JPS61204844A - 光学情報記録再生デイスクの製造方法 - Google Patents
光学情報記録再生デイスクの製造方法Info
- Publication number
- JPS61204844A JPS61204844A JP60044056A JP4405685A JPS61204844A JP S61204844 A JPS61204844 A JP S61204844A JP 60044056 A JP60044056 A JP 60044056A JP 4405685 A JP4405685 A JP 4405685A JP S61204844 A JPS61204844 A JP S61204844A
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- JP
- Japan
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- molding
- mixture
- optical information
- oxide
- pressure
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- Pending
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は大容量のデータの記録、高速アクセスを可能に
する光学情報記録再生ディスクに関するものである。
する光学情報記録再生ディスクに関するものである。
従来の技術
酸化物に金属を含ませて、光学情報を記録再生する薄膜
の作成方法としては、次の３種類の方法が知られている
。第１は、酸化物をこれを還元する容器に入れて、真空
中で加熱し、酸化物を一部還元しながら薄膜を形成する
方法。第２は、酸化物と、金属及び還元材料を混合し、
これを真空中で加熱する方法。第３は、酸化物蒸発源と
、金属３ ′・ ／ 蒸発源の複数の蒸発源を用いて、共蒸着することにより
、薄膜を形成する方法である。
の作成方法としては、次の３種類の方法が知られている
。第１は、酸化物をこれを還元する容器に入れて、真空
中で加熱し、酸化物を一部還元しながら薄膜を形成する
方法。第２は、酸化物と、金属及び還元材料を混合し、
これを真空中で加熱する方法。第３は、酸化物蒸発源と
、金属３ ′・ ／ 蒸発源の複数の蒸発源を用いて、共蒸着することにより
、薄膜を形成する方法である。
発明が解決しようとする問題点
従来の方法の中で特に最初に述べた第１の還元薄膜形成
及び、第２の混合体による還元薄膜形成法は、真空中で
の加熱において、化学反応を生じ、基板の上に酸化物と
金属の混合体が形成される方法である。
及び、第２の混合体による還元薄膜形成法は、真空中で
の加熱において、化学反応を生じ、基板の上に酸化物と
金属の混合体が形成される方法である。
この反応は、還元用の物質例えば、Ｗ 、 ＡＮ 、Ｆ
ｅ 。
ｅ 。
Ｃｒ 等、材料によって速度が異り、一定の比率の
□膜を形成するためには、材料の種類、混合比、加熱パ
ワー等、厳密に選択する必要があった。又、反応を伴う
ため、蒸着制御を高精度に行う必要がある。
□膜を形成するためには、材料の種類、混合比、加熱パ
ワー等、厳密に選択する必要があった。又、反応を伴う
ため、蒸着制御を高精度に行う必要がある。
第３の方法は、共蒸着であり、反応を除くこと動要因に
なりやすい。
なりやすい。
問題点を解決するための手段
反応過程をなくすために、酸化物及び、所定の金属をあ
らかじめ混合する。ただし混合体の加熱では、相互の蒸
気圧の差により、所望の組成の膜の形成が困難である。
らかじめ混合する。ただし混合体の加熱では、相互の蒸
気圧の差により、所望の組成の膜の形成が困難である。
又、粉体では、蒸発時に、粒状の欠陥を薄膜内に形成１
〜やすいという問題点が発生する。
〜やすいという問題点が発生する。
本発明では、あらかじめ混合体の成型体を作ることが重
要な点であり、この成型体を安定に形成する方法として
、炭素化合物の結合体を混合体に添加する点が特徴であ
る。
要な点であり、この成型体を安定に形成する方法として
、炭素化合物の結合体を混合体に添加する点が特徴であ
る。
作 用
一般に混合体を加圧成型する場合、相互の粒径粘度によ
り、成型構造がかわる。固型性を良好にする必要がある
。このため、炭素化合物をその溶剤と伴に添加し、混合
する。これらの炭素化合物の作用で、混合体は、加圧成
型に耐える粘度を実現できる。さらに、この月利を炭素
化合物に選ぶことにより、一部、酸化物の還元を助ける
機能を持たせることが可能になる。
り、成型構造がかわる。固型性を良好にする必要がある
。このため、炭素化合物をその溶剤と伴に添加し、混合
する。これらの炭素化合物の作用で、混合体は、加圧成
型に耐える粘度を実現できる。さらに、この月利を炭素
化合物に選ぶことにより、一部、酸化物の還元を助ける
機能を持たせることが可能になる。
この加圧成型体を不活性ガス雰囲気中で、加熱処理を施
すことにより、不要な炭素化合物を分解。
すことにより、不要な炭素化合物を分解。
５ベー。
除去できる。
この熱処理成型体を真空中で加熱することにより、安定
な、粒状性欠陥の発生をおさえた蒸着膜の形成が可能に
