JPS61206236A - アウタ−リ−ドボンデイング方法 - Google Patents
アウタ−リ−ドボンデイング方法Info
- Publication number
- JPS61206236A JPS61206236A JP60046633A JP4663385A JPS61206236A JP S61206236 A JPS61206236 A JP S61206236A JP 60046633 A JP60046633 A JP 60046633A JP 4663385 A JP4663385 A JP 4663385A JP S61206236 A JPS61206236 A JP S61206236A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- reference pattern
- outer lead
- bonding
- bonded
- Prior art date
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3421—Leaded components
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ICデバイスのアウターリードをボンディン
グ対象である配線基板又はリードフレームなどの基板の
アウターリードにボンディングする方法に関するもので
ある。
グ対象である配線基板又はリードフレームなどの基板の
アウターリードにボンディングする方法に関するもので
ある。
一般に、インナーリードボンディング済のICデバイス
を等ピッチで複数個取付けたキャリアテープを長手方向
に移送し、その下側にICデバイスをボンディングすべ
き基板を移送し、キャリアテープから各ICデバイスを
アウターリードの部分で切断して取出し、これを下方に
降下させて基板のアウターリード部にボンディングする
ことが行われている。
を等ピッチで複数個取付けたキャリアテープを長手方向
に移送し、その下側にICデバイスをボンディングすべ
き基板を移送し、キャリアテープから各ICデバイスを
アウターリードの部分で切断して取出し、これを下方に
降下させて基板のアウターリード部にボンディングする
ことが行われている。
この従来のアウターリードボンディングにおい°ζは、
キャリアテープや基板に設けられた孔とこれに係合する
ピン又は爪などから構成された機械的なガイドにより、
ICデバイスのアウターリードの位置と基板のアウター
リードの位置を整合させて位置決めし、位置ずれの検出
、補正を行うことなく、位置合わせ精度は位置決め機構
部の加工、組立精度に依存していた。
キャリアテープや基板に設けられた孔とこれに係合する
ピン又は爪などから構成された機械的なガイドにより、
ICデバイスのアウターリードの位置と基板のアウター
リードの位置を整合させて位置決めし、位置ずれの検出
、補正を行うことなく、位置合わせ精度は位置決め機構
部の加工、組立精度に依存していた。
しかしながら、近年ICデバイスはさらに小型化され、
高密度、多ビン化傾向にあるため、キャリアテープ上の
ICデバイスの取付位置誤差、切断誤差、移動誤差、基
板の位置決め誤差、基板上のアウターリードの配列誤差
などの誤差が集積して、ICデバイスのアウターリード
と基板のアウターリードとの整合が困難であり、そのた
めに製品の小型化を妨げる欠点があった。
高密度、多ビン化傾向にあるため、キャリアテープ上の
ICデバイスの取付位置誤差、切断誤差、移動誤差、基
板の位置決め誤差、基板上のアウターリードの配列誤差
などの誤差が集積して、ICデバイスのアウターリード
と基板のアウターリードとの整合が困難であり、そのた
めに製品の小型化を妨げる欠点があった。
また、これらの誤差をなくすために各要素の精度を上げ
ることにより対処すると、機械各部の加工精度や組立精
度を異常に上げることとなって実用的でなくなる、とい
う欠点があった。
ることにより対処すると、機械各部の加工精度や組立精
度を異常に上げることとなって実用的でなくなる、とい
う欠点があった。
さらにまた、キャリアテープ、Icデバイス、基板等の
誤差は、同一生産ロソト内では同一であるが、生産ロフ
トが変わる毎に微細なる寸法誤差が生ずることもあり、
このこともさらに整合精度を不良にする要因ともなって
いた。
誤差は、同一生産ロソト内では同一であるが、生産ロフ
トが変わる毎に微細なる寸法誤差が生ずることもあり、
このこともさらに整合精度を不良にする要因ともなって
いた。
本発明は、上記従来の問題点を解決し、特定のICデバ
イスと基板の整合に必要な基準パターンを設′定し記憶
させ、この基準パターンに合致するように以後の各整合
位置ずれを整え、精度の高いアウターリードボンディン
グを容易に行わしめようとするものである。
イスと基板の整合に必要な基準パターンを設′定し記憶
