、長期使用に対しても
電気並びに熱の伝導性が劣化することがない。
性及び密着性が優れていて、長期使用に対しても
電気並びに熱の伝導性が劣化することがない。
次に本発明の１実施例を説明する。
純アルミニウム（JISH4180〜A1060のアルミ
ニウム（99.60％以上））を溶融してアルミニウム
製冷却体母材１を鋳造成形した後、該冷却体母材
１の半導体素子との接触面２にスチールシヨツト
プラストを10分間施して、梨地化された該表面を
旋盤で薄く切削除去して平坦となす。
ニウム（99.60％以上））を溶融してアルミニウム
製冷却体母材１を鋳造成形した後、該冷却体母材
１の半導体素子との接触面２にスチールシヨツト
プラストを10分間施して、梨地化された該表面を
旋盤で薄く切削除去して平坦となす。
該切削除去でも未だ残つている、押圧でブロー
ホール等が潰された該平坦面に粘着性のあるハイ
ドロカーボンとしてワセリンをむらなく薄く塗装
し、その塗装面にハロゲン化金属の微粉末として
塩化第１銅の結晶微粉末を散布密着し、次いで該
冷却体母材１を傾斜させるか、又は空気を吹き付
けて余分の塩化第１銅の結晶微粉末を排除し、該
冷却体母材１を炉内に挿入して450℃付近まで加
熱し、該冷却体母材１表面における塩化アルミニ
ウムの昇華発煙が終了してから炉外に取り出し、
該冷却体母材１を常温まで冷却した後、表面の残
渣を水洗除去して該冷却体母材１の表面に20μの
銅被膜を形成した。
ホール等が潰された該平坦面に粘着性のあるハイ
ドロカーボンとしてワセリンをむらなく薄く塗装
し、その塗装面にハロゲン化金属の微粉末として
塩化第１銅の結晶微粉末を散布密着し、次いで該
冷却体母材１を傾斜させるか、又は空気を吹き付
けて余分の塩化第１銅の結晶微粉末を排除し、該
冷却体母材１を炉内に挿入して450℃付近まで加
熱し、該冷却体母材１表面における塩化アルミニ
ウムの昇華発煙が終了してから炉外に取り出し、
該冷却体母材１を常温まで冷却した後、表面の残
渣を水洗除去して該冷却体母材１の表面に20μの
銅被膜を形成した。
その後200℃にて10時間加熱した後水冷して、
その銅被覆層におけるふくれを検査した結果、従
来の鋳造後表面切削してメツキを施したものは
7.3個／cm3であつたのに対して、上記実施例のも
のは1.2個／cm3であり、本発明に係るものは、非
常にふくれが少ないことが判明した。
その銅被覆層におけるふくれを検査した結果、従
来の鋳造後表面切削してメツキを施したものは
7.3個／cm3であつたのに対して、上記実施例のも
のは1.2個／cm3であり、本発明に係るものは、非
常にふくれが少ないことが判明した。
本発明は、上記実施例に限定されることなく、
その特許請求の範囲記載の要旨に反しない限り附
加変更をなし得るものであつて、例えば、上記
JISH4180−A1060の純アルミニウムに限らず、
熱伝導率が良好なアルミニウム合金でもよいし、
又金属被覆の前処理としてアルミニウム酸化皮膜
の除去を施してもよい。
その特許請求の範囲記載の要旨に反しない限り附
加変更をなし得るものであつて、例えば、上記
JISH4180−A1060の純アルミニウムに限らず、
熱伝導率が良好なアルミニウム合金でもよいし、
又金属被覆の前処理としてアルミニウム酸化皮膜
の除去を施してもよい。
図面は本発明の１実施例の説明図にして、第１
図は側面図、第２図は平面図である。 １：冷却体母材、２：半導体素子との接触面、
３：表層部。
図は側面図、第２図は平面図である。 １：冷却体母材、２：半導体素子との接触面、
３：表層部。
Claims (1)
- １ 半導体素子用アルミニウム製鋳造冷却体の製
造方法において、該冷却体母材の半導体素子と接
触する面を押圧加工して表層部に塑性変形を与え
た後その下層部を残して、切削加工を施し、更に
その後に該押圧加工効果の残存する前記下層部表
面に金属被覆せしめてアルミニウム製鋳造冷却体
を得ることを特徴とする金属被覆されたアルミニ
ウム製鋳造冷却体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9481877A JPS5428574A (en) | 1977-08-08 | 1977-08-08 | Metallcoated aluminum cast cooling element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9481877A JPS5428574A (en) | 1977-08-08 | 1977-08-08 | Metallcoated aluminum cast cooling element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5428574A JPS5428574A (en) | 1979-03-03 |
| JPS6120145B2 true JPS6120145B2 (ja) | 1986-05-21 |
Family
ID=14120626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9481877A Granted JPS5428574A (en) | 1977-08-08 | 1977-08-08 | Metallcoated aluminum cast cooling element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5428574A (ja) |
-
1977
- 1977-08-08 JP JP9481877A patent/JPS5428574A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5428574A (en) | 1979-03-03 |
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