なる。
な、粒状性欠陥の発生をおさえた蒸着膜の形成が可能に
なる。
実施例
酸化物としてＴｅ０２１モル、 Ｔｅ ０．６モルの割
合で原材料を混合する。
合で原材料を混合する。
結合体として、ポリビニルアルコールを使用する。
温水又は、エチルアルコールにより、わずかこの結合体
をとかすとともに、混合を行う。
をとかすとともに、混合を行う。
これを、３１−ンの加圧で、成型する。成型体は、第１
図に示すように、母体酸化物１、金属粒子２および、結
合添加材料３から構成できる。
図に示すように、母体酸化物１、金属粒子２および、結
合添加材料３から構成できる。
これを、あらかじめ原材料の最も低融点の成分の融点よ
り、低い温度で加熱処理を行う。このＴｅＯ２十Ｔｅ
の場合は、Ｔｅ の融点Ｔｍ＝４４９℃から、熱処理
温度を、４２５℃に選んで不活性ガスＮ２中で処理を行
う。
り、低い温度で加熱処理を行う。このＴｅＯ２十Ｔｅ
の場合は、Ｔｅ の融点Ｔｍ＝４４９℃から、熱処理
温度を、４２５℃に選んで不活性ガスＮ２中で処理を行
う。
得られた成型体を、第２図に示すようにＣｕのルツボ４
に入れ、加熱する。加熱、膜形成は、抵６／・−１ 抗加熱、電子ビーム加熱、スパッタ等の方式が適用でき
る。
に入れ、加熱する。加熱、膜形成は、抵６／・−１ 抗加熱、電子ビーム加熱、スパッタ等の方式が適用でき
る。
以」二の方法で生成した成型体を加熱することにより、
膜形成速度を任意に選んで、ＴａＯ２，１〜Ｏ，Ｓ酸化
物、金属から々る光学情報記録再生膜を作ることができ
る。
膜形成速度を任意に選んで、ＴａＯ２，１〜Ｏ，Ｓ酸化
物、金属から々る光学情報記録再生膜を作ることができ
る。
発明の効果
以上のように本発明によれば反応を伴わない安定な、膜
形成ができる。捷だ蒸発源が固体状であり、粒状欠陥の
少い膜形成ができる。
形成ができる。捷だ蒸発源が固体状であり、粒状欠陥の
少い膜形成ができる。
第１図は本発明の光学情報記録再生ディスクの製造方法
に用いる混合体の断側面図、第２図は同熱処理後の混合
体をルツボに置いた状態を示す断側面図である。 １ ・酸化物母体、２ ・・金属、３・・炭素化物結合
体、４・・ルツボ。
に用いる混合体の断側面図、第２図は同熱処理後の混合
体をルツボに置いた状態を示す断側面図である。 １ ・酸化物母体、２ ・・金属、３・・炭素化物結合
体、４・・ルツボ。
Claims (5)
- （１）酸化物と金属の原材料に、炭素化合物からなる結
合材料を混合し、加圧成型することを特徴とする蒸発源
材料を用い、真空中で、薄膜を形成する光学情報記録再
生ディスクの製造方法。 - （２）酸化物として、ＴｅＯ＿２、ＧｅＯ＿２、ＳｉＯ
＿２、Ｓｂ＿２Ｏ＿３、ＳｎＯ、ＰｂＯ、Ｓｅ＿２Ｏ＿
３の少くとも１つを選び、これに金属として、Ｔｅ、Ｇ
ｅ、Ｓｉ、Ｓｂ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｅ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ
、Ｃｕの少くとも１つを用いることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の光学情報記録再生ディスクの製造
方法。 - （３）炭素化合物として、ポリビニルアルコール、ポリ
ビニルブチラール、でんぷんの少くとも１つを選び、結
合材料として含ませることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の光学情報記録再生ディスクの製造方法。 - （４）混合体を加圧成形した後に、不活性ガス雰囲気に
おいて、構成無機材料の融点以下で、熱処理を施して蒸
発源を得ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の光学情報記録再生ディスクの製造方法。 - （５）熱処理温度を、炭素化合物の分解温度に選ぶこと
を特徴とする特許請求の範囲第４項記載の光学情報記録
再生ディスクの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60044056A JPS61204844A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60044056A JPS61204844A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61204844A true JPS61204844A (ja) | 1986-09-10 |
Family
ID=12680954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60044056A Pending JPS61204844A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61204844A (ja) |
-
1985
- 1985-03-06 JP JP60044056A patent/JPS61204844A/ja active Pending
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