させ、この基準パターンに合致するように以後の各整合
位置ずれを整え、精度の高いアウターリードボンディン
グを容易に行わしめようとするものである。
c問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するための手段として、本発明は、I
Cデバイスを複数個取付けたキャリアテープから各IC
デバイスをアウターリード部において切断して取出し、
ボンディング対象たる基板に整合させてアウターリード
ボンディングを行う方法において、特定の整合済のIC
デバイスと基板との相対的整合位置関係を基準パターン
として記憶させ、ボンディングすべき同一種類のICデ
バイスと基板との相対位置関係を検出し、前記基準パタ
ーンにおける相対的整合位置関係に合致するように前記
ボンディングすべきICデバイス又は基板の少なくとも
一方を変位せしめて整合しボンディングを行うことを特
徴とするアウターリードボンディング方法を提供するも
のである。
Cデバイスを複数個取付けたキャリアテープから各IC
デバイスをアウターリード部において切断して取出し、
ボンディング対象たる基板に整合させてアウターリード
ボンディングを行う方法において、特定の整合済のIC
デバイスと基板との相対的整合位置関係を基準パターン
として記憶させ、ボンディングすべき同一種類のICデ
バイスと基板との相対位置関係を検出し、前記基準パタ
ーンにおける相対的整合位置関係に合致するように前記
ボンディングすべきICデバイス又は基板の少なくとも
一方を変位せしめて整合しボンディングを行うことを特
徴とするアウターリードボンディング方法を提供するも
のである。
本発明の一実施例を図面を参照しながら説明すると、特
定の、例えばある生産ロフトにおいて最先に図示しない
キャリアテープからアウターリード部で切断され取出さ
れたICデバイス1は、XY方向へ移動するXYテーブ
ル2とその上のθ方向へ回転操作を行うθテーブル3上
の吸着軸4に、真空吸引孔5を経て下方からの真空吸引
によって固定され、搬送ユニット8によって搬送される
基板6中の打抜き孔7中に保持される。ICデバイス1
と基板6との間には、僅かに隙間があり、ICデバイス
1ば基板6と接触することなく、XYテーブル2及びθ
テーブル3によって自由に移動可能である。
定の、例えばある生産ロフトにおいて最先に図示しない
キャリアテープからアウターリード部で切断され取出さ
れたICデバイス1は、XY方向へ移動するXYテーブ
ル2とその上のθ方向へ回転操作を行うθテーブル3上
の吸着軸4に、真空吸引孔5を経て下方からの真空吸引
によって固定され、搬送ユニット8によって搬送される
基板6中の打抜き孔7中に保持される。ICデバイス1
と基板6との間には、僅かに隙間があり、ICデバイス
1ば基板6と接触することなく、XYテーブル2及びθ
テーブル3によって自由に移動可能である。
しかして、マニプユレータ等によって作業者の摸作量に
したがって、XYテーブル2及びθテーブル3のモータ
が駆動され、第2図の位置から第3図の状態に位!合わ
せし、整合したのちにボンディングを行うが、この整合
時に作業者はICデバイスl及び基板6の画像を写すた
めのITVカメラ9により写し出されたモニターTVの
画像を見ながら、ICデバイス1側のアウターリード1
0と基板6側のアウターリード10′を合わせる作業を
行い、その画像の倍率が大きい時はICデバイス1の全
体を一度にみることができないから、図示しない押釦等
の別の操作スイッチを操作して、ITVカメラ用XYテ
ーブル11を駆動し、予め定められた位置へITVカメ
ラ9を移動し、順次位置合わせに必要な部分をモニター
TV上へ写し出し、これを見ながらXYテーブル2、θ
テーブル3を駆動して第3図のように整合し、アウタ−
リード10.10’のボンディングを行う。
したがって、XYテーブル2及びθテーブル3のモータ
が駆動され、第2図の位置から第3図の状態に位!合わ
せし、整合したのちにボンディングを行うが、この整合
時に作業者はICデバイスl及び基板6の画像を写すた
めのITVカメラ9により写し出されたモニターTVの
画像を見ながら、ICデバイス1側のアウターリード1
0と基板6側のアウターリード10′を合わせる作業を
行い、その画像の倍率が大きい時はICデバイス1の全
体を一度にみることができないから、図示しない押釦等
の別の操作スイッチを操作して、ITVカメラ用XYテ
ーブル11を駆動し、予め定められた位置へITVカメ
ラ9を移動し、順次位置合わせに必要な部分をモニター
TV上へ写し出し、これを見ながらXYテーブル2、θ
テーブル3を駆動して第3図のように整合し、アウタ−
リード10.10’のボンディングを行う。
このようにアウターリード10.10’を整合しボンデ
ィングしたのち、作業者は再びITVカメラ用XYテー
ブル11を駆動しつつ、モニターTV上の画像によりボ
