JPS61208002A - 光透過装置 - Google Patents
光透過装置Info
- Publication number
- JPS61208002A JPS61208002A JP4827185A JP4827185A JPS61208002A JP S61208002 A JPS61208002 A JP S61208002A JP 4827185 A JP4827185 A JP 4827185A JP 4827185 A JP4827185 A JP 4827185A JP S61208002 A JPS61208002 A JP S61208002A
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- Japan
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- light transmitting
- output mirror
- light
- gap
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は光透過装置に関する。
光透過装置の−であるレーザ発振器における光共振器の
場合、励起部（１）の両側に互いに対向して設けられる
全反射！ （２）と出力鏡（３）と構成される。
場合、励起部（１）の両側に互いに対向して設けられる
全反射！ （２）と出力鏡（３）と構成される。
出力鏡（３）から放出されるレーザ光（４）の出力の増
大をはかると、その指向性は図中破線で示すように集束
する方向に変化してくる。このよう表現数はレーザ光が
出力鏡（３）を透過する際に内部で吸収が生じ温度上昇
をもたらす。これによシ、屈折率が上昇したり、また、
透過する部分の熱膨張によって凸レンズ作用が生じるこ
とが原因で起きるものとされている。上記の現象を軽減
するなめに冷却カスを噴出するノズル（５）を設けこの
ノズル（５）から出力鏡（３）の面に冷却ガスを強制的
に吹きつけることが行われていた。しかし、吹き付けら
れた面が一様に冷却されず上記現象を十分に軽減するこ
とができなかった。
大をはかると、その指向性は図中破線で示すように集束
する方向に変化してくる。このよう表現数はレーザ光が
出力鏡（３）を透過する際に内部で吸収が生じ温度上昇
をもたらす。これによシ、屈折率が上昇したり、また、
透過する部分の熱膨張によって凸レンズ作用が生じるこ
とが原因で起きるものとされている。上記の現象を軽減
するなめに冷却カスを噴出するノズル（５）を設けこの
ノズル（５）から出力鏡（３）の面に冷却ガスを強制的
に吹きつけることが行われていた。しかし、吹き付けら
れた面が一様に冷却されず上記現象を十分に軽減するこ
とができなかった。
また、透過窓の場合ではレーザ光が変形によって収束ビ
ームなどの光路の変更や移動してしまう問題があり九。
ームなどの光路の変更や移動してしまう問題があり九。
本発明は透過部での温度上昇による光屈折作用が軽減さ
れる光透過装置を提供するものである。
れる光透過装置を提供するものである。
少なくとも２枚の光透過体を間隙をもって対向させ、こ
の間隙に冷却媒体を流すようＫしたものである。
の間隙に冷却媒体を流すようＫしたものである。
以下１本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。
レーザにおける光共振器を例に挙げ、説明を簡略にする
ため、出力鏡側の構成のみを示し念第１図乃至第４図に
て説明する。すなわち、上記構成は大きく分けて中央部
にそれぞれ透過孔αＣをもち。
ため、出力鏡側の構成のみを示し念第１図乃至第４図に
て説明する。すなわち、上記構成は大きく分けて中央部
にそれぞれ透過孔αＣをもち。
ポル）（１υによシ容器状に合体された２部材からなる
保持体α２と、この保持体内に透過孔α０と同軸に間隙
α３）ヲおいて平行に配置された第１の基板である出力
！ＩＣ１４）および第２の基板である光透過体（ｌ！９
と。
保持体α２と、この保持体内に透過孔α０と同軸に間隙
α３）ヲおいて平行に配置された第１の基板である出力
！ＩＣ１４）および第２の基板である光透過体（ｌ！９
と。
これら出力鏡ａ４）、光透過体α９の外周部の両面を個
々に保持しこれら両者を上記透過孔α１部に気密に当接
しているスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）と、上記保
持体（Ｉ３に接続体αＤを介して接続される供給管鱈お
よび排出管α９とで構成されている。上記構成をさらに
詳述すると、保持体（１つは合体によって図中上下にポ
ケット（２Ｇ、＋２１）を形成している。これらは同じ
く合体時に形成された孔ノ、＠を通シ供給管（１８，σ
１に連通している。スペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）
は熱絶縁性材料から作られ念それぞれ二つ割りになる分
割体で構成され１合体時において外形が矩形になシ内側
に透過孔αＱと同径の空間部を有し、この空間部側Ｋｍ
状の凹溝が形成されている。出力鏡α荀と光透過体α四
とはとの凹溝に嵌入されている。また。
々に保持しこれら両者を上記透過孔α１部に気密に当接
しているスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）と、上記保
持体（Ｉ３に接続体αＤを介して接続される供給管鱈お
よび排出管α９とで構成されている。上記構成をさらに
詳述すると、保持体（１つは合体によって図中上下にポ
ケット（２Ｇ、＋２１）を形成している。これらは同じ
く合体時に形成された孔ノ、＠を通シ供給管（１８，σ
１に連通している。スペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）
は熱絶縁性材料から作られ念それぞれ二つ割りになる分
割体で構成され１合体時において外形が矩形になシ内側
に透過孔αＱと同径の空間部を有し、この空間部側Ｋｍ
状の凹溝が形成されている。出力鏡α荀と光透過体α四
とはとの凹溝に嵌入されている。また。
これらスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）は保持体ＨＩ
Ｃ形成された段差部Ｃ２４）に嵌め込まれている。さら
にスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）の互いに対向する
面にはポケット（４）、ＣＤ方向に出力鏡α荀および光
透過体αつの表面を露出させる角溝（ハ）が多数刻設さ
れていて、これら角溝はポケットｔｎ、ａ１）と間隙（
１３とを連通させる流路になっている。なお、上記供給
管１８は図示せぬ冷却空気等の冷却媒体発生装置に接続
され、排出管（１ωは排出した媒体をその冷却媒体発生
装置足戻すように接続されこれによシ、循環流路を形成
するように構成されている。一方、出力鏡Ｉの光透過体
ａ５に対面する面の反対側の面には誘電体多層膜がコー
ティングされている。
Ｃ形成された段差部Ｃ２４）に嵌め込まれている。さら
にスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）の互いに対向する
面にはポケット（４）、ＣＤ方向に出力鏡α荀および光
透過体αつの表面を露出させる角溝（ハ）が多数刻設さ
れていて、これら角溝はポケットｔｎ、ａ１）と間隙（
１３とを連通させる流路になっている。なお、上記供給
管１８は図示せぬ冷却空気等の冷却媒体発生装置に接続
され、排出管（１ωは排出した媒体をその冷却媒体発生
装置足戻すように接続されこれによシ、循環流路を形成
するように構成されている。一方、出力鏡Ｉの光透過体
ａ５に対面する面の反対側の面には誘電体多層膜がコー
ティングされている。
以上の構成によシ、供給管α樽よシ供給された冷却媒体
はポケット（イ）に溜められそれぞれの角溝（ト）から
平均的に間隙を通って出力鏡住４．光透過体（ｉｓの対
向面を冷却する。したがって、レーザ発振時。
はポケット（イ）に溜められそれぞれの角溝（ト）から
平均的に間隙を通って出力鏡住４．光透過体（ｉｓの対
向面を冷却する。したがって、レーザ発振時。
出力されたレーザ光の通過で発生し出力鏡α荀、光透過
体α四全体に拡散した熱は平均的に冷却されるため、厚
さ方向の温度勾配ができても、面方向の温度勾配は著し
く小さいものとなる。このことくより、出力鏡σ荀、光
透過体霞はともに極めて平坦的に保之れ、レーザ光を集
束させるような現象が十分に軽減された。
体α四全体に拡散した熱は平均的に冷却されるため、厚
さ方向の温度勾配ができても、面方向の温度勾配は著し
く小さいものとなる。このことくより、出力鏡σ荀、光
透過体霞はともに極めて平坦的に保之れ、レーザ光を集
束させるような現象が十分に軽減された。
ｔｉ、上記厚さ方向の温度勾配で変形が生じても、出力
鏡との組合せでなく、光透過体どうしを対向させた透過
窓構造の場合にはその熱変形を第５図に示すように光透
過体（ｌ！９の配置によって対称にすることもできるか
らレーザ光（４）の平行移動を防止することができる。
鏡との組合せでなく、光透過体どうしを対向させた透過
