JPS61209893A - マニプレ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はマニプレータに係り、特に高真空の槽に内設さ
れその槽内で故障なく長時間作業をさせるのに好適なマ
ニプレータに関する。

〔発明の背景〕

従来、表面分析機器等の真空槽内の資料をハンドリング
する装置としては、例えば特開昭５９−４１８４８号公
報に示されるように、真空槽外に駆動要素な持ち、回転
あるいは直線導入機で力を真空槽内に導入している。こ
の構成は真空槽内への塵侵入による真空槽の汚染を防止
することが主眼となって込る。

しかし、近年においては表面分析機器の機能向上の観点
からその真空槽内で資料を種々に位置決め、搬送するこ
とが要求されているが、前述した装置ではこの要求に対
応できないのが現状である。

〔発明の目的〕

本発明の目的は真空槽内を汚染することなく真空槽内で
可動できるマニプレータを提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は上記の目的を達成するために、真空槽内に内設
され、真空槽内の資料’にノ・ンドリンクするマニプレ
ータにおいて、資料を把持する指部と、この指部に連結
する少なくとも１つ以上の腕部とを備え、前記腕部をそ
のケーシング内に大気圧状態で密封収納した駆動要素お
よび検出要素と、前記駆動要素に連結する回転導入機と
で構成し友ものである。

このように構成したことによシ、駆動要素および検出要
素からのガス放出が無く、真空槽内での動作が可能であ
ると共に、真空槽内の資料のハンドリング性を向上させ
ることができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面によシ説明する。

第１図は本発明のマニプレータの一実施例を示すもので
、この図において１は真空槽を示す。この真空槽１には
フランジ２が溶接、ボルト締結等によ多接合されている
。フランジ２にはガスケットを介してボルト、ナツトで
フランジ３か取付けられている。フランジ３には第１の
腕４の基部が溶接されている。この例では溶接接合した
が、ボルト等による接合手段でも良い。第１の腕４の先
端には、第１の腕４の先端にボルトで固定された円筒隔
壁５を持つ磁気結合形回転導入機６が配置されている。

第１の腕４のケーシング４ａ内部には駆動要素であるＤ
Ｃモータ７、ギヤヘッド８と制御要素であるブレーキ９
および検出要素であるエンコーダ１０、タコジェネレー
タ１１が大気状態で組立てられ密封収納されている。シ
ール機構としての磁気結合形回転導入機６の円筒隔壁５
と第１の腕４の内部は大気状態であり、磁気結合形回転
導入機６０円筒隔壁５の内側の軸受、ギヤヘッド８、Ｄ
Ｃモータ７の軸受、ブレーキ９、エンコーダ１０の軸受
、タコジェネレータ１１の軸受の潤滑は大気中で行われ
るので、特別な考慮を払う必要はない。従来の真空マニ
プレータはその駆動要素と制御要素の真空中でのガス放
出に対する考慮かなされていなかったが、本発明の構造
にすると、カス放出が大きい駆動、制御要素は腕のケー
シング中に密封収納されているので、これらの要素のガ
ス放出に対する考慮は不必要となる。真空にさらされる
第１の腕４をステンレス鋼、アルミニクム合金で製作す
れば、ガス放出を小さくすることができるので、本発明
のマニプレータを真空中に配置しても高真空を保つこと
ができる。

上述の構成を一つの腕畳素とすれば、複数の腕の連結に
対しては次のような構成とすることができる。すなわち
磁気結合形回転導入機６の外側ケース６ａには第２の腕
１２がそのケーシング１２ａによシ一体に連結されてい
る。第２の腕１２のケーシング１２ａ内部には第１の腕
４と同じように駆動要素、制御要素および検出要素が密
封収納されている。この連結構成によシ、第２の腕１２
は第１の腕４に収納された駆動要素、制御要素によル磁
気結合形回転導入機６を介して回転運動する。

第２の腕１２の先端には磁気結合形回転導入機１３が取
付けられている。殊気結合形回転導入機１３の外側ケー
ス１３ａに一体に成形された軸１３ｂにはかさ歯車１４
が取付けられている。かさ歯車１４にはかさ歯車１５が
かみ合っている。

かさ歯車１５は軸１６に取付けられている。軸１６は第
２の腕１２のケーシング１２ａに回転自在に取付けられ
ている。軸１６には連接棒１７が取付けられている。連
接棒１７には第３の腕１８が取付けられている。この構
成により、第３の腕１８は第２の腕１２の内部に収納さ
れた駆動要素、制御要素によシ磁気結合形回転導入機１
３、かさ歯車１４，１５ｔ−介して軸１６回シの回転す
なわち曲げ運動が与えられる。第３の腕１８のケージ第
３の腕１Ｂの先端には磁気結合形回転導入機１９が取付
けられている。磁気結合形回転導入機１９の外側ケース
１９ａに一体に成形され交軸１９ｂにはかさ歯車２０が
取付けられている。かさ歯車２０にはかさ歯車２１がか
み合っている。

かさ歯車２１は軸２２に取付けられている。軸２２は第
３の腕１８のケーシングに回転自在に取りつけられてい
る。ケーシング１８ａの先端には固定指２３が取付けら
れている。可動指２４は軸２２に取付けられている。こ
の構成により可動指２４は第３の腕１８に収納された駆
動要素、制御要素により磁気結合形回転導入＆１１９、
かさ歯車２０．２１を介して固定指２３との間でつかみ
運動が与えられる。前述した台腕の駆動要素、制御要素
の信号線および検出要素の信号線は７う／ジを通して大
気側に導びかれている。

上述した本発明のマニプレータの一実施例によれば、腕
の駆動要素、制御要素および検出要素を腕の内部に密封
収納したので、これらの要素からの放出ガスが真空槽内
に゛流出しない。その結果真空槽内の汚染を防止するこ
とかできる。さらに真空槽内の資料のハンドリング性を
向上させることができる。また駆動要素、制御要素およ
び検出要素は脆ケーシング内に大気圧状態で収納されて
いるので、損傷に耐え長時間の使用か可能である。

なお、上述の実施例においてはシール機構としての回転
導入機に関しては磁気結合形回転導入機を使用したが、
第２図に示すようなベローズ形回転導入機も使用可能で
あυ、Ｏリングによるシールも可能である。ベローズ形
回転導入機は腕２５と一体に成形され、あるいは腕２５
にボルト等で取付けられたケーシング２６、軸受２７，
２Ｂ、伝達軸２９、ベローズ３０、軸受３１，３２、軸
３３等で構成される。また第３図に示す実施例は腕３４
に収納された駆動要素の軸３５をＯリング３６でシール
したものである。

また、上述の実施例においては、腕部は回転と曲げとの
２自由度に構成したが、自由度を増すことも可能である
。さらに歯車部に防塵カバーを設けることも可能である
。

〔発明の効果〕

本発明によれば、真空槽内に内設されるマニプレータの
駆動要素、制御要素等を真空にさらさず、乎 大気状態で駆動させることができるので、真空槽内を高
真空に保ちつつ、真空槽内のハンドリング性を高めるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のマニプレータの一実施例を示す縦断面
図、第２図は本発明に用いられる回転導入機の他の例金
示す断面図、第３図は不発明に用いられるシール機構の
他の例を示す断如図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空槽内に内設され、真空槽内の資料をハンドリン
   グするマニプレータにおいて、資料を把持する指部と、
   この指部に連結する少なくとも１つ以上の腕部とを備え
   、前記腕部をそのケーシング内に大気圧状態で密封収納
   した駆動要素および検出要素と、前記駆動要素に連結す
   る回転導入機とで構成したことを特徴とするマニプレー
   タ。 ２、特許請求の範囲第１項記載のマニプレータにおいて
   、駆動要素はモータで構成したことを特徴とするマニプ
   レータ。 ３、特許請求の範囲第１項記載のマニプレータにおいて
   、駆動要素はモータと減速機とで構成したことを特徴と
   するマニプレータ。 ４、特許請求の範囲第２項または第３項記載のマニプレ
   ータにおいて、腕部の連結部に曲げ運動を生起するかさ
   歯車を備えたことを特徴とするマニプレータ。