ンディングされたICデバイス】及び基板6上の基準点
をもとに該基準点のXY座標等ICデバイス1と基板6
との相対的整合位置関係を基準データとして基準パター
ンを設定し、記憶させる。この操作における前記基準点
は自由に選ぶことができるが、ICデバイス1側のアウ
ターリードlOの対角線位置の2ケ所に位置合わせマー
ク13.13を付設し、また基板6の打抜き孔7付近の
対角線位置の2ケ所に位置合わせマーク12.12を付
設してこれら基準点とするのが便利である。
ィングしたのち、作業者は再びITVカメラ用XYテー
ブル11を駆動しつつ、モニターTV上の画像によりボ
ンディングされたICデバイス】及び基板6上の基準点
をもとに該基準点のXY座標等ICデバイス1と基板6
との相対的整合位置関係を基準データとして基準パター
ンを設定し、記憶させる。この操作における前記基準点
は自由に選ぶことができるが、ICデバイス1側のアウ
ターリードlOの対角線位置の2ケ所に位置合わせマー
ク13.13を付設し、また基板6の打抜き孔7付近の
対角線位置の2ケ所に位置合わせマーク12.12を付
設してこれら基準点とするのが便利である。
上記のように、ボンディング整合位置の基準パターンの
設定を特定のもの、例えばある生産ロット中の最先のも
のについて目視にて行い、この基準パターンを記憶させ
るいわゆるセルフティーチングを行ったのち、その生産
ロフトのその後のボンディング作業は、ITVカメラ9
による画像の検出装置14によって前記基準パターンと
比較してICデバイス1と基板6の位置合わせマーク1
2゜13の位置ずれを光学的、電気的に自動検出し、基
準パターンに合致する如<XYテーブル2、θテーブル
3を駆動して精度の高い整合を行うことができる。また
、生産ロフトが変わった場合には、再び前述したような
基準パターンのセルフティーチングを行ったのち、この
基準パターンによる整合を行う。
設定を特定のもの、例えばある生産ロット中の最先のも
のについて目視にて行い、この基準パターンを記憶させ
るいわゆるセルフティーチングを行ったのち、その生産
ロフトのその後のボンディング作業は、ITVカメラ9
による画像の検出装置14によって前記基準パターンと
比較してICデバイス1と基板6の位置合わせマーク1
2゜13の位置ずれを光学的、電気的に自動検出し、基
準パターンに合致する如<XYテーブル2、θテーブル
3を駆動して精度の高い整合を行うことができる。また
、生産ロフトが変わった場合には、再び前述したような
基準パターンのセルフティーチングを行ったのち、この
基準パターンによる整合を行う。
また、同一種類のICデバイスエ、基板6のアウターリ
ードボンディングにおいては、設定された特定の基準パ
ターンによってボンディングするもよく、ICデバイス
11基板6の種類が異なるときは基準パターンの設定を
やり直すことが必要である。
ードボンディングにおいては、設定された特定の基準パ
ターンによってボンディングするもよく、ICデバイス
11基板6の種類が異なるときは基準パターンの設定を
やり直すことが必要である。
さらにまた、基準パターンの設定に当たり、すでにボン
ディングされた製品をサンプルとして利用して基準パタ
ーンの設定を行い、この基準パターンによって他の同一
種類のICデバイスl、基板6のアウターリードボンデ
ィングを行うこともでき、その場合には目視による基準
パターン設定操作は不要になる。
ディングされた製品をサンプルとして利用して基準パタ
ーンの設定を行い、この基準パターンによって他の同一
種類のICデバイスl、基板6のアウターリードボンデ
ィングを行うこともでき、その場合には目視による基準
パターン設定操作は不要になる。
以上述べたように本発明によれば、特定の整合済のIC
デバイスと基板との相対的整合位置関係を基準パターン
として記憶させ、以後のICデバイスと基板との相対位
置関係を検出して前記基準パターンに合致するように整
合させてボンディングするものであるから、従来の如き
位置決め機構部の加工、組立精度に依存することなく、
極めて精度の高いボンディングを行うことができ、さら
に製品の小型化にも対応することができるという効果を
有するものである。
デバイスと基板との相対的整合位置関係を基準パターン
として記憶させ、以後のICデバイスと基板との相対位
置関係を検出して前記基準パターンに合致するように整
合させてボンディングするものであるから、従来の如き
位置決め機構部の加工、組立精度に依存することなく、
極めて精度の高いボンディングを行うことができ、さら
に製品の小型化にも対応することができるという効果を
有するものである。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図はアウタ
ーリードボンディングの構成説明図、第2図及び第3図
はICデバイス付近の拡大平面図である。 1・−・ICデバイス、2・−XYテーブル、3・−θ