窓構造の場合にはその熱変形を第５図に示すように光透
過体（ｌ！９の配置によって対称にすることもできるか
らレーザ光（４）の平行移動を防止することができる。
なお、出力ＩＫＷ以上の炭酸ガスレーザ発振器の透過窓
として適用する場合、対向して設けられる光透過体の厚
さは薄い方がレーザ光の吸収が小さいので有利であるが
、真空容器窓の場合のように両側に圧力差がある場合知
は機械的な強度を必要とするため、真空側の光透過体の
板厚は十分厚くする必要がある。
として適用する場合、対向して設けられる光透過体の厚
さは薄い方がレーザ光の吸収が小さいので有利であるが
、真空容器窓の場合のように両側に圧力差がある場合知
は機械的な強度を必要とするため、真空側の光透過体の
板厚は十分厚くする必要がある。
以上詳述したように対向配置した光透過性の基板の間隙
に平均的に冷却媒体を流す構造にしたので、たとえばレ
ーザの光共振器や透過窓においてはレーザ光が集束した
り平行移動する現象は解消され安定したレーザ光を得る
ことができるようＫなった。
に平均的に冷却媒体を流す構造にしたので、たとえばレ
ーザの光共振器や透過窓においてはレーザ光が集束した
り平行移動する現象は解消され安定したレーザ光を得る
ことができるようＫなった。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は同じ
く側面図、第３図は第１図の■−■線における断面図、
第、４図は第２図のｆｆ−ｆｆ線における断面図、第５
図は本発明の他の実施例を示す要部構成図、第６図は従
来の一例を示す構成図である。 鵠・・・透過孔 （Ｉ渇・・・保持体（ＩＳ・・・
間隙 （１４）・・・出力鏡（ｉｓ−・・光透過
体 （１６ａ）、 （１６ｂ）−ｘヘ−”Ｊ−α
υ・・・供給管 αト・・排出管（ハ）・・・角
溝 第１図 第２図 第３図 １ｉ４図 第５図 手続補正書（龜疑） １、事件の表示 特願昭６０−４８２７１号 ２、発明の名称 光透過装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７） 株式会社 東芝 ４、代理人 〒１０５ 東京都港区芝浦−丁目１番１号 株式会社東京 本社事務所内 明細書全文 ６、補正の内容 別紙のとおり 明 細 書 １、発明の名称 光透過装置 ２、特許請求の範囲 光透過性の第１の基板とこの第１の基板と間隙をもって
対向される少なくとも一以上の第２の光透過性の第２の
基板と、上記間隙が冷却媒体の通路にして上記両者を熱
絶縁させて保持する保持手段と、上記間隙に冷却媒体を
供給する冷却手段とを備えたことを特徴とする光透過装
置。 ３、発明の詳細な説明 〔発明の技術分野〕 本発明は光透過装置ｌこ関する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 光透過装置の−であるレーザ発振器ζこおける光□共振
器の場合、励起部（１）の両側に互いに対向して設けら
れる全反射鏡（２）と出力鏡（３）と構成される。 出力鏡（３）から放出されるレーザ光（４）の出力の増
大をはかると、その指向性は図中破線で示すように集束
する方向に変化してくる。このような現象はレーザ光が
出力便（３）を透過する際に内部で吸収が生じ温度上昇
をもたらす。これにより、屈折率が上昇したり、また、
透過する部分の熱膨張によって凸レンズ作用が生じるこ
とが原因で起きるものとされている。上記の現象を軽減
するために冷却ガスを噴出するノズル（５）を設けこの
ノズル（５）から出力鏡（３）の面に冷却ガスを強制的
に吹きつけることが行われていた。しかし、吹き付けら
れた面が一様に冷却されず上記現象を十分に軽減するこ
とができなかった。 また、透過窓の場合ではレーザ光が変形によって収束ビ
ームなどの光路の変更や移動してしまう問題があった。 〔発明の目的〕 本発明は透過部での温度上昇による光屈折作用が軽減さ
れる光透過装置を提供するものである。 〔発明の概要〕 少なくとも２枚の光透過体を間隙をもって対向させ、こ
の間隙に冷却媒体を流すようにしたものである。 〔発明の実施例〕 以下１本発明を実施例を示す図画に基いて説明する。 レーザにおける光共振器を例に挙げ、説明を簡略にする
ため、出力鏡側の構成のみを示した第１図乃至第４図に
て説明する。すなわち、上記構成は大きく分けて中央部
にそれぞれ透過孔住０をもち。 ポル）（１１）により容器状に合体された２部材からな
る保持体（１２と、この保持体内に透過孔明と同軸に間
隙α階をおいて平行ｌこ配置された第１の基板である出
力鏡Ｉおよび第２の基板である光透過体α９と。 これら出力＊ｆｆ４１１．光透過体（Ｌ！９の外周部の
両面を個々に保持しこれら両者を上記透過孔四部に気密
に当接しているスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）と、
上記保持体（２）に接続体ａηを介して接続される供給
管α枠および排出管０とで構成されている。上記構成を
さらに詳述すると、保持体（１りは合体によりて図中上
下にポケット（ホ）、Ｑｌ）を形成している。これらは
同じく合体時に形成された孔（社）、（至）を通り供給
管端、α優に連通している。スペーサ（１６ａ）、 （
１６ｂ）は熱絶縁性材料から作られたそれぞれ二つ割り
になる分割体で構成され１合体時において外形が矩形に
なり内側に透過孔α１と同径の空間部を有し、この空間
部側に環状の凹溝が形成されている。出力鏡←４と光透
過体霞とはこの凹溝に嵌入されている。また。 これらスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）は保持体αり
に形成された段差部０１こ嵌め込まれている。さらにス
ペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）の互いに対向する面に
はポケット（イ）、 （２１）方向に出力鏡Ｉおよび光
透過体α９の表面を露出させる角溝（ハ）が多数刻設さ
れていて、これら角溝はポケット（至）、Ｑｌ）と間隙
αｊとを連通させる流路になっている。な詔、上記供給
管α旧ま図示せぬ冷却空気等の冷却媒体発生装置に接続
され、排出管α■は排出した媒体をその冷却媒体発生装
置に戻すように接続されこれにより、循環流路を形成す
るように構成されている。一方、出力鏡ａくの光透過体
（ＵＳに対面する面の反対側の面には誘電体多層膜がコ
ーティングされている。 以上の構成により、供給管ａ樽より供給された冷却媒体
はポケット（イ）ｉこ溜められそれぞれの角溝（ハ）か
ら平均的に間隙を通って出力鏡Ｉ、光透過体（１９の対
向間を冷却する。したがって、レーザ発振時。 出力されたレーザ光の通過で発生し出力鏡αく、光透過
体（ｉｓ全全体拡散した熱は周囲を熱絶縁性材料から成
るスペーサで保持されているから１周辺の境界面からの
放熱は小さく、出力鏡の面内での温度分布は熱拡散によ
り温度勾配は小さいものとなり、冷却は出力鏡α荀およ
び光透過体住９の対向面から平均的に冷却されるため、
第１．第２の基板の温度勾配は厚さ方向に形成され、こ
の厚さ方向の温度勾配ができても１面方向の温度勾配は
著しく小さいものとなる。このことにより、出力鏡（１
荀。 光透過体はともに面内での温度勾配が小さいから屈折率
の勾配も小さく抑えられ、このためレーザ光を透過させ
ても、レーザ光を収束させるような不都合な現象を防止
することができた。 また、上記厚さ方向の温度勾配で変形が生じても、出力
鏡との組合せでなく、光透過体どうしを対向させた透過
窓構造の場合にはその熱変形を第５図に示すように光透
過体α＄の配置によって対称にすることもできるからレ
ーザ光（４）の収束作用や平行移動を防止することがで
きる。 なお、出力ＩＫＷ以上、たとえば出力１０Ｋｗを越える
炭酸ガスレーザ発振器の透過窓として適用する場合、対
向して設けられる光透過体の厚さは薄い方がレーザ光の
吸収が小さいので有利であるが。 真空容器窓の場合のように両側に圧力差がある場合には
機械的な強度を必要とするため、真空側の光透過体の板
厚は十分厚くする必要がある。 また、上記実施例では出力鏡等の基板を熱絶縁性の保持
手段で保持することによりて周囲からの放熱を防止した
が、あらかじめ基板の保持部分となる周囲に断熱材をコ
ーティングし、このコーティング部分を保持するように
構成してもよい。 〔発明の効果〕 以上詳述したように対向配置した光透過性の基板の周辺
を断熱して保持し、その対向間である間隙に冷却媒体を
流すようにしたので基板の面方向での屈折率の分布が均
一化されたので、レーザの光共振器や透過窓ｌこ詔いて
はレーザ光が収束したり平行移動する現象は解消され安
定したレーザ光を得ることができるようになった。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は同じ
く側面図、第３図は第１図の■−■線における断面図、
第４図は第２図のｆｆ−ＩＶ線における断面図、第５図
は本発明の他の実施例を示す要部構成図、第６図は従来
の一例を示す構成図である。 α１・・・透過孔 ＠・・・保持体←謙・・・間
隙 α荀・・・出力鏡α［有］・・・光
透過体 （１６Ｍ）、 （１６ｂ） ・・・熱絶縁性スヘーサ錦
・・・供給管 ａ９・・・排・出管（ハ）・
・・角 溝
く側面図、第３図は第１図の■−■線における断面図、
第、４図は第２図のｆｆ−ｆｆ線における断面図、第５
図は本発明の他の実施例を示す要部構成図、第６図は従
来の一例を示す構成図である。 鵠・・・透過孔 （Ｉ渇・・・保持体（ＩＳ・・・
間隙 （１４）・・・出力鏡（ｉｓ−・・光透過
体 （１６ａ）、 （１６ｂ）−ｘヘ−”Ｊ−α
υ・・・供給管 αト・・排出管（ハ）・・・角
溝 第１図 第２図 第３図 １ｉ４図 第５図 手続補正書（龜疑） １、事件の表示 特願昭６０−４８２７１号 ２、発明の名称 光透過装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７） 株式会社 東芝 ４、代理人 〒１０５ 東京都港区芝浦−丁目１番１号 株式会社東京 本社事務所内 明細書全文 ６、補正の内容 別紙のとおり 明 細 書 １、発明の名称 光透過装置 ２、特許請求の範囲 光透過性の第１の基板とこの第１の基板と間隙をもって
対向される少なくとも一以上の第２の光透過性の第２の
基板と、上記間隙が冷却媒体の通路にして上記両者を熱
絶縁させて保持する保持手段と、上記間隙に冷却媒体を
供給する冷却手段とを備えたことを特徴とする光透過装
置。 ３、発明の詳細な説明 〔発明の技術分野〕 本発明は光透過装置ｌこ関する。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 光透過装置の−であるレーザ発振器ζこおける光□共振
器の場合、励起部（１）の両側に互いに対向して設けら
れる全反射鏡（２）と出力鏡（３）と構成される。 出力鏡（３）から放出されるレーザ光（４）の出力の増
大をはかると、その指向性は図中破線で示すように集束
する方向に変化してくる。このような現象はレーザ光が
出力便（３）を透過する際に内部で吸収が生じ温度上昇
をもたらす。これにより、屈折率が上昇したり、また、
透過する部分の熱膨張によって凸レンズ作用が生じるこ
とが原因で起きるものとされている。上記の現象を軽減
するために冷却ガスを噴出するノズル（５）を設けこの
ノズル（５）から出力鏡（３）の面に冷却ガスを強制的
に吹きつけることが行われていた。しかし、吹き付けら
れた面が一様に冷却されず上記現象を十分に軽減するこ
とができなかった。 また、透過窓の場合ではレーザ光が変形によって収束ビ
ームなどの光路の変更や移動してしまう問題があった。 〔発明の目的〕 本発明は透過部での温度上昇による光屈折作用が軽減さ
れる光透過装置を提供するものである。 〔発明の概要〕 少なくとも２枚の光透過体を間隙をもって対向させ、こ
の間隙に冷却媒体を流すようにしたものである。 〔発明の実施例〕 以下１本発明を実施例を示す図画に基いて説明する。 レーザにおける光共振器を例に挙げ、説明を簡略にする
ため、出力鏡側の構成のみを示した第１図乃至第４図に
て説明する。すなわち、上記構成は大きく分けて中央部
にそれぞれ透過孔住０をもち。 ポル）（１１）により容器状に合体された２部材からな
る保持体（１２と、この保持体内に透過孔明と同軸に間
隙α階をおいて平行ｌこ配置された第１の基板である出
力鏡Ｉおよび第２の基板である光透過体α９と。 これら出力＊ｆｆ４１１．光透過体（Ｌ！９の外周部の
両面を個々に保持しこれら両者を上記透過孔四部に気密
に当接しているスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）と、
上記保持体（２）に接続体ａηを介して接続される供給
管α枠および排出管０とで構成されている。上記構成を
さらに詳述すると、保持体（１りは合体によりて図中上
下にポケット（ホ）、Ｑｌ）を形成している。これらは
同じく合体時に形成された孔（社）、（至）を通り供給
管端、α優に連通している。スペーサ（１６ａ）、 （
１６ｂ）は熱絶縁性材料から作られたそれぞれ二つ割り
になる分割体で構成され１合体時において外形が矩形に
なり内側に透過孔α１と同径の空間部を有し、この空間
部側に環状の凹溝が形成されている。出力鏡←４と光透
過体霞とはこの凹溝に嵌入されている。また。 これらスペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）は保持体αり
に形成された段差部０１こ嵌め込まれている。さらにス
ペーサ（１６ａ）、 （１６ｂ）の互いに対向する面に
はポケット（イ）、 （２１）方向に出力鏡Ｉおよび光
透過体α９の表面を露出させる角溝（ハ）が多数刻設さ
れていて、これら角溝はポケット（至）、Ｑｌ）と間隙
αｊとを連通させる流路になっている。な詔、上記供給
管α旧ま図示せぬ冷却空気等の冷却媒体発生装置に接続
され、排出管α■は排出した媒体をその冷却媒体発生装
置に戻すように接続されこれにより、循環流路を形成す
るように構成されている。一方、出力鏡ａくの光透過体
（ＵＳに対面する面の反対側の面には誘電体多層膜がコ
ーティングされている。 以上の構成により、供給管ａ樽より供給された冷却媒体
はポケット（イ）ｉこ溜められそれぞれの角溝（ハ）か
ら平均的に間隙を通って出力鏡Ｉ、光透過体（１９の対
向間を冷却する。したがって、レーザ発振時。 出力されたレーザ光の通過で発生し出力鏡αく、光透過
体（ｉｓ全全体拡散した熱は周囲を熱絶縁性材料から成
るスペーサで保持されているから１周辺の境界面からの
放熱は小さく、出力鏡の面内での温度分布は熱拡散によ
り温度勾配は小さいものとなり、冷却は出力鏡α荀およ
び光透過体住９の対向面から平均的に冷却されるため、
第１．第２の基板の温度勾配は厚さ方向に形成され、こ
の厚さ方向の温度勾配ができても１面方向の温度勾配は
著しく小さいものとなる。このことにより、出力鏡（１
荀。 光透過体はともに面内での温度勾配が小さいから屈折率
の勾配も小さく抑えられ、このためレーザ光を透過させ
ても、レーザ光を収束させるような不都合な現象を防止
することができた。 また、上記厚さ方向の温度勾配で変形が生じても、出力
鏡との組合せでなく、光透過体どうしを対向させた透過
窓構造の場合にはその熱変形を第５図に示すように光透
過体α＄の配置によって対称にすることもできるからレ
ーザ光（４）の収束作用や平行移動を防止することがで
きる。 なお、出力ＩＫＷ以上、たとえば出力１０Ｋｗを越える
炭酸ガスレーザ発振器の透過窓として適用する場合、対
向して設けられる光透過体の厚さは薄い方がレーザ光の
吸収が小さいので有利であるが。 真空容器窓の場合のように両側に圧力差がある場合には
機械的な強度を必要とするため、真空側の光透過体の板
厚は十分厚くする必要がある。 また、上記実施例では出力鏡等の基板を熱絶縁性の保持
手段で保持することによりて周囲からの放熱を防止した
が、あらかじめ基板の保持部分となる周囲に断熱材をコ
ーティングし、このコーティング部分を保持するように
構成してもよい。 〔発明の効果〕 以上詳述したように対向配置した光透過性の基板の周辺
を断熱して保持し、その対向間である間隙に冷却媒体を
流すようにしたので基板の面方向での屈折率の分布が均
一化されたので、レーザの光共振器や透過窓ｌこ詔いて
はレーザ光が収束したり平行移動する現象は解消され安
定したレーザ光を得ることができるようになった。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は同じ
く側面図、第３図は第１図の■−■線における断面図、
第４図は第２図のｆｆ−ＩＶ線における断面図、第５図
は本発明の他の実施例を示す要部構成図、第６図は従来
の一例を示す構成図である。 α１・・・透過孔 ＠・・・保持体←謙・・・間
隙 α荀・・・出力鏡α［有］・・・光
透過体 （１６Ｍ）、 （１６ｂ） ・・・熱絶縁性スヘーサ錦
・・・供給管 ａ９・・・排・出管（ハ）・
・・角 溝
Claims (1)
- 光透過性の第１の基板とこの第１の基板と間隙をもって
対向される少なくとも一以上の第２の光透過性の第２の
基板と、上記間隙が冷却媒体の通路にして上記両者を保
持する保持手段と、上記間隙に冷却媒体を供給する冷却
手段とを備えたことを特徴とする光透過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4827185A JPS61208002A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光透過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4827185A JPS61208002A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光透過装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61208002A true JPS61208002A (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=12798775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4827185A Pending JPS61208002A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光透過装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61208002A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0938009A1 (de) * | 1998-02-20 | 1999-08-25 | Carl Zeiss | Optische Anordnung und Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie mit passiver thermischer Kompensation |
| US7274430B2 (en) | 1998-02-20 | 2007-09-25 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical arrangement and projection exposure system for microlithography with passive thermal compensation |
| EP1351091A3 (de) * | 2002-03-07 | 2007-11-21 | Carl Zeiss Laser Optics GmbH | Optische Anordnung mit einer Blende |
| JP2013532380A (ja) * | 2010-06-16 | 2013-08-15 | トルンプフ レーザー− ウント ジュステームテヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ガスレーザ及び当該ガスレーザの運転方法 |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP4827185A patent/JPS61208002A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0938009A1 (de) * | 1998-02-20 | 1999-08-25 | Carl Zeiss | Optische Anordnung und Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie mit passiver thermischer Kompensation |
| EP1596235A1 (de) * | 1998-02-20 | 2005-11-16 | Carl Zeiss SMT AG | Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie mit passiver thermischer Kompensation |
| US7274430B2 (en) | 1998-02-20 | 2007-09-25 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical arrangement and projection exposure system for microlithography with passive thermal compensation |
| EP1351091A3 (de) * | 2002-03-07 | 2007-11-21 | Carl Zeiss Laser Optics GmbH | Optische Anordnung mit einer Blende |
| JP2013532380A (ja) * | 2010-06-16 | 2013-08-15 | トルンプフ レーザー− ウント ジュステームテヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ガスレーザ及び当該ガスレーザの運転方法 |
| US8817833B2 (en) | 2010-06-16 | 2014-08-26 | Trumpf Laser-Und Systemtechnik Gmbh | Controlling temperature differences in a gas laser |
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