テーブル、4−吸着軸、5−真空吸引孔、6・・一基板
、7・・・打抜き孔、8・・〜搬送ユニット、9・・・
!T■カメラ、10.10’−・アラターリニド、1l
−4TVカメラ用XYテーブル、12.13−位置合わ
せマーク、14・・・検出装置。 特許出願人 日本電気株式会社 同 海上電機株式会社 代理人弁理士 高 木 正 行 間 薬師 稔 同 依 1) 孝次部 第2図 第3図
ーリードボンディングの構成説明図、第2図及び第3図
はICデバイス付近の拡大平面図である。 1・−・ICデバイス、2・−XYテーブル、3・−θ
テーブル、4−吸着軸、5−真空吸引孔、6・・一基板
、7・・・打抜き孔、8・・〜搬送ユニット、9・・・
!T■カメラ、10.10’−・アラターリニド、1l
−4TVカメラ用XYテーブル、12.13−位置合わ
せマーク、14・・・検出装置。 特許出願人 日本電気株式会社 同 海上電機株式会社 代理人弁理士 高 木 正 行 間 薬師 稔 同 依 1) 孝次部 第2図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ICデバイスを複数個取付けたキャリアテープから
各ICデバイスをアウターリード部において切断して取
出し、ボンディング対象たる基板に整合させてアウター
リードボンディングを行う方法において、特定の整合済
のICデバイスと基板との相対的整合位置関係を基準パ
ターンとして記憶させ、ボンディングすべき同一種類の
ICデバイスと基板との相対位置関係を検出し、前記基
準パターンにおける相対的整合位置関係に合致するよう
に前記ボンディングすべきICデバイス又は基板の少な
くとも一方を変位せしめて整合しボンディングを行うこ
とを特徴とするアウターリードボンディング方法。 2、前記特定の整合済のICデバイスと基板とが、目視
によって整合されたものである特許請求の範囲第1項記
載のアウターリードボンディング方法。 3、前記特定の整合済のICデバイスと基板とが、ボン
ディング済の製品である特許請求の範囲第1項記載のア
ウターリードボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60046633A JPS61206236A (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 | アウタ−リ−ドボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60046633A JPS61206236A (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 | アウタ−リ−ドボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61206236A true JPS61206236A (ja) | 1986-09-12 |
| JPH0449780B2 JPH0449780B2 (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=12752695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60046633A Granted JPS61206236A (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 | アウタ−リ−ドボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61206236A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS642096A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Toshiba Corp | Positioning device for liquid crystal display panel |
-
1985
- 1985-03-11 JP JP60046633A patent/JPS61206236A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS642096A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Toshiba Corp | Positioning device for liquid crystal display panel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449780B2 (ja) | 1992-